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公开(公告)号：CN106091954A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610664021.2
申请日：2016-08-12
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC分类号： G01B11/0625 , B82Y35/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明公开一种利用介质薄膜控制Otto结构中空气隙厚度的方法，当光强反射率R取得最小值时，此时对应的空气隙厚度d1即为需要镀制的介质薄膜的厚度；采用物理沉积法或化学沉积法在棱镜底面镀制介质薄膜；介质薄膜镀制完成后，采用精密测量仪器测量得出的所镀介质膜层的厚度，即为实际控制的纳米尺度空气隙的厚度。本发明解决了用来产生表面等离子体共振效应的Otto结构中纳米尺度空气间隙厚度难于精确控制的问题。
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公开(公告)号：CN107504907A
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201610415169.2
申请日：2016-06-14
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B11/06 , G01N21/552
CPC分类号： G01B11/06 , G01N21/553
摘要： 一种超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法，本发明通过采集不同起偏角和不同检偏角下的等离子体共振图像，分析得出等离子体共振诱导的椭偏参数曲线，拟合椭偏参数曲线，将最优解作为测量结果，得到超薄薄膜的厚度和光学常数。本发明具有在线实时非接触性测量、不会破坏待测样品表面和测量精度高的特点。
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公开(公告)号：CN106603569A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201710000706.1
申请日：2017-01-03
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC分类号： H04L63/0861 , G06F21/32
摘要： 一种多生物特征融合社会保险身份认证系统和身份认证方法，认证系统包括系统机体、自动调焦摄像头、棱镜、分色镜、紫外光源、红外光源、普通光源、播放器、显示屏、无线通讯模块、身份证阅读器和处理器，通过一个自动调焦摄像头将人体生物特征中的虹膜、人脸和指纹进行采集提取生物特征，将提取的生物特征通过处理器进行融合成一个融合特征信息并与所述的身份证号绑定。本发明大幅度提高身份认证安全性，提高了数据库检索的效率，具有结构简单、成本低、节约空间、系统的复杂度低和容易实现的特点。
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公开(公告)号：CN106403830A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610852448.5
申请日：2016-09-26
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC分类号： G01B11/0641 , G01B11/06 , G01M11/00
摘要： 一种提升椭偏仪测量超薄膜层精度的装置，包括直角三棱镜、平凸球面透镜、超薄膜层和玻璃基底。通过在椭偏仪中引入Otto结构激发表面等离子体共振，利用微米尺度光束测试分析椭偏参数随入射波长、入射角度、空气隙厚度的变化曲线，拟合椭偏参数曲线获得超薄膜层的厚度和光学常数。表面等离子体共振对膜层光学常数非常敏感，椭偏技术可以同时获得Ψ和Δ，两者相结合因此可以提升椭偏测试精度。
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公开(公告)号：CN106091954B
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201610664021.2
申请日：2016-08-12
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 本发明公开一种利用介质薄膜控制Otto结构中空气隙厚度的方法，当光强反射率R取得最小值时，此时对应的空气隙厚度d1即为需要镀制的介质薄膜的厚度；采用物理沉积法或化学沉积法在棱镜底面镀制介质薄膜；介质薄膜镀制完成后，采用精密测量仪器测量得出的所镀介质膜层的厚度，即为实际控制的纳米尺度空气隙的厚度。本发明解决了用来产生表面等离子体共振效应的Otto结构中纳米尺度空气间隙厚度难于精确控制的问题。
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公开(公告)号：CN106403830B
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201610852448.5
申请日：2016-09-26
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种提升椭偏仪测量超薄膜层精度的装置，包括直角三棱镜、平凸球面透镜、超薄膜层和玻璃基底。通过在椭偏仪中引入Otto结构激发表面等离子体共振，利用微米尺度光束测试分析椭偏参数随入射波长、入射角度、空气隙厚度的变化曲线，拟合椭偏参数曲线获得超薄膜层的厚度和光学常数。表面等离子体共振对膜层光学常数非常敏感，椭偏技术可以同时获得Ψ和Δ，两者相结合因此可以提升椭偏测试精度。
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