用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法

    公开(公告)号:CN106291908B

    公开(公告)日:2021-05-11

    申请号:CN201610906540.5

    申请日:2016-10-18

    IPC分类号: G02B23/16 G02B5/08

    摘要: 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法,该金增强反射膜系结构如下,自主镜表面开始,依次为:打底层、金层、过渡层、介质增强膜系层;其中打底层采用铬、镍铬合金,厚度10nm‑25nm;金膜层厚度95nm‑105nm;过渡层采用二氧化铪,厚度15nm‑150nm;介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合。本发明在近紫外、可见光与红外波段均具有高反射效率同时兼具优良的环境稳定性与较长使用寿命,光谱反射效率在可见光波段高出约8%;膜层更加耐用;使用反射波段拓展至近紫外与可见光波段;本发明膜层带来的应力要远远小于全介质反射镜。

    计算全息和球面反射镜检测不同离轴量非球面的方法

    公开(公告)号:CN110108228A

    公开(公告)日:2019-08-09

    申请号:CN201910342720.9

    申请日:2019-04-26

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 计算全息和球面反射镜检测不同离轴量非球面的方法。1.设计检测光路初始结构,确定球面反射镜曲率半径及其相对位置;2.逆向光路追迹,以球面反射镜和计算全息共同补偿离轴子镜像差;3.设计正向自准直检测光路,全息增加倾斜载频用以滤除非工作衍射级次光线;4.求解全息空间频率确定其加工工艺参数;5.设计对准全息、基准全息用以调整干涉仪测试点、计算全息、球面反射镜及待测离轴子镜之间的相对位置;6.重复步骤2-5,使用相同光路结构、不同计算全息设计不同离轴量子镜自准直检测光路。本发明可用于不同离轴量非球面的批量检测,仅需更换相应计算全息片即可实现镜面面形的高精度检测,检测光路装调方便,大幅提高了检测效率。

    高精度大口径天文望远镜薄镜面磨制的主动支撑控制装置

    公开(公告)号:CN1564047A

    公开(公告)日:2005-01-12

    申请号:CN200410014395.7

    申请日:2004-03-23

    IPC分类号: G02B23/02 G06F9/00

    摘要: 高精度大口径天文望远镜薄镜面磨制的主动支撑控制装置,设有承重台面,另外设有光学检测系统,其特征在于:在承重台面上设有若干镜面支撑器,所述的支撑器由固定支撑器和作为主动支撑的力促动器构成,其中固定支撑器不少于三支,所述的力促动器上设有步进电机,光学检测系统的输出接计算机,计算机通过驱动器接步进电机。优化方案是在计算机与步进电机驱动器之间,设置有若干数字输出控制接口卡,计算机的输出分别接各数字输出控制接口卡,数字输出控制接口卡再分别接各个步进电机驱动器。本发明可以动态的、边磨制边检测、边调整支撑体系,随时防止镜面材料在磨制过程中产生形变,控制精度可以达到万分之五,均方根值≤50mN。

    离轴高次类椭球面反射镜的组合补偿面形检测系统及方法

    公开(公告)号:CN113175897B

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202110498108.8

    申请日:2021-05-08

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 本发明公开了一种离轴高次类椭球面反射镜的组合补偿面形检测系统及方法。该检测系统包括计算机、偏振移相干涉仪、计算全息、待测镜、反射球;待测镜为具有高次项的离轴类椭球面反射镜,偏振移相干涉仪与计算机连接,测试球面波的焦点位于待测镜的远焦点位置,测试球面波经计算全息衍射、待测镜反射、待测镜近焦点位置处的反射球反射后,再次经待测镜反射、计算全息衍射,汇聚到偏振移相干涉仪的焦点位置,测试球面波进入偏振移相干涉仪与参考波面干涉产生干涉条纹,计算机对主全息条纹进行处理,得到待测离轴高次类椭球面反射镜的面形信息。本发明具有非接触、精度高的特点,可以有效保证待测离轴高次类椭球面的面形精度符合加工要求。

    用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法

    公开(公告)号:CN106291908A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610906540.5

    申请日:2016-10-18

    IPC分类号: G02B23/16 G02B5/08

    CPC分类号: G02B23/16 G02B5/085

    摘要: 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法,该金增强反射膜系结构如下,自主镜表面开始,依次为:打底层、金层、过渡层、介质增强膜系层;其中打底层采用铬、镍铬合金,厚度10nm-25nm;金膜层厚度95nm-105nm;过渡层采用二氧化铪,厚度15nm-150nm;介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合。本发明在近紫外、可见光与红外波段均具有高反射效率同时兼具优良的环境稳定性与较长使用寿命,光谱反射效率在可见光波段高出约8%;膜层更加耐用;使用反射波段拓展至近紫外与可见光波段;本发明膜层带来的应力要远远小于全介质反射镜。

    大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法

    公开(公告)号:CN104776811A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201510170217.1

    申请日:2015-04-10

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法:1:设计对有限距离共轭的消球差单透镜,透镜一面是球面另一面叠加偶次项;2:把离轴子镜平移至干涉仪的光轴上,绕子镜的顶点进行旋转;3:在消球差单透镜之前插入计算全息片,实现自准直检测;4:在计算全息片的补偿相位基础上加入载频;5:针对某一特定离轴量的子镜,用光学设计软件进行优化设计;6:设计计算全息片的加工工艺参数;7:重复以上步骤,针对不同离轴量的离轴子镜,设计检测光路,设计的内容包括待检镜面到消球差单透镜的距离、主全息的相位分布、对准全息的相位分布。本发明检测不同离轴量的子镜时,只需更换计算全息片。计算全息片口径小、设计加工精度高,装调方便、节约成本。

    高精度大口径天文望远镜薄镜面磨制的主动支撑控制装置

    公开(公告)号:CN1252505C

    公开(公告)日:2006-04-19

    申请号:CN200410014395.7

    申请日:2004-03-23

    IPC分类号: G02B23/02 G06F9/00

    摘要: 高精度大口径天文望远镜薄镜面磨制的主动支撑控制装置,设有承重台面,另外设有光学检测系统,其特征在于:在承重台面上设有若干镜面支撑器,所述的支撑器由固定支撑器和作为主动支撑的力促动器构成,其中固定支撑器不少于三支,所述的力促动器上设有步进电机,光学检测系统的输出接计算机,计算机通过驱动器接步进电机。优化方案是在计算机与步进电机驱动器之间,设置有若干数字输出控制接口卡,计算机的输出分别接各数字输出控制接口卡,数字输出控制接口卡再分别接各个步进电机驱动器。本发明可以动态的、边磨制边检测、边调整支撑体系,随时防止镜面材料在磨制过程中产生形变,控制精度可以达到万分之五,均方根值≤50mN。