公开(公告)号：CN104535500B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201410810540.6

申请日：2014-12-19

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 曾爱军 ,  胡仕玉 ,  袁乔 ,  顾帅妍 ,  谷利元 ,  黄惠杰 ,  贺洪波

IPC分类号： G01N21/21

摘要： 一种成像椭偏仪系统参数的校准方法，可校准成像椭偏仪的系统参数，包括起偏器的偏振方向、检偏器的偏振方向、左右光栅尺的原点位置。该校准方法过程简单、准确，重复性高。校准完成后，无需调整系统部件即可直接测量，从而简化测量过程、提高测量精度。

公开(公告)号：CN104535500A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201410810540.6

申请日：2014-12-19

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 曾爱军 ,  胡仕玉 ,  袁乔 ,  顾帅妍 ,  谷利元 ,  黄惠杰 ,  贺洪波

IPC分类号： G01N21/21

摘要： 一种成像椭偏仪系统参数的校准方法，可校准成像椭偏仪的系统参数，包括起偏器的偏振方向、检偏器的偏振方向、左右光栅尺的原点位置。该校准方法过程简单、准确，重复性高。校准完成后，无需调整系统部件即可直接测量，从而简化测量过程、提高测量精度。