在条纹反射测量中快速获取解包相位的方法

    公开(公告)号:CN105180835A

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201510237635.8

    申请日:2015-05-11

    发明人: 李博 徐秋云 翟洋

    IPC分类号: G01B11/25

    摘要: 在条纹反射测量装置中快速获取解包相位的方法:⑴.显示标准正弦条纹图;⑵.经镜面反射样品的反射后成为反射正弦条纹图;⑶.拍摄反射正弦条纹图;⑷.按照相位恢复方法得到压包相位;⑸.令显示器投射一幅经过编码得到的具有四种灰度的标准正交条纹图;⑹.用相机拍摄镜面反射样品反射所形成的反射正交条纹图;⑺.提取相位解包操作所需的水平方向和垂直方向相位整数信息;⑻.改变空间频率得到多幅标准正交条纹图;⑼.依次投射标准正交条纹图,并重复步骤步骤⑹与步骤⑺,得到不同空间频率下的相位整数信息;⑽.进行相位解包操作得到解包相位。本发明计算速度快、准确、抗噪声性能好;大幅提高了测量效率。

    大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法

    公开(公告)号:CN104776811A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201510170217.1

    申请日:2015-04-10

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法:1:设计对有限距离共轭的消球差单透镜,透镜一面是球面另一面叠加偶次项;2:把离轴子镜平移至干涉仪的光轴上,绕子镜的顶点进行旋转;3:在消球差单透镜之前插入计算全息片,实现自准直检测;4:在计算全息片的补偿相位基础上加入载频;5:针对某一特定离轴量的子镜,用光学设计软件进行优化设计;6:设计计算全息片的加工工艺参数;7:重复以上步骤,针对不同离轴量的离轴子镜,设计检测光路,设计的内容包括待检镜面到消球差单透镜的距离、主全息的相位分布、对准全息的相位分布。本发明检测不同离轴量的子镜时,只需更换计算全息片。计算全息片口径小、设计加工精度高,装调方便、节约成本。

    在条纹反射测量中快速获取解包相位的方法

    公开(公告)号:CN105180835B

    公开(公告)日:2018-08-28

    申请号:CN201510237635.8

    申请日:2015-05-11

    发明人: 李博 徐秋云 翟洋

    IPC分类号: G01B11/25

    摘要: 在条纹反射测量装置中快速获取解包相位的方法:⑴.显示标准正弦条纹图;⑵.经镜面反射样品的反射后成为反射正弦条纹图;⑶.拍摄反射正弦条纹图;⑷.按照相位恢复方法得到压包相位;⑸.令显示器投射一幅经过编码得到的具有四种灰度的标准正交条纹图;⑹.用相机拍摄镜面反射样品反射所形成的反射正交条纹图;⑺.提取相位解包操作所需的水平方向和垂直方向相位整数信息;⑻.改变空间频率得到多幅标准正交条纹图;⑼.依次投射标准正交条纹图,并重复步骤步骤⑹与步骤⑺,得到不同空间频率下的相位整数信息;⑽.进行相位解包操作得到解包相位。本发明计算速度快、准确、抗噪声性能好;大幅提高了测量效率。

    大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法

    公开(公告)号:CN104776811B

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201510170217.1

    申请日:2015-04-10

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法:1:设计对有限距离共轭的消球差单透镜,透镜一面是球面另一面叠加偶次项;2:把离轴子镜平移至干涉仪的光轴上,绕子镜的顶点进行旋转;3:在消球差单透镜之前插入计算全息片,实现自准直检测;4:在计算全息片的补偿相位基础上加入载频;5:针对某一特定离轴量的子镜,用光学设计软件进行优化设计;6:设计计算全息片的加工工艺参数;7:重复以上步骤,针对不同离轴量的离轴子镜,设计检测光路,设计的内容包括待检镜面到消球差单透镜的距离、主全息的相位分布、对准全息的相位分布。本发明检测不同离轴量的子镜时,只需更换计算全息片。计算全息片口径小、设计加工精度高,装调方便、节约成本。