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公开(公告)号：CN112540513B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202110017947.3
申请日：2021-01-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
摘要： 本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本发明过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
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公开(公告)号：CN112162466B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010965090.3
申请日：2020-09-15
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成，集熔锡、过滤与罐装于一体，采用电阻丝加热方式熔锡，整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力，熔化后的锡液经过滤后流入储液罐，整个过程采用真空熔炼，惰性气体保护下罐装，极大程度地避免了氧化。此外，通过控制熔锡罐内的液位，保证最后1cm锡液不流入储液罐中，从而进一步降低锡液中的氧化物含量。该装置集成化程度高，操作安全方便，适用于EUV光源锡原料的罐装。
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公开(公告)号：CN112540513A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202110017947.3
申请日：2021-01-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
摘要： 本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本发明过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
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公开(公告)号：CN111399346A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010290425.6
申请日：2020-04-14
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种基于等离子体约束的LPP-EUV光源系统，包括泵浦激光脉冲源、带有光学窗片的真空室、凸透镜、靶材、磁镜装置和椭球面镜。由泵浦激光脉冲源产生泵浦激光脉冲，泵浦激光脉冲通过光学窗片进入真空室，再经凸透镜聚焦而作用于靶材。泵浦激光脉冲作用于靶材而产生等离子体，等离子体被约束在磁镜装置中而产生EUV辐射，所产生的EUV辐射经椭球面镜反射而聚焦。本发明利用磁镜装置中非均匀磁场对等离子体的约束作用，提升LPP-EUV光源的功率输出能力并抑制LPP所产生的碎屑污染，从而保障EUV光刻系统的高效稳定运行。
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公开(公告)号：CN105606488B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201610016650.4
申请日：2016-01-11
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N9/24
摘要： 一种易调节的气体密度测量系统，包括格林棱镜、透镜、直角反射棱镜、可调节光学镜架、水平导轨、CCD，本发明能够有效的测量气体密度的分布，具有操作简单，方便高效，应用范围广泛的优点。本发明利用光束进入直角反射棱镜后平行于原光束出射的特点，实现调节直角反射棱镜时，只有一个维度上对光束产生影响，从而降低系统调节的复杂性。本发明可用于激光等离子体相互作用的领域，特别是等离子体尾波场加速电子机制中，探测等离子体通道的形成以及气体密度的分布。
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公开(公告)号：CN104638503B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201510080857.3
申请日：2015-02-15
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统，由泵浦激光脉冲源组、脉冲延时调节装置组、光束指向调节装置组、LPP‑EUV发生装置和同步信号控制器构成。由泵浦激光脉冲源组输出泵浦脉冲，经脉冲延时调节装置组和光束指向调节装置组而产生脉冲组合，然后进入LPP‑EUV发生装置作用于靶材，各泵浦激光脉冲源的触发信号由同步信号控制器产生。利用该系统既能突破单脉冲泵浦激光源功率不足的限制，又可以通过调整泵浦脉冲组合以优化能量转化效率，从而提高LPP‑EUV光刻光源的功率输出能力。
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公开(公告)号：CN106163075A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610551539.5
申请日：2016-07-14
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： H05H7/02
CPC分类号： H05H7/02
摘要： 一种充气型放电毛细管的夹持装置，包括支撑底座，支撑架、铜电极，夹持管套，密封圈，挤压管套，密封管套，螺纹钢套，电线、橡皮垫、螺丝。本发明的特点在于结构简单紧凑，操作方便，夹持稳定性好，充气放电稳定，可多次使用且方便更换毛细管，而且密封性很好。本发明可用于基于充气型放电毛细管的激光等离子体相互作用领域，特别是激光尾波场加速电子。
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公开(公告)号：CN105004839B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201510398978.2
申请日：2015-07-09
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N33/00
摘要： 一种激光诱导水凝结模拟系统，其实质是将飞秒激光脉冲聚焦之后，射入由半导体制冷组件控制环境温度的腔室中，聚焦激光在腔室中成丝，激光丝在不同的环境中，诱导激发腔室内的水凝结；本发明通过分别调节加在半导体制冷片和加热电阻丝上的电流，来控制腔室内的温、湿度，实现不同环境下的激光诱导水凝结。本发明装置可模拟不同的实验环境，结构简单，操作安全方便，价格便宜，适用于研究分析不同环境条件下的激光诱导水凝结现象。
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公开(公告)号：CN105004839A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510398978.2
申请日：2015-07-09
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N33/00
摘要： 一种激光诱导水凝结模拟系统，其实质是将飞秒激光脉冲聚焦之后，射入由半导体制冷组件控制环境温度的腔室中，聚焦激光在腔室中成丝，激光丝在不同的环境中，诱导激发腔室内的水凝结；本发明通过分别调节加在半导体制冷片和加热电阻丝上的电流，来控制腔室内的温、湿度，实现不同环境下的激光诱导水凝结。本发明装置可模拟不同的实验环境，结构简单，操作安全方便，价格便宜，适用于研究分析不同环境条件下的激光诱导水凝结现象。
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公开(公告)号：CN102661908A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210129579.2
申请日：2012-04-27
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N9/24
摘要： 一种用于超短超强激光与团簇相互作用的诊断激光等离子体参数的单光束飞秒探针，其构成是以置于真空靶室内、离轴抛物镜焦点上方的靶点为中心，沿光路分为探针光的形成、缩束、延时调节部分和探针光的扩束、相干测量部分，包括激光分束器、激光缩束系统、光学延时系统、激光扩束系统和激光干涉测量系统。本发明具有简捷性、易操作性、延时的准确性、高灵敏度和低成本等优点。
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