应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计

    公开(公告)号:CN118409108B

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202410570355.8

    申请日:2024-05-09

    Abstract: 本发明公开了一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计,涉及谐振加速计技术领域,该芯片包括石英基底和石英谐振器,石英谐振器包括依次连接的上隔离盘、音叉振梁和下隔离盘;上隔离盘上由外向内依次开设有第一上隔离槽、第二上隔离槽和第三上隔离槽,下隔离盘上由外向内依次开设有第一下隔离槽、第二下隔离槽和第三下隔离槽;第一上隔离槽和第一下隔离槽、第二上隔离槽和第二下隔离槽以及第三上隔离槽和第三下隔离槽构成三级应力隔离结构。本发明采用全石英结构,降低了因异质材料热膨胀系数不同所引入的热应力干扰;依靠高效的三级隔离槽隔离外部可能影响谐振器应力分布的干扰。

    一种压电石英结构的微加工工艺方法及应用

    公开(公告)号:CN109775657B

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN201811628629.5

    申请日:2018-12-28

    Abstract: 本发明提供一种压电石英结构的微加工工艺方法及应用,其工艺过程为:首先,用压电石英层、释放层和硅基底组成“硅‑释放层‑石英”三明治式QoS基片,硅基底用于强度支撑;压电石英层为器件层;中间层为释放层,由粘接剂组成;第二步,减薄后压电石英层至所需厚度形成指定厚度的压电石英层;第三步,设计释放槽和辅助工艺孔的结构和尺寸,并采用干法刻蚀工艺加工压电石英层的释放槽和辅助工艺孔,加工的深度与减薄后的压电石英层厚度相同;最后,采用特定腐蚀液腐蚀释放层,腐蚀液通过释放槽和辅助工艺孔进入释放层并与释放层反应去掉释放槽和辅助工艺孔对应位置及周围的释放层,形成压电石英可动结构。

    一种循环流化床锅炉落煤管防堵塞系统

    公开(公告)号:CN112728530A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202110180957.9

    申请日:2021-02-07

    Abstract: 本发明公开了一种循环流化床锅炉落煤管防堵塞系统,包括竖直设置的第一落煤管和倾斜设置的第二落煤管,所述第一落煤管的上端用于连接给煤机出口,所述第一落煤管的下端与所述第二落煤管的侧壁连通,所述第二落煤管的一端安装在炉墙上,所述第二落煤管的另一端安装有空气炮,所述第二落煤管上套设有若干环形气体喷管,每个所述环形气体喷管与所述第二落煤管通过若干喷嘴连通,所述空气炮和每个所述环形气体喷管均与气源连接。本发明能够使得原煤在入炉口处不易烘干粘结,从而顺利进入炉膛,有效解决了落煤管堵塞问题。

    一种燃气锅炉热效率的预测方法

    公开(公告)号:CN111695249A

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN202010473530.3

    申请日:2020-05-29

    Abstract: 本发明提供了一种燃气锅炉热效率的预测方法,属于锅炉技术领域,包括现场数据采集和模拟仿真:通过现场试验,采集数据,得到燃气锅炉多个不同低负荷下排烟温度、排烟组分,计算得到多个不同低负荷下的锅炉热效率。数值模拟仿真,对燃气锅炉进行不同低负荷下的数值模拟研究,建立初始模拟模型,仿真得到锅炉的排烟温度、排烟组分,进而计算得到不同低负荷下不同工况的燃气锅炉热效率。将数值模拟仿真结果与现场试验结果进行对比,对初始模拟模型进行修正,利用修正后数值模拟模型,预测燃气锅炉额定负荷运行下的热效率。使用该方法预测额定负荷下工业锅炉的热效率,节省人力物力,减少能源浪费。

    一种生物质颗粒采暖炉
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110793064A

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201911203790.2

    申请日:2019-11-29

    Abstract: 本发明公开了一种生物质颗粒采暖炉,包括燃料系统、燃烧系统和暖风系统等;生物质颗粒由加料口加入料斗内,通过给料螺旋送入燃烧室,在点火棒的加热作用下生物质颗粒达到燃点并燃烧;燃烧配风由吸风管吸入并由布置于火床下的风室分配给燃料;燃烧后的烟气在引风机的作用下通依次换热管、烟气转向室,最终由排烟管排出炉外;含尘烟气在烟气转向室和阻灰板的作用下将大部分烟尘除去;灰斗收集燃烧室内颗粒燃烧后灰烬;冷空气在送风机的作用下,与换热管加强换热,最终由热风出口送入室内,从而将生物质的生物能转化为热能。本发明具有燃料适应性广、烟尘排放低、换热效果好、自动启停及调整、停电保护、采暖烧水多用途、方便移动及固定等优点。

    一种压电石英结构的微加工工艺方法及应用

    公开(公告)号:CN109775657A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201811628629.5

    申请日:2018-12-28

    Abstract: 本发明提供一种压电石英结构的微加工工艺方法及应用,其工艺过程为:首先,用压电石英层、释放层和硅基底组成“硅-释放层-石英”三明治式QoS基片,硅基底用于强度支撑;压电石英层为器件层;中间层为释放层,由粘接剂组成;第二步,减薄后压电石英层至所需厚度形成指定厚度的压电石英层;第三步,设计释放槽和辅助工艺孔的结构和尺寸,并采用干法刻蚀工艺加工压电石英层的释放槽和辅助工艺孔,加工的深度与减薄后的压电石英层厚度相同;最后,采用特定腐蚀液腐蚀释放层,腐蚀液通过释放槽和辅助工艺孔进入释放层并与释放层反应去掉释放槽和辅助工艺孔对应位置及周围的释放层,形成压电石英可动结构。

    一种氧气/二氧化碳燃烧中高钠高钙煤的预处理提质系统及方法

    公开(公告)号:CN107084401B

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201710278413.X

    申请日:2017-04-25

    Abstract: 本发明一种氧气/二氧化碳燃烧中高钠高钙煤的预处理提质系统及方法,该系统包括氧气/二氧化碳燃烧发电系统等。通过烟气与低温氮气、低温氧气的换热实现冷能的利用,通过将收集的部分CO2通入碳酸/煤粉酸处理反应室制造酸性环境以除去钠、钙元素。该方法能收集并利用空气分离过程所得到的冷能,实现冷‑热能量的梯级利用,并充分利用氧气/二氧化碳燃烧中所产生的CO2。通过控制碳酸/煤粉酸处理反应室内的温度和压力,对高钠高钙煤中的钠元素以及难以通过传统水洗方法脱除的钙元素都可以进行较为高效的脱除,实现了高钠高钙煤粉的脱钠脱钙以及干燥处理。本发明可有效缓解高钠高钙煤在氧气/二氧化碳燃烧的过程中极易出现的积灰结渣等换热面沾污问题。

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