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发明公开
一种高精度热重分析仪审中-实审转让

公开(公告)号：CN111351733A

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN202010171514.9

申请日：2020-03-12

申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明人： 许鹏程 , 李昕欣 , 于海涛 , 姚方兰 , 杨家林

IPC分类号： G01N5/04

摘要： 本发明涉及测量仪器领域，本发明公开了一种高精度热重分析仪，其包括集成式谐振悬臂梁、样品测试腔、气体仓和数据采集系统；该集成式谐振悬臂梁设于该样品测试腔内，该集成式谐振悬臂梁与该样品测试腔的内壁、该数据采集系统连接，该集成式谐振悬臂梁用于对待测样品称重和加热；该集成式谐振悬臂梁包括谐振悬臂梁和加热元件；该谐振悬臂梁包括第一端；该第一端设有该加热元件，该加热元件用于加热该待测样品；该气体仓位于该样品测试腔的外部，该气体仓用于给该样品测试腔提供气体氛围。本发明提供的高精度热重分析仪具有结构简单和测量精度高的特点。