公开(公告)号：CN118337174A

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202410437192.6

申请日：2024-04-11

申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

发明人： 林栋 ,  时文华 ,  林文魁 ,  张宝顺 ,  曾中明

IPC分类号： H03H9/17 ,  B06B1/06

摘要： 本发明公开了一种高Q值PMUT器件及其制造方法。高Q值PMUT器件包括沿选定方向层叠设置的支撑结构层、底电极、压电层和顶电极，所述支撑结构内具有谐振腔，所述顶电极完全位于所述谐振腔沿所述选定方向形成的第一正投影区域内，所述第一正投影区域包括第一区域和第二区域，所述第一区域环绕所述第二区域，所述谐振腔的中轴线位于所述第二区域，所述顶电极包括至少一个环形电极，所述环形电极位于所述第一区域，且环绕所述第二区域设置，所述环形电极的环宽与所述谐振腔的半径的比值为0.1～0.3。本发明通过对环形电极的尺寸以及位置进行优化，可以将PMUT器件的Q值提高到1800以上，等效电阻可以小至500Ω。

公开(公告)号：CN118080304A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410430649.0

申请日：2024-04-10

申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

发明人： 时文华 ,  石豪 ,  林文魁 ,  张学敏 ,  曾中明 ,  李玉雄 ,  周佳 ,  林栋

IPC分类号： B06B1/06

摘要： 本发明公开了一种压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列。压电微机械超声换能器包括：衬底结构、多层薄膜谐振结构和声屏障结构，衬底结构内具有谐振腔，多层薄膜谐振结构和声屏障结构间隔设置在衬底结构上，多层薄膜谐振结构沿一三维坐标系的z轴方向设置在谐振腔的上方并完全覆盖谐振腔，声屏障结构包括多个声子晶体单元，多个声子晶体单元按照方形结构排布在多层薄膜谐振结构的周围。本发明将声子晶体单元和PMUT相结合，声子晶体单元对一定频率的声波具有消声效果，能将声信号阻断在声子晶体单元形成的声屏障结构内，通过摩擦发热转换为内能，降低了横向超声波信号的透射率，从而削弱两个PMUT单元之间的串扰。