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公开(公告)号：CN118189798B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410592285.6
申请日：2024-05-14
申请人： 中国科学技术大学
摘要： 本发明公开了基于非均质模量匹配的柔性应变传感器及其制备方法，通过制备非均质模量的柔性基底，并将拉伸性小的导电材料配置在基底杨氏模量较大的区域、将拉伸性大的导电材料配置在基底杨氏模量较小的区域，使各种导电材料都能最大程度发挥各自的性能，从而实现柔性应变传感器高灵敏度与大拉伸性的完美结合。本发明的加工工艺简单、工艺成本低、加工一致性好、便于大规模制造，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN116773651B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311071041.5
申请日：2023-08-23
申请人： 中国科学技术大学
摘要： 本申请公开了一种声表面波气体传感器及其制备方法，以及应用该声表面波气体传感器的气体报警器，该声表面波气体传感器基于金属有机框架（MOF）衍生金属氧化物敏感膜与气体反应后的物理性质改变而对声表面波传播特性产生影响的原理，特异性地检测目标气体的浓度，不仅具有声表面波传感器的特点，即可在室温下工作、高灵敏度、抗干扰强、功耗小等优势，而且敏感膜具有金属有机框架（MOF）衍生金属氧化物材料大比表面积、多活性位点、结构和组分可调以及可与多种目标气体进行特异性反应的优势，从而该声表面波气体传感器可实现对多种有毒易(56)对比文件郝博 等.金属有机框架衍生物的制备及催化性能的研究进展.材料导报.2020,(第11期),第39-46页.
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公开(公告)号：CN114477078B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210365225.1
申请日：2022-04-08
申请人： 中国科学技术大学
摘要： 本发明公开了一种一体式跨尺度微纳米柱阵列的加工方法及其应用，其加工步骤为：首先利用飞秒激光在表面贴附有柔性薄膜的聚合物模板上，加工出内壁带有纳米凹坑的微孔阵列；然后去除聚合物模板上的柔性薄膜，将液态柔性材料涂敷于聚合物模板表面并扩散至微孔阵列内部，固化、脱模后，即获得一体式跨尺度微纳米柱阵列。本发明制备的微纳米结构具有一体式、柔性轻薄、稳定可靠、易于集成等优点，将其应用于柔性微压力传感器中，利用其微米柱感知大压力、纳米凸起感知微小压力，从而使柔性微压力传感器能检测极小压力，且具有较宽线性范围以及较高灵敏度的特点。
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公开(公告)号：CN118189798A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410592285.6
申请日：2024-05-14
申请人： 中国科学技术大学
摘要： 本发明公开了基于非均质模量匹配的柔性应变传感器及其制备方法，通过制备非均质模量的柔性基底，并将拉伸性小的导电材料配置在基底杨氏模量较大的区域、将拉伸性大的导电材料配置在基底杨氏模量较小的区域，使各种导电材料都能最大程度发挥各自的性能，从而实现柔性应变传感器高灵敏度与大拉伸性的完美结合。本发明的加工工艺简单、工艺成本低、加工一致性好、便于大规模制造，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN105895489B
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201610296788.4
申请日：2016-05-04
申请人： 中国科学技术大学
摘要： 本发明公开了一种基于大气压等离子体喷管的并行无掩模扫描微纳米加工装置和方法，加工装置包括大气压等离子体喷管、集成在喷管下端的喷嘴针尖阵列，所述喷嘴针尖阵列的下部设有三维精密移动台，喷嘴针尖阵列包括多个设有微纳米孔的喷嘴针尖，每个喷嘴针尖均设有倒金字塔形状的空心微腔。将大气压等离子体喷管放置于大气压环境下，喷管内持续通入反应气体，反应气体在电场作用下产生电离生成反应等离子体，通过喷嘴针尖阵列用于形成等离子体纳米射流阵列。通过三维精密移动台控制等离子体微射流装置与被加工样品的相对移动，能实现对多种材料的低成本、高精度、高效率的无掩膜刻蚀、沉积加工以及表面改性，以满足小批量、多品种的微纳米器件加工应用的要求。
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公开(公告)号：CN105895489A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610296788.4
申请日：2016-05-04
申请人： 中国科学技术大学
CPC分类号： H01J37/32082 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , H01J37/32807
摘要： 本发明公开了一种基于大气压等离子体喷管的并行无掩模扫描微纳米加工装置和方法，加工装置包括大气压等离子体喷管、集成在喷管下端的喷嘴针尖阵列，所述喷嘴针尖阵列的下部设有三维精密移动台，喷嘴针尖阵列包括多个设有微纳米孔的喷嘴针尖，每个喷嘴针尖均设有倒金字塔形状的空心微腔。将大气压等离子体喷管放置于大气压环境下，喷管内持续通入反应气体，反应气体在电场作用下产生电离生成反应等离子体，通过喷嘴针尖阵列用于形成等离子体纳米射流阵列。通过三维精密移动台控制等离子体微射流装置与被加工样品的相对移动，能实现对多种材料的低成本、高精度、高效率的无掩膜刻蚀、沉积加工以及表面改性，以满足小批量、多品种的微纳米器件加工应用的要求。
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公开(公告)号：CN116741550A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202311019697.2
申请日：2023-08-14
申请人： 中国科学技术大学
IPC分类号： H01G11/86 , H01G11/26 , H01G11/28 , H01G11/30 , H01G11/32 , H01G11/36 , H01G11/56 , H01G11/68
摘要： 本发明公开了柔性可拉伸的水凝胶叉指状电极及基于其的微超级电容器，通过电化学驱动方式在柔性基底的叉指状凹槽内形成混合金属粉末的液态金属叉指状电极，再通过电化学方法实现活性电极材料在液态金属叉指电极表面自组装生长形成水凝胶，即获得水凝胶叉指状电极。本发明利用电化学诱导自组装凝胶化的方法实现水凝胶多孔电极的高分辨率图案化制造，利用液态金属的高导电性和可流动性使水凝胶多孔电极具有可拉伸性，制备工艺原理简单高效，电极图案化精度高，易于批量化生产，具有良好的应用前景，应用该电极的平面微超级电容器实现可拉伸的同时在同类器件中具有更高的比电容。
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公开(公告)号：CN116741550B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311019697.2
申请日：2023-08-14
申请人： 中国科学技术大学
IPC分类号： H01G11/86 , H01G11/26 , H01G11/28 , H01G11/30 , H01G11/32 , H01G11/36 , H01G11/56 , H01G11/68
摘要： 本发明公开了柔性可拉伸的水凝胶叉指状电极及基于其的微超级电容器，通过电化学驱动方式在柔性基底的叉指状凹槽内形成混合金属粉末的液态金属叉指状电极，再通过电化学方法实现活性电极材料在液态金属叉指电极表面自组装生长形成水凝胶，即获得水凝胶叉指状电极。本发明利用电化学诱导自组装凝胶化的方法实现水凝胶多孔电极的高分辨率图案化制造，利用液态金属的高导电性和可流动性使水凝胶多孔电极具有可拉伸性，制备工艺原理简单高效，电极图案化精度高，易于批量化生产，具有良好的应用前景，应用该电极的平面微超级电容器实现可拉伸的同时在同类器件中具有更高的比电容。
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公开(公告)号：CN116773651A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202311071041.5
申请日：2023-08-23
申请人： 中国科学技术大学
摘要： 本申请公开了一种声表面波气体传感器及其制备方法，以及应用该声表面波气体传感器的气体报警器，该声表面波气体传感器基于金属有机框架（MOF）衍生金属氧化物敏感膜与气体反应后的物理性质改变而对声表面波传播特性产生影响的原理，特异性地检测目标气体的浓度，不仅具有声表面波传感器的特点，即可在室温下工作、高灵敏度、抗干扰强、功耗小等优势，而且敏感膜具有金属有机框架（MOF）衍生金属氧化物材料大比表面积、多活性位点、结构和组分可调以及可与多种目标气体进行特异性反应的优势，从而该声表面波气体传感器可实现对多种有毒易燃气体在室温工作环境下的高精度、高选择性、低检测下限、快速响应的稳定检测。
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公开(公告)号：CN116254647A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202310430852.3
申请日：2023-04-18
申请人： 中国科学技术大学
IPC分类号： D04H1/4374 , D01D5/00 , D04H1/4258 , D04H1/43 , D04H1/4382 , D04H1/728 , G01N27/04 , A61B5/00
摘要： 本发明公开了一种定向驱水的自黏附透气纳米纤维膜及其应用，该纤维膜是由通过静电纺丝制备的亲水层和疏水胶粘层构成的双层纳米网络纤维膜，由于膜两侧不对称的润湿性和纳米纤维显著的毛细现象，可实现柔性自粘附、透气、定向驱水的性能，为电子皮肤提供了一种通用基底。本发明将定向驱水的自黏附透气纳米纤维膜应用于柔性水合传感器中，提出了一种基于分布式微叉指电极的柔性自黏附透气的水合传感贴，可实现对皮肤角质层含水量的低成本、无压力、多点准确可靠检测。
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