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公开(公告)号：CN107293935B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201710615890.0
申请日：2017-07-26
申请人： 中国科学院理化技术研究所
摘要： 本发明提供一种产生短波长深紫外激光的装置，包括：泵浦源、第一激光变频系统、第二激光变频系统、分束镜、倍频系统以及和频系统，所述泵浦源发射的激光经过所述第一激光变频系统后，得到第一预设频率的第一激光源；所述第一激光源发射的激光经所述分束镜后，分束成频率相等的第一激光和第二激光；所述第一激光经过倍频系统的2倍频后射入所述第二激光变频系统，得到第二预设频率的第二激光源；所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第二激光在所述真空和频系统中和频或所述第二激光源发射的激光经过所述倍频系统的4倍频后，与所述第一激光在所述倍频系统的2倍频后在真空中和频，得到调频范围较宽的深紫外激光。
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公开(公告)号：CN108732845A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201710257167.X
申请日：2017-04-19
申请人： 中国科学院理化技术研究所
摘要： 本发明提供一种倍频晶体耦合器，包括沿光束照射方向依次设置的第一耦合棱镜、倍频晶体以及第二耦合棱镜，所述倍频晶体呈平板状，所述第一耦合棱镜和第二耦合棱镜分别设置在所述倍频晶体的两侧面；所述第一耦合棱镜的材料为可见光高透或紫外光高透的晶体；所述第二耦合棱镜为紫外光高透或深紫外光高透的晶体；所述第一耦合棱镜的光束入射面、所述倍频晶体的两侧面以及所述第二耦合棱镜的光束出射面、所述第一耦合棱镜与倍频晶体的接触面以及第二耦合棱镜与倍频晶体的接触面均为抛光面。本发明可以有效减小棱镜与倍频晶体胶合面的热积累效应，从而大大提高耦合器整体的损伤阈值，进而提高倍频光的转换效率和输出功率。
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公开(公告)号：CN104104005B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201410251130.2
申请日：2014-06-06
申请人： 中国科学院理化技术研究所
摘要： 本发明公开了一种双板条结构走离补偿装置，所述装置包括第一非线性光学晶体和第二非线性光学晶体；所述第一非线性光学晶体和第二非线性光学晶体均为板条状，并固定在一起；基频光耦合进第一非线性光学晶体，按相位匹配角传播，之后，基频光和产生的谐波在第一非线性光学晶体的上表面和第二非线性光学晶体的下表面来回反射，最后从第二非线性光学晶体耦合输出。本发明提供的一种双板条结构走离补偿装置结构简单、紧凑、散热性好；不需要多块晶体，降低了装置的复杂性和成本，另外对大功率泵浦或对温度敏感的晶体，在第一非线性光学晶体的上表面和第二非线性光学晶体的下表面设有温控装置，既能实现高转换效率，又能保证好的光束质量。
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公开(公告)号：CN104104005A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410251130.2
申请日：2014-06-06
申请人： 中国科学院理化技术研究所
摘要： 本发明公开了一种双板条结构走离补偿装置，所述装置包括第一非线性光学晶体和第二非线性光学晶体；所述第一非线性光学晶体和第二非线性光学晶体均为板条状，并固定在一起；基频光耦合进第一非线性光学晶体，按相位匹配角传播，之后，基频光和产生的谐波在第一非线性光学晶体的上表面和第二非线性光学晶体的下表面来回反射，最后从第二非线性光学晶体耦合输出。本发明提供的一种双板条结构走离补偿装置结构简单、紧凑、散热性好；不需要多块晶体，降低了装置的复杂性和成本，另外对大功率泵浦或对温度敏感的晶体，在第一非线性光学晶体的上表面和第二非线性光学晶体的下表面设有温控装置，既能实现高转换效率，又能保证好的光束质量。
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公开(公告)号：CN104102228A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410225519.X
申请日：2014-05-26
申请人： 中国科学院理化技术研究所
IPC分类号： G05D3/00
摘要： 本发明涉及激光技术领域，尤其涉及一种双轴旋转角度同步精密调节装置，其包括调节架支架、左独立调节架、右独立调节架和联合调节架。其中，调节架支架为整个装置提供支撑，并封装整个装置。左、右独立调节架固定在轴上，可以单独旋转，分别调节其旋转角度，也可以通过轴旋转，带动整个调节架旋转角度。联合调节架通过丝绳，轴之间的连接，可以同时相同或相反方向转动整个左、右独立调节架，精确实现两独立调节架同时、同向或反向调节。本发明采用联合调节架实现角度同步精密调节，先单独分别调节独立调节架，使其角度实现某一状态，之后只需调节联合调节架，即可精确实现角度同步精密调节。调节过程操作简单，调节同步，精度高。
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公开(公告)号：CN104064949A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410241146.5
申请日：2014-05-30
申请人： 中国科学院理化技术研究所
摘要： 本发明公开了一种深紫外激光产生与传输的装置，包括密封腔体、真空系统、深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统；所述深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统均位于所述密封腔体内。本发明所公开的深紫外激光产生与传输的装置具有良好的完备性、可行性和小型性，简单可操作性与实用性。
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公开(公告)号：CN111934184B
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202010619287.1
申请日：2020-06-30
申请人： 中国科学院理化技术研究所
摘要： 一种利用全内反角的多程棱镜耦合器，包括沿光束照射方向依次设置的第一耦合棱镜、非线性变频晶体以及第二耦合棱镜，非线性变频晶体呈平板状，所述第一耦合棱镜和第二耦合棱镜分别设置在非线性变频晶体相对的两个板面；非线性变频晶体，用于将射入到其内的光束以相位匹配角传播，在所述第一反射区和第二反射区之间沿光路实现多程全内反射后，经第一耦合棱镜或者第二耦合棱镜输出。本发明实施例提供的耦合器，利用全内反角使入射光线在非线性变频晶体中形成多次反射，成倍增加了倍频晶体有效长度，进而提高倍频光的转换效率和输出功率。
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公开(公告)号：CN111965916A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010777625.4
申请日：2020-08-05
申请人： 中国科学院理化技术研究所
摘要： 本发明公开了一种深紫外光频梳产生装置，该深紫外光频梳产生装置包括沿光路依次设置的基频光梳光源1、2倍频晶体2、色散器件3、4倍频棱镜耦合器件4、色散补偿器5和缩束器6。本发明实施例提供的装置，可以将光频梳波段通过级联倍频方式扩展至深紫外波段，深紫外光频梳的频率变为基频光梳的四倍，线宽可变为基频的一半，理论上可使不确定度减小约一个量级，从而提高精密测量中的测量精度。
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公开(公告)号：CN111948870A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010623340.5
申请日：2020-06-30
申请人： 中国科学院理化技术研究所
IPC分类号： G02F1/35
摘要： 一种具有空气夹层的多程棱镜耦合器，包括沿光束照射方向依次设置的挖槽耦合棱镜、非线性变频晶体和散热金属片。非线性变频晶体呈平板状，挖槽耦合棱镜和散热金属片分别设置在非线性变频晶体相对的两个板面上。基频光耦合进挖槽耦合棱镜，并以相位匹配角在晶体中传播，基频光和进入晶体产生的谐波在晶体的相对的两个板面上多次来回反射后从棱镜耦合输出。本发明实施例提供的耦合器，利用全内反角使入射光线在非线性变频晶体中形成多次反射，成倍增加了非线性变频晶体的有效长度，散热金属片设置在非线性变频晶体的板面上，能有效减小棱镜与晶体胶合面的热积累效应，从而大大提高耦合器整体的损伤阈值，进而提高倍频光的转换效率和输出功率。
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公开(公告)号：CN108336632B
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201710040056.3
申请日：2017-01-18
申请人： 中国科学院理化技术研究所
IPC分类号： H01S3/00
摘要： 本发明涉及非线性光学领域，尤其涉及一种腔镜晶体一体化的超稳腔装置及方法，该装置包括第一激光器、光学隔离器、变换透镜组、外腔晶体组件和温控仪，光学隔离器、变换透镜组和外腔晶体组件沿第一激光器输出光的传输方向依次设置，温控仪上设有激光输入窗口和激光输出窗口，外腔晶体组件设于温控仪的内部，且外腔晶体组件包括光学晶体和设于光学晶体上的谐振腔镜，谐振腔镜使光学晶体的内部形成谐振腔，温控仪通过改变温度控制外腔晶体组件的长度。该装置利用光学晶体受外界影响单一且稳定的特点，将谐振腔镜集成在光学晶体上形成具有倍频功能的外腔晶体组件，再利用温控仪控制光学晶体的长度，以满足共振条件实现外腔倍频。
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