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公开(公告)号:CN112030121B
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN201910476391.7
申请日:2019-06-03
申请人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 江苏金晟元特种阀门股份有限公司
摘要: 本发明公开了一种宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜、其制备方法及应用。所述复合薄膜包括依次形成在基体上的Mo过渡层以及MoN与C共掺层,所述共掺层由非晶碳相及多晶纳米晶相组成,所述多晶纳米晶相包括MoN、Mo2N和MoC。所述复合薄膜内C原子含量为10.36at.%~23.4at.%。本发明的所述复合薄膜具有良好的膜基结合力、较大的硬度及弹性模量,在保证常温摩擦系数较低的同时具有高温下自润滑特性,在宽温域的摩擦工况下具有很好的应用价值,例如可以应用于在高温条件下工作的装置或工件。同时,本发明提供的制备所述复合薄膜的工艺易于实施,可控性好,利于规模化生产。
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公开(公告)号:CN112030121A
公开(公告)日:2020-12-04
申请号:CN201910476391.7
申请日:2019-06-03
申请人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 江苏金晟元特种阀门股份有限公司
摘要: 本发明公开了一种宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜、其制备方法及应用。所述复合薄膜包括依次形成在基体上的Mo过渡层以及MoN与C共掺层,所述共掺层由非晶碳相及多晶纳米晶相组成,所述多晶纳米晶相包括MoN、Mo2N和MoC。所述复合薄膜内C原子含量为10.36at.%~23.4at.%。本发明的所述复合薄膜具有良好的膜基结合力、较大的硬度及弹性模量,在保证常温摩擦系数较低的同时具有高温下自润滑特性,在宽温域的摩擦工况下具有很好的应用价值,例如可以应用于在高温条件下工作的装置或工件。同时,本发明提供的制备所述复合薄膜的工艺易于实施,可控性好,利于规模化生产。
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