公开(公告)号：CN113979485A

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN202111242255.5

申请日：2021-10-25

申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明人： 李明 ,  许鹏程 ,  姚方兰 ,  李昕欣 ,  周宇帆

IPC分类号： C01G53/00

摘要： 本发明提供一种透射电镜‑热重关联表征金属氢氧化物的方法，通过TEM‑TG联用芯片中的称重悬臂梁用以称量金属氢氧化物样品在升温过程中的质量变化，同时通过TEM‑TG联用芯片中的观测悬臂梁用以观察金属氢氧化物样品在升温过程中的形貌变化；从而本发明可对金属氢氧化物样品同步进行透射电镜‑热重的关联表征，实现在金属氢氧化物样品热重分析过程的同时表征金属氢氧化物样品的形貌/结构的演变，提高金属氢氧化物样品质量分辨率，使得测试结果更精准。

公开(公告)号：CN114965549A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210515530.4

申请日：2022-05-11

申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明人： 许鹏程 ,  李昕欣 ,  周宇帆 ,  李昕昱 ,  李明 ,  陈滢 ,  于海涛

IPC分类号： G01N25/12 ,  G01N5/04 ,  G01N23/04 ,  G01N23/20 ,  G01N23/20008

摘要： 本发明提供一种纳米材料物相转变温度的测量方法，包括以下步骤：悬臂梁老化、测量基线获取、样品制备、样品预处理、测试曲线获取、数据处理。通过利用集成式谐振悬臂梁和数据采集处理系统，得到纳米材料在不同气氛下程序升温过程的热重曲线，进而可以分析得到样品的合适物相转变温度点，另外，还包括原位透射电子显微镜样品制备装载及原位透射电子显微镜观察的步骤，与气相原位透射电子显微镜联用，可以实时观察纳米材料在升温过程中的形貌变化，以得到能保持形貌稳定且物相转变的合适温度点，本发明的测量方法具有精确度高、效率高、所需样品量少、反馈及时等优点，可为材料的煅烧工艺提供关键的定量数据。

公开(公告)号：CN113884183A

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN202111240609.2

申请日：2021-10-25

申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明人： 李昕欣 ,  许鹏程 ,  姚方兰 ,  李明 ,  周宇帆

IPC分类号： G01J1/42

摘要： 本发明提供一种用于透射电镜‑热重关联表征的原位芯片及其制作方法，在主芯片上制作集成加热电阻、增热阻槽和压阻的称重悬臂梁，用以称量悬臂梁上的待测样品的质量变化；在主芯片上制作带有观测孔、主芯片窗口、加热电阻、增热阻槽和压阻的观测悬臂梁以及通过在辅芯片上制作辅芯片窗口，用以观测悬臂梁上的待测样品的形貌变化；通过TEM样品杆、密封圈、主芯片、辅芯片及气孔的设置，形成密封气体通道，从而本发明可对待测样品同步进行透射电镜‑热重的关联表征，且通过设置的加热电阻可提升对待测样品的加热温度范围，以扩大应用，设置的增热阻槽还可阻断热量向压阻的传递，以在确保对材料加热的同时，降低对压阻的影响。