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公开(公告)号：CN1279593C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN03137307.0
申请日：2003-06-10
Applicant: 清华大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/336 , H01L21/84
Abstract: 本发明公开了属于微电子器件制造技术范围的一种沟道有热、电通道的绝缘层上硅金属-氧化物-半导体场效应晶体管制造工艺。这种工艺和体硅及绝缘体上硅工艺完全兼容，只需在互补金属-氧化物-半导体工艺基础上增加一块注氧的掩膜版和在硅片上热生长或淀积注氧掩蔽层、用注氧掩膜版光刻注氧掩蔽层、氧离子注入及高温退火形成掩埋二氧化硅层4个工艺步骤，制造出沟道有热、电通道结构的绝缘层上硅金属-氧化物-半导体场效应晶体管。该制造工艺简单、易控制，克服了绝缘体上硅器件的浮体效应和自热效应，使绝缘层上硅金属-氧化物-半导体场效应晶体管的热稳定性和器件稳定工作的可靠性大大提高。
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公开(公告)号：CN1457088A
公开(公告)日：2003-11-19
申请号：CN03137307.0
申请日：2003-06-10
Applicant: 清华大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/336 , H01L21/84
Abstract: 本发明公开了属于微电子器件制造技术范围的一种沟道有热、电通道的SOI MOSFET器件制造工艺。这种工艺和体硅及SOI工艺完全兼容，只需在常规CMOS工艺基础上增加一块图形化注氧的掩膜版和在Si片上热生长或淀积注氧掩蔽层、用图形化注氧掩膜版光刻注氧掩蔽层、氧离子注入及高温退火形成掩埋SiO2层4个工艺步骤，制造出沟道有热、电通道结构的SOI MOSFET器件。该制造工艺简单、易控制，克服了SOI器件的浮体效应和自热效应，使SOI MOSFET器件的热稳定性和器件稳定工作的可靠性大大提高。
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公开(公告)号：CN1261988C
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN03151252.6
申请日：2003-09-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 清华大学
IPC: H01L21/336 , H01L21/8234 , H01L21/84
Abstract: 本发明公开了一种制造源漏在自对准绝缘体上的纳米晶体管器件的方法，依次包括纳米侧墙的生成，以侧墙厚度定义晶体管栅的长度，以SiO2掩膜和栅的叠层为掩膜进行自对准的注氧隔离等步骤，其特征在于：(1)纳米侧墙的形成，其厚度为30～100nm；(2)以侧墙的厚度定义SiO2掩膜和多晶硅栅，SiO2掩膜厚度为100～800nm，栅的厚度为300～500nm，栅氧化层的厚度为1～30nm；(3)以多晶硅栅和其上的SiO2叠层掩模，进行源漏自对准的注氧隔离，注入离子的能量为20～200keV，剂量为1.0～7.0×1017cm-2，衬底温度为400～700℃；退火温度为1200～1375℃，退火时间为1～24个小时，退火气氛为Ar与O2的混合气体，其中O2的含量为0.1%～5%；(4)CMOS工艺完成器件的制造。
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公开(公告)号：CN1529349A
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN03151252.6
申请日：2003-09-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 清华大学
IPC: H01L21/336 , H01L21/8234 , H01L21/84
Abstract: 本发明公开了一种制造源漏在自对准绝缘体上的纳米晶体管器件的方法，依次包括纳米侧墙的生成，以侧墙厚度定义晶体管栅的长度，以SiO2掩膜和栅的叠层为掩膜进行自对准的注氧隔离等步骤，其特征在于：(1)纳米侧墙的形成，其厚度为30～100nm；(2)以侧墙的厚度定义SiO2掩膜和多晶硅栅，SiO2掩膜厚度为100～800nm，栅的厚度为300～500nm，栅氧化层的厚度为1～30nm；(3)以多晶硅栅和其上的SiO2叠层掩模，进行源漏自对准的注氧隔离，注入离子的能量为20～200keV，剂量为1.0～7.0×1017cm－2，衬底温度为400～700℃；退火温度为1200～1375℃，退火时间为1～24个小时，退火气氛为Ar与O2的混合气体，其中O2的含量为0.1％～5％。(4)CMOS工艺完成器件的制造。
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公开(公告)号：CN102554379A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210004225.5
申请日：2012-01-09
Applicant: 清华大学 , 佛山市顺德区赛锐工具有限公司 , 佛山市顺德区萨锐数控电火花机研究中心
Abstract: 本发明涉及一种超硬刀具电火花加工装置及操作方法，它包括精密数控电火花成型加工机床，机床的床身上设置有常规旋转工作台、旋转电机和伺服系统，其特征在于：机床的床身上还设置有三坐标工作台，三坐标工作台通过连接轴连接十字滑台，十字滑台上设置有旋转电极；三坐标工作台包括三根相互正交的X轴、Y轴和Z轴，X轴和Y轴为水平方向，Z轴垂直于X轴和Y轴组成的水平面；十字滑台设置在旋转工作台与三坐标工作台之间，十字滑台包括两根相互正交的U轴和V轴，U轴与X轴平行，V轴与Y轴平行；连接轴垂直连接X轴和V轴，且与Z轴平行；旋转电极垂向设置在U轴的底部。本发明免去了大量的坐标转换计算，使刀具的展成加工编程可以简单实现，可用于各种硬质刀具的成型加工过程中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115375389A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202110557833.8
申请日：2021-05-21
Abstract: 本申请公开了一种基于区块链的能源交易系统，该系统包括：运维模块，其配置为对终端发送的输入信息进行分析以确定用户信息，并在用户信息通过了预设的区块链的节点共识的情况下，将用户信息记录到区块链中；终端用户模块，其配置为在获取到操作指令的情况下，基于至少一个负载的用电信息，自定义和/或利用区块链具有的智能合约确定负载的用电策略，其中，操作指令与区块链中记录的用户信息相关联；监管模块，其配置为基于智能合约监管系统中的发电信息、用电信息、碳积分信息、电力交易信息和/或发电设备ABS信息，以及对上述数据进行安全保护。该系统能够基于区块链技术实现点对点的电力交易，还能保证交易过程中相关数据的安全。
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公开(公告)号：CN102825545B
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201210258437.6
申请日：2012-07-24
Applicant: 清华大学 , 佛山市顺德区萨锐数控电火花机研究中心
IPC: B24B49/02
Abstract: 本发明涉及一种加工前测量木工PCD刀具形状的方法，其步骤为：（1）设置包括控制系统、四个伺服电机、测距传感器、控制器、I/O采集卡和待测木工PCD刀具的测量系统；（2）控制系统控制第一个伺服电机带动测距传感器移动至被检测齿处，并控制第二个、第三个和第四个伺服电机带动测距传感器与测距传感器做相对运动；（3）测距传感器检测被检测齿表面上的第一个点，并将检测到的第一个点位置坐标（x1，y1，z1）返回至控制系统；（4）重复步骤（3），将检测到的第二个点位置坐标（x2，y2，z2）返回至控制系统；（5）重复步骤（3）、（4），将检测到的第三个点位置坐标（x3，y3，z3）返回至控制系统，根据所记录的三点坐标值，构成被检测齿的刀具平面，并与理想外端圆柱面求交线，得到被检测齿的磨削轨迹。
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公开(公告)号：CN102825545A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210258437.6
申请日：2012-07-24
Applicant: 清华大学 , 佛山市顺德区萨锐数控电火花机研究中心
IPC: B24B49/02
Abstract: 本发明涉及一种加工前测量木工PCD刀具形状的方法，其步骤为：（1）设置包括控制系统、四个伺服电机、测距传感器、控制器、I/O采集卡和待测木工PCD刀具的测量系统；（2）控制系统控制第一个伺服电机带动测距传感器移动至被检测齿处，并控制第二个、第三个和第四个伺服电机带动测距传感器与测距传感器做相对运动；（3）测距传感器检测被检测齿表面上的第一个点，并将检测到的第一个点位置坐标（x1,y1,z1）返回至控制系统；（4）重复步骤（3），将检测到的第二个点位置坐标（x2,y2,z2）返回至控制系统；（5）重复步骤（3）、（4），将检测到的第三个点位置坐标（x3,y3,z3）返回至控制系统，根据所记录的三点坐标值，构成被检测齿的刀具平面，并与理想外端圆柱面求交线，得到被检测齿的磨削轨迹。
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公开(公告)号：CN102601683B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210102084.0
申请日：2012-04-09
Applicant: 清华大学 , 佛山市顺德区赛锐工具有限公司 , 佛山市顺德区萨锐数控电火花机研究中心
Abstract: 本发明涉及一种加工超硬刀具的在线检测系统及检测方法，其特征在于：它包括数控系统，所述数控系统连接两个伺服电机，其中一个所述伺服电机的输出端连接电火花放电电极，另一个所述伺服电机的输出端通过探头主轴连接测量探头；所述测量探头发送数据给接收器，所述接收器将数据信号通过转换器转换后反馈给数控系统。本发明由于在电极磨削超硬刀具的一个齿的同时，检测其相对面的另一个齿的加工参数是否合格，并通过本发明中的数控系统提供再加工程序，待所有齿加工完成之后，立即返修所有不合格的齿，因此，真正做到了刀具的一次成型，有效地提高了刀具的生产效率，避免了多次装卡刀具引入的装卡误差。
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公开(公告)号：CN102788560A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210258090.5
申请日：2012-07-24
Applicant: 清华大学 , 佛山市顺德区赛锐工具有限公司 , 佛山市顺德区萨锐数控电火花机研究中心
Abstract: 本发明涉及一种用于检测木工PCD刀具形状的非接触式测量系统，它包括控制系统、第一、第二、第三、第四个伺服电机、激光测距传感器、控制器、I/O采集卡和待测的木工PCD刀具；控制系统内预置有四个伺服电机运动轨迹控制指令；控制系统输出端分别连接四个伺服电机，第一个伺服电机带动激光测距传感器沿Z轴移动，第二个伺服电机和第三个伺服电机分别带动木工PCD刀具沿X轴、Y轴移动，第四个伺服电机带动木工PCD刀具转动；激光测距传感器在控制器控制下，检测木工PCD刀具被检测齿，检测结果经控制器传输至I/O采集卡，I/O采集卡将采集到的检测数据传输至控制系统，控制系统记录四个伺服电机坐标值，根据坐标值点拟合出木工PCD刀具被检测齿的形状。本发明可以广泛在刀具形状测量中应用。
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