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公开(公告)号：CN118417146A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410510562.4
申请日：2024-04-26
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本申请提供了一种超声换能器、声隔离防串扰结构及其制备方法。制备方法包括：对相邻超声换能器单元之间的衬底进行刻蚀，形成多个凹槽；在各个所述凹槽的侧壁制作形成声反射层；在各个所述凹槽中填充声阻尼材料，得到声隔离防串扰结构。采用多凹槽结构结合声反射和声阻尼材料形成声隔离防串扰结构，能够使串扰声波经过多次声反射和声阻尼而消除，起到优化声隔离效果的作用，更加减小相邻振元之间的干扰，提升阵列器件整体性能。
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公开(公告)号：CN118199555A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410419511.0
申请日：2024-04-09
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种具有曲面结构的PMUT器件及其制作方法。具有曲面结构的PMUT器件包括基片和压电薄膜，所述基片具有开口朝向所述压电薄膜的谐振腔，所述压电薄膜的选定部分沿选定方向覆盖在所述谐振腔的开口上方，其中，所述选定部分为曲面结构，所述选定方向与所述谐振腔的中轴线平行。本发明提供的一种曲面PMUT器件将压电薄膜的一部分横向形变转化为纵向变形，从而提高压电薄膜的振幅，谐振频率更高、振动位移更大，进而提升了PMUT器件的性能。
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公开(公告)号：CN118080304A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410430649.0
申请日：2024-04-10
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： B06B1/06
摘要： 本发明公开了一种压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列。压电微机械超声换能器包括：衬底结构、多层薄膜谐振结构和声屏障结构，衬底结构内具有谐振腔，多层薄膜谐振结构和声屏障结构间隔设置在衬底结构上，多层薄膜谐振结构沿一三维坐标系的z轴方向设置在谐振腔的上方并完全覆盖谐振腔，声屏障结构包括多个声子晶体单元，多个声子晶体单元按照方形结构排布在多层薄膜谐振结构的周围。本发明将声子晶体单元和PMUT相结合，声子晶体单元对一定频率的声波具有消声效果，能将声信号阻断在声子晶体单元形成的声屏障结构内，通过摩擦发热转换为内能，降低了横向超声波信号的透射率，从而削弱两个PMUT单元之间的串扰。
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公开(公告)号：CN118914351A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411073859.5
申请日：2024-08-06
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01N29/024
摘要： 本发明公开了一种基于超声换能器阵列的糖浓度检测方法和装置。所述糖浓度检测方法包括：采用超声换能器发射阵列发出测试超声波，经过待测溶液后到达超声换能接收器，测量测试超声波在待测溶液中的传播速度；其中的超声换能器发射阵列与超声换能接收器均与待测溶液直接接触；然后根据传播速度分析所述待测溶液中的糖浓度。本发明提供的新型糖浓度检测方法不涉及棱镜的使用，从而避免了相关问题的出现；还具有检测方便、读数精准、廉价、高效便捷以及非破坏性等优点。
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公开(公告)号：CN118455051A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410543963.X
申请日：2024-04-30
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： B06B1/06
摘要： 本发明公开了一种复合驱动型超能换能器。复合驱动型超能换能器包括衬底结构和薄膜谐振结构，衬底结构的第一面设有谐振腔，薄膜谐振结构与谐振腔相对应，谐振结构包括沿第一方向依次层叠设置在第二面上的底电极层、压电层和顶电极层；顶电极层包括x1电极和x2电极，x1电极和x2电极均为环形电极，x2电极环绕x1电极，并且，在第二方向上，x1电极和x2电极间隔设置，底电极层包括y1电极和y2电极，y1电极为圆形或方形电极，y2电极为环形电极，y2电极环绕y1电极，并且，在第二方向上，y1电极和y2电极间隔设置。本发明提供的一种复合驱动型超能换能器器件兼具了光、温度和湿度等信号探测功能。
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