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公开(公告)号:CN114530261A
公开(公告)日:2022-05-24
申请号:CN202210101819.1
申请日:2022-01-27
申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要: 本发明提供一种用于超高真空环境下的密封圈密封结构,其包括密封圈、引出水管、压紧螺母、盖板。所述密封圈为截面为L形状的圆环状密封圈,设置在引出水管和盖板之间;通过将所述压紧螺母拧紧以挤压密封圈形成真空密封,所述压紧螺母与盖板之间设置有弹垫;所述盖板通过螺栓压紧安装在真空腔室上,所述盖板和所述真空腔室之间通过矩形密封圈进行密封。本发明解决了离子源内部部件在超高真空环境下冷却水管引出到大气环境下的真空密封问题。
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公开(公告)号:CN106531600A
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201610888553.4
申请日:2016-10-11
申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号: H01J37/08
摘要: 本发明公开了一种孔形水冷电极引出系统负氢离子源的装置,在放电室的顶端固定有放电室盖板,在放电室盖板的上方依次安装有所述的RF驱动器和铯注入器,所述的放电室固定安装在探针板上,在所述的探针板上安装有多个朗缪尔探针,所述的磁滤器安装在探针板的下面,所述的锥形支撑座位于探针板的下方,电极系统安装在锥形支撑座上,在锥形支撑座上设有两层金属法兰,所述的支撑环氧位于两层金属法兰之间,在锥形支撑座上还设有冷却水管一,所述的冷却水管一的两端分别位于金属法兰上。本发明通过RF驱动器产生稳定的长脉冲等离子体,在铯注入器的帮助下提高负氢离子的产出,通过引出系统引出束流,束流密度达到350A/m2。
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公开(公告)号:CN111180298B
公开(公告)日:2024-08-09
申请号:CN202010086396.1
申请日:2020-02-11
申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要: 本发明提供一种射频离子源启动灯丝装置,包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板;所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下法兰绝缘压板上,整体再安装在下法兰盖板上;压紧螺栓将上法兰盖板和上法兰绝缘压板安装在下法兰盖板上,通过拧紧压紧螺栓压紧第一真空密封圈、第二真空密封圈、第三真空密封圈实现真空密封;绝缘陶瓷通过固定钼座安装在下法兰盖板上;其中,启动灯丝装置采用钼棒作为脉冲高压正极,钼座作为脉冲高压负极,利用高压击穿电离建立等离子体,同时充当进气装置安装在驱动盖板中间,避免等离子体放电的不均匀性。
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公开(公告)号:CN117292866A
公开(公告)日:2023-12-26
申请号:CN202311304075.4
申请日:2023-10-10
申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要: 本发明涉及一种负离子源中性束注入器的剩余带电粒子电偏转系统,系统包括电偏转极板、主体支撑结构、可调支撑底座、防护壳、吊具以及热电偶。电偏转极板用于形成板间电场和吸收高能带电粒子的能量;主体支撑结构用于极板主体的支撑与定位;可调支撑底座用于电偏转器在束线真空室内部安装和定位;防护壳用于形成高电位极板与束线其余部件的电位防护,在防护壳的入口和出口处采用了喇叭状的带有水冷管路束流限制器来将束流限制在一个空间尺寸内;吊具用于电偏转器主体的吊装。本发明实现了通过电偏转的方法剥离负离子源中性束注入系统中的剩余带电粒子,实现了束流的中性化。
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公开(公告)号:CN112558230A
公开(公告)日:2021-03-26
申请号:CN202011418750.2
申请日:2020-12-07
申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号: G02B6/35 , H04B10/079
摘要: 本发明提供一种多通道分时复测光耦合装置与使用方法,包括:方腔、方腔盖板、挡板、转轴、电机、轴承、支架、准直镜、准直镜转接座、一转多光纤、滤波片以及光信号接收转换装置;轴承安装在方腔和方腔盖板上,旋转快门通过螺钉锁紧在转轴上,方腔盖板和方腔通过螺钉、螺母锁紧密封,实现阻挡杂散光的功能;支架与方腔、方腔盖板之间固定连接,准直镜与准直镜转接座之间采用螺纹锁紧配合,然后再通过螺纹锁紧在方腔、方腔盖板上;方腔和方腔盖板为多组信号提供通道接口,同时也使得装置内部为一密闭的环境,减少其他杂散光对信号的影响;通过电机与轴承带动旋转快门进行旋转,选择对多组通道中某一组通道的打开,来实现该组信号的传输及其他组信号的阻断。
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公开(公告)号:CN106641359A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201710014193.X
申请日:2017-01-09
申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号: F16K17/08
摘要: 本发明公开了一种真空进气安全阀,其特征在于:包括有阀体、气管快接、放气球,所述的阀体包括有头部KF快接接头、中间气腔、尾部中心开有螺纹的通孔以及尾部边沿处开有螺纹的活塞腔,所述的气管快接安装在尾部中心开有螺纹的通孔的通孔上,所述的放气球安装在尾部边沿处开有螺纹的活塞腔上,所述的中间气缸内设有一定体积的气腔用于气体缓冲,所述的头部KF快接接头与真空室的进气角阀直接连接。本发明体积较小,无电子元件,无需电、气、液提供动力,材料普通,可根据需要自行选择,结构简单,成本低,工作稳定可靠且安装拆卸简单快捷,容易修复,可反复多次使用,能够起到很好的安全保护与指示作用。
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公开(公告)号:CN113411944B
公开(公告)日:2023-08-01
申请号:CN202110666882.5
申请日:2021-06-16
申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号: H05H1/46
摘要: 本发明公开一种调整耦合线圈位置实现引出粒子密度调节的装置,包含放电腔体、上过渡法兰、下过渡法兰、耦合线圈、绝缘部件、线圈支架、步进电机及齿轮组、滑轨、柔性电缆、射频功率源和和阻抗匹配网络。耦合线圈与放电腔体相对位置不固定,耦合线圈通过绝缘部件连接线圈支架,线圈支架同时容纳步进电机及齿轮组的安装位置,通过控制步进电机在滑轨上的运动来调节耦合线圈在放电腔体的轴向上进行运动,调整下过渡法兰附近的等离子体密度,实现引出粒子密度调节。耦合线圈与阻抗匹配网络之间通过柔性电缆连接。本发明降低了对射频功率源调整响应的要求,降低阻抗匹配网络所需要的调节范围,增强射频等离子体放电的稳定性,降低系统操作的复杂程度。
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公开(公告)号:CN114641119A
公开(公告)日:2022-06-17
申请号:CN202210259948.3
申请日:2022-03-16
申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号: H05H1/54
摘要: 本发明提供了一种用于控制等离子体加速器引出束流的装置及方法,装置中:内设放电腔体的玻璃筒与分别内置有引出电极、第一加速极、第二加速极的各绝缘容器顺着气体流向依次相接并相通,由真空系统抽真空,进气系统连接至玻璃筒的上端,且与引出电极、第一加速极、第二加速极上均开设有供气体流通的气孔;耦合线圈绕设在玻璃筒筒外,两端与射频功率源通过导线相连;还设有用于控制进气系统、射频功率源、真空系统、电阻调节系统的远程控制系统;电阻调节系统在远程控制系统通过光电隔离控制系统的控制下,能够实现对两级加速器分压比的控制。本发明有助于提高束流引出效率,调节引出束流品质。
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公开(公告)号:CN111180298A
公开(公告)日:2020-05-19
申请号:CN202010086396.1
申请日:2020-02-11
申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要: 本发明提供一种射频离子源启动灯丝装置,包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板;所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下法兰绝缘压板上,整体再安装在下法兰盖板上;压紧螺栓将上法兰盖板和上法兰绝缘压板安装在下法兰盖板上,通过拧紧压紧螺栓压紧第一真空密封圈、第二真空密封圈、第三真空密封圈实现真空密封;绝缘陶瓷通过固定钼座安装在下法兰盖板上;其中,启动灯丝装置采用钼棒作为脉冲高压正极,钼座作为脉冲高压负极,利用高压击穿电离建立等离子体,同时充当进气装置安装在驱动盖板中间,避免等离子体放电的不均匀性。
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公开(公告)号:CN112558230B
公开(公告)日:2022-10-21
申请号:CN202011418750.2
申请日:2020-12-07
申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号: G02B6/35 , H04B10/079
摘要: 本发明提供一种多通道分时复测光耦合装置与使用方法,包括:方腔、方腔盖板、挡板、转轴、电机、轴承、支架、准直镜、准直镜转接座、一转多光纤、滤波片以及光信号接收转换装置;轴承安装在方腔和方腔盖板上,旋转快门通过螺钉锁紧在转轴上,方腔盖板和方腔通过螺钉、螺母锁紧密封,实现阻挡杂散光的功能;支架与方腔、方腔盖板之间固定连接,准直镜与准直镜转接座之间采用螺纹锁紧配合,然后再通过螺纹锁紧在方腔、方腔盖板上;方腔和方腔盖板为多组信号提供通道接口,同时也使得装置内部为一密闭的环境,减少其他杂散光对信号的影响;通过电机与轴承带动旋转快门进行旋转,选择对多组通道中某一组通道的打开,来实现该组信号的传输及其他组信号的阻断。
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