用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法

    公开(公告)号:CN109683344B

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN201910068152.8

    申请日:2019-01-24

    IPC分类号: G02B27/62 G02B7/18 G02B27/14

    摘要: 为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求,保证较高的装调精度,本发明提供一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法。装置包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组;光学平台置于激光器上方;转台位于光学平台上方;第一位移调节架、第二位移调节架均固定在转台上,中心五棱镜组包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架,第一五棱镜调节架固定设置在转台上;装调五棱镜组包括装调五棱镜和第二五棱镜调节架,第二五棱镜调节架设置在第一位移调节架上;参考五棱镜组包括参考五棱镜和第三五棱镜调节架,第三五棱镜调节架设置在第二位移调节架上。

    一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法

    公开(公告)号:CN112652510B

    公开(公告)日:2022-05-10

    申请号:CN202011490623.3

    申请日:2020-12-16

    IPC分类号: H01J31/12

    摘要: 本发明提供一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法,解决现有多束、大视场电子光学系统的像差性能无法满足要求的问题。该成像系统包括依次设置的电子源、加速电极阵列、单透镜和物镜;电子源用于发出多束电子,多束电子的电位从中心向外依次减小;加速电极阵列位于电子源下方,包括多个加速电极,用于对电子源出射的电子进行等能量加速;单透镜、物镜处于加速电极下方,将加速后的电子聚焦并以固定缩放比成像至靶面处。本发明系统中,出射的电子经加速电极加速后,外围电子因具有较大动能,从而能有效减少其在电子光学系统中的飞行时间,从而保证处于不同位置的电子受到空间电荷效应影响一致,保证大视场电子光学系统的低像差性能。

    一种掺氟二氧化锡薄膜的超声喷雾热分解制备方法

    公开(公告)号:CN113481489A

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN202110703578.3

    申请日:2021-06-24

    IPC分类号: C23C18/12

    摘要: 本发明涉及半导体薄膜的制备方法,具体涉及一种掺氟二氧化锡薄膜的超声喷雾热分解制备方法,用于解决现有利用超声喷雾热分解法制备的掺氟二氧化锡薄膜存在薄膜光电性能较差的不足之处。该掺氟二氧化锡薄膜的超声喷雾热分解制备方法包括步骤有:预处理、溶液配制、沉积薄膜、应力去除。本发明制备的薄膜在可见光范围内平均透过率达到80%以上,具有良好的光学性能,并且方块电阻最好可达25Ω/口,具有接近金属的良好导电性能,此外,薄膜附着力良好,具有很好的化学和热稳定性。

    一种用于热分解法制备氧化锡导电薄膜的自动化设备

    公开(公告)号:CN113355659A

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN202110737432.0

    申请日:2021-06-30

    IPC分类号: C23C18/12

    摘要: 本发明涉及半导体薄膜的制备装置,具体涉及一种用于热分解法制备氧化锡导电薄膜的自动化设备,用于解决目前使用热分解法制备氧化锡导电薄膜过程繁琐、效率低,且影响成膜质量的不足之处。该用于热分解法制备氧化锡导电薄膜的自动化设备,包括加热炉、旋转电机、炉膛温度控制系统和溶液雾化器。本发明利用热分解法制备氧化锡导电薄膜,整个流程均可实现自动化,薄膜厚度由气雾出射量与气雾喷涂时间确定,并由薄膜电阻值表征,根据经验确定气雾出射量、气雾喷涂时间与薄膜厚度的对应关系,可以实现氧化锡导电薄膜的批量化生产。

    一种宽光谱大动态范围光学系统及测试标定的方法

    公开(公告)号:CN112748558A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202011618009.0

    申请日:2020-12-31

    IPC分类号: G02B17/06 G01M11/02

    摘要: 本发明提出一种宽光谱大动态范围光学系统及测试标定的方法,宽光谱光源的出射光依次经过衰减片、滤光片,从靶标透过后,先经平面反射镜反射到主球面反射镜上,再由主球面反射镜的反射到达次球面反射镜上,之后又经所述次球面反射镜的反射到达所述主球面反射镜,最终经所述主球面反射镜的反射后到达成像焦面上。本发明采用离轴三反光学系统,可一次完成成像芯片的分辨率、光照度响应和宽光谱响应情况的测试标定,通过靶标上的分辨率板,实现对成像芯片的分辨率进行测试;通过多个衰减片的组合、通过不同规格滤光片的转换,完成成像芯片光照度响应的测试;通过多个宽光谱光源的切换,实现成像芯片宽光谱响应的测试。

    一种X射线聚焦光学系统
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104536033B

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201410829999.0

    申请日:2014-12-26

    IPC分类号: G01T1/29

    摘要: 本发明涉及一种X射线聚焦光学系统,包括镜筒,安装在镜筒内的反射镜片组、支撑架,反射镜片组为多个单层反射镜片嵌套形成的多层套筒结构,各单层反射镜片关于光轴旋转对称,单层反射镜片的内表面为反射面,内表面的形状为圆锥曲面,单层反射镜片之间的径向间距渐变且共焦点,能够以掠入射的方式对平行或近似平行入射的X射线通过单次反射进行聚焦。本发明可以有效提高X射线光子收集效率,为X射线脉冲星导航和X射线通信等非成像应用情况下微弱X射线光子的探测提供了一种简便、高效的聚焦光学系统。

    空间X射线通信系统及方法

    公开(公告)号:CN103077874B

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201110327871.0

    申请日:2011-10-25

    摘要: 本发明涉及栅控X射线源、空间X射线通信系统及方法,其中栅控X射线源的结构为灯丝一端接地,灯丝另一端接电源正极,热阴极设置在灯丝的外侧且热阴极的出射孔正对灯丝,调制栅极为带有小孔的电极板,调制栅极的小孔正对热阴极的出射孔,电子聚集板设置在栅极小孔的两侧且形成的聚焦通道正对小孔,电子束经电子聚集板聚焦后发射到阳极金属靶,阳极金属靶的发射面对着聚焦通道的出口,阳极金属靶的另一面接电源正极,出射窗设置在阳极金属靶的电子束反射路上。本发明解决了现有的利用X射线实现通信的技术通信信噪比低、误码率高、通信速率低的技术问题,本发明具有通信距离远、通信误码率低的优点。

    一种时间分辨光子计数成像系统及方法

    公开(公告)号:CN102307046B

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201110152839.3

    申请日:2011-06-09

    IPC分类号: H03K21/00

    摘要: 本发明涉及一种时间分辨光子计数成像系统及方法,包括光学系统、探测器、采集卡和计算机,成像目标位于光学系统的输入端,探测器位于光学系统的输出端,探测器与采集卡相连,成像目标经过光学系统成像到探测器的输入面,采集卡包括光子到达定时信号产生电路、脉冲峰值采集电路、开始信号产生电路、恒温晶振时钟电路、可编程逻辑器件、数字信号处理器、时间数字转换器芯片和通信接口电路,本发明解决了现有的光子计数方法中缺少具有时间分辨的光子计数成像方法,本发明具有时间分辨光子计数成像、时间分辨率高、空间分辨率高等优点。

    一种任意波形X射线发生装置及产生方法

    公开(公告)号:CN102592927A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210087972.X

    申请日:2012-03-29

    IPC分类号: H01J35/02

    摘要: 本发明涉及一种任意波形X射线发生装置及产生方法,其中任意波形X射线发生装置,包括用于高稳定度任意波形产生的任意信号发生器、用于提供栅控X射线球管灯丝电流、栅极控制信号、阳极高压的工作电源的栅控X射线球管电源系统以及栅控X射线球管,栅控X射线球管是使用任意信号发生器产生的电信号对X射线球管中灯丝发射到阳极的电子束进行控制,以实现任意波形的X射线的产生;本发明解决了现有技术只能产生单一波形X射线的技术问题,本发明提供一种高稳定任意波形X射线发生装置,以实现高稳定度任意波形X射线的产生,为脉冲星导航地面模拟系统提供模拟X射线源的实验装置。