公开(公告)号：CN106645802A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201510734666.4

申请日：2015-10-30

申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院

发明人： 陆轻釉

IPC分类号： G01Q10/02 ,  G01Q60/00

CPC分类号： G01Q10/02 ,  G01Q60/00

摘要： 本发明公开了一种通过杠杆扫描的高精度压电扫描器及其扫描探针显微镜，包括X形变压电体、扫描杆、第一钳位片、第二钳位片，所述第一钳位片固定于X形变压电体形变的一端，X形变压电体形变的另一端为其自由端，第二钳位片固定于该自由端并钳住扫描杆的一端，扫描杆的另一端为其扫描端，扫描杆垂直于X形变压电体的形变方向，第一钳位片钳住扫描杆的中部，X形变压电体的X形变带动扫描杆围绕第一钳位片钳住扫描杆的地方做杠杆转动，也即带动扫描杆的扫描端做X方向扫描。若X形变压电体换成XY形变压电体可得两维杠杆扫描情形。通过调节支点位置，可使压电扫描器自由端的不稳定性通过扫描杆的杠杆减弱作用，从而实现高精度、高稳定扫描。