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公开(公告)号：CN102534535B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201210050759.1
申请日：2012-02-29
申请人： 中国科学院金属研究所
摘要： 本发明属于薄膜制备领域，具体地说是一种在连续纤维丝/条带表面高速均匀沉积金属/化合物薄膜的装置和方法，解决了在纤维丝/条带表面高速均匀沉积薄膜的问题。该装置由两组四面矩形或正方形非平衡态磁控靶材和两个相同的带孔遮蔽板组成的真空封闭长方体或立方体连接两个张力可控的卷绕工件转架于内的真空腔体组成。非平衡态磁控溅射靶由中频脉冲/直流电源驱动，并在封闭的长方体或立方体内产生高密度等离子体，连续纤维丝/条带直接从高密度等离子体中穿过，等离子体均匀地环绕在纤维丝/条带的周围，整个纤维丝/条带的表面同时被均匀地沉积上纳米薄膜。本发明可实现在纤维丝/条带材料上的高速均匀地镀膜，拓展了磁控溅射镀膜的应用范围。
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公开(公告)号：CN105789424A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610004221.5
申请日：2016-01-05
申请人： 中国科学院金属研究所
摘要： 本发明涉及复合材料领域，具体涉及一种玻璃纤维/Bi2Te3热电薄膜复合材料及其制备方法，该复合材料可作为柔性能源器件、微型传感器等方面的应用。该复合材料包括玻璃纤维基体以及均匀沉积在其表面上的Bi2Te3热电薄膜层，形成核?壳结构；其中，玻璃纤维的直径为5～10μm，Bi2Te3热电薄膜层的厚度为1～2μm，膜层结构致密且与玻璃纤维表面结合良好。利用非平衡磁控沉积技术制备的玻璃纤维/Bi2Te3热电薄膜复合热电材料，Bi2Te3沉积层为具有纳米尺度晶粒的致密结构，厚度均匀可调，其热电性能接近于商用块体材料。由于薄膜材料的尺度效应，这种纤维/热电复合材料同时表现出良好的抗弯折性能，可应用于柔性能源器件、微型传感器等领域。
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公开(公告)号：CN105789425B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201610004807.1
申请日：2016-01-05
申请人： 中国科学院金属研究所
摘要： 本发明涉及复合材料领域，具体涉及一种纤维素纸/Bi2Te3(碲化铋)热电薄膜复合材料及其制备方法。该复合材料包括纤维素纸基体以及均匀沉积在其表面上的Bi2Te3热电薄膜层；其中，纤维素纸厚度为50～100μm，Bi2Te3热电薄膜层的名义厚度为5～10μm。纤维素纸/热电薄膜复合材料利用非平衡磁控沉积技术制备，该复合材料具有很高的热电能量转换效率，同时表现出良好的柔韧性能，是一种极具应用前景的柔性热电换能材料。沉积热电材料结晶质量高，具有纳米尺度晶粒的致密结构，其厚度、成分均匀可调，热电性能接近于商用块体材料，可应用于柔性能源器件、微型传感器以及控温元件等领域。
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公开(公告)号：CN105789424B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201610004221.5
申请日：2016-01-05
申请人： 中国科学院金属研究所
摘要： 本发明涉及复合材料领域，具体涉及一种玻璃纤维/Bi2Te3热电薄膜复合材料及其制备方法，该复合材料可作为柔性能源器件、微型传感器等方面的应用。该复合材料包括玻璃纤维基体以及均匀沉积在其表面上的Bi2Te3热电薄膜层，形成核‑壳结构；其中，玻璃纤维的直径为5～10μm，Bi2Te3热电薄膜层的厚度为1～2μm，膜层结构致密且与玻璃纤维表面结合良好。利用非平衡磁控沉积技术制备的玻璃纤维/Bi2Te3热电薄膜复合热电材料，Bi2Te3沉积层为具有纳米尺度晶粒的致密结构，厚度均匀可调，其热电性能接近于商用块体材料。由于薄膜材料的尺度效应，这种纤维/热电复合材料同时表现出良好的抗弯折性能，可应用于柔性能源器件、微型传感器等领域。
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公开(公告)号：CN105789425A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610004807.1
申请日：2016-01-05
申请人： 中国科学院金属研究所
摘要： 本发明涉及复合材料领域，具体涉及一种纤维素纸/Bi2Te3(碲化铋)热电薄膜复合材料及其制备方法。该复合材料包括纤维素纸基体以及均匀沉积在其表面上的Bi2Te3热电薄膜层；其中，纤维素纸厚度为50～100μm，Bi2Te3热电薄膜层的名义厚度为5～10μm。纤维素纸/热电薄膜复合材料利用非平衡磁控沉积技术制备，该复合材料具有很高的热电能量转换效率，同时表现出良好的柔韧性能，是一种极具应用前景的柔性热电换能材料。沉积热电材料结晶质量高，具有纳米尺度晶粒的致密结构，其厚度、成分均匀可调，热电性能接近于商用块体材料，可应用于柔性能源器件、微型传感器以及控温元件等领域。
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公开(公告)号：CN103074586A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201310027354.0
申请日：2013-01-23
申请人： 中国科学院金属研究所
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 本发明属于薄膜制备领域，具体地说是一种低温低损伤多功能复合镀膜的装置和方法。该装置由包括两组四个矩形非平衡态磁控靶材、一个离子源和一个工件转架在内的真空腔体组成。两组非平衡态靶并排放置，每组中两个靶材呈面对面放置，可独立工作或同时工作；靶与靶之间距离可调，靶与靶的角度可调，靶材使用直流电源驱动，在每组靶材中靶与靶之间产生等离子体。工件转架位于两组靶材之间的中间位置，离子源位于一组靶材侧面，起离子清洗和辅助沉积的作用。本发明可以屏蔽二次电子和氧负离子等造成聚合物等有机材料损伤和温升，并通过低温线性离子源辅助沉积，实现在聚合物等有机材料表面上低温低损伤高速均匀沉积薄膜。
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公开(公告)号：CN105784928B
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201610005065.4
申请日：2016-01-05
申请人： 中国科学院金属研究所
IPC分类号： G01N33/00
摘要： 本发明涉及柔性材料的性能测试领域，具体涉及一种测量柔性材料性能随弯曲半径变化规律的装置和方法，可针对各类柔性材料进行测量。该装置包括多个不同半径的管状或柱状材料，可以为柔性材料提供一组按梯度变化的弯折曲率半径。利用上述测量装置测量柔性材料在不同弯折变形下，性能随曲率半径增减的变化规律。通过本发明可以针对多种柔性材料、针对同一样品，在对样品无损的条件下，可以较快捷地无损测量同一样品在不同弯折变形程度下各种性能的变化规律，不受材料形状和种类的限制，测量重复性好，精度高。
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公开(公告)号：CN102534535A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210050759.1
申请日：2012-02-29
申请人： 中国科学院金属研究所
摘要： 本发明属于薄膜制备领域，具体地说是一种在连续纤维丝/条带表面高速均匀沉积金属/化合物薄膜的装置和方法，解决了在纤维丝/条带表面高速均匀沉积薄膜的问题。该装置由两组四面矩形或正方形非平衡态磁控靶材和两个相同的带孔遮蔽板组成的真空封闭长方体或立方体连接两个张力可控的卷绕工件转架于内的真空腔体组成。非平衡态磁控溅射靶由中频脉冲/直流电源驱动，并在封闭的长方体或立方体内产生高密度等离子体，连续纤维丝/条带直接从高密度等离子体中穿过，等离子体均匀地环绕在纤维丝/条带的周围，整个纤维丝/条带的表面同时被均匀地沉积上纳米薄膜。本发明可实现在纤维丝/条带材料上的高速均匀地镀膜，拓展了磁控溅射镀膜的应用范围。
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公开(公告)号：CN105784928A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610005065.4
申请日：2016-01-05
申请人： 中国科学院金属研究所
IPC分类号： G01N33/00
CPC分类号： G01N33/00
摘要： 本发明涉及柔性材料的性能测试领域，具体涉及一种测量柔性材料性能随弯曲半径变化规律的装置和方法，可针对各类柔性材料进行测量。该装置包括多个不同半径的管状或柱状材料，可以为柔性材料提供一组按梯度变化的弯折曲率半径。利用上述测量装置测量柔性材料在不同弯折变形下，性能随曲率半径增减的变化规律。通过本发明可以针对多种柔性材料、针对同一样品，在对样品无损的条件下，可以较快捷地无损测量同一样品在不同弯折变形程度下各种性能的变化规律，不受材料形状和种类的限制，测量重复性好，精度高。
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公开(公告)号：CN103074586B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201310027354.0
申请日：2013-01-23
申请人： 中国科学院金属研究所
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 本发明属于薄膜制备领域，具体地说是一种低温低损伤多功能复合镀膜的装置和方法。该装置由包括两组四个矩形非平衡态磁控靶材、一个离子源和一个工件转架在内的真空腔体组成。两组非平衡态靶并排放置，每组中两个靶材呈面对面放置，可独立工作或同时工作；靶与靶之间距离可调，靶与靶的角度可调，靶材使用直流电源驱动，在每组靶材中靶与靶之间产生等离子体。工件转架位于两组靶材之间的中间位置，离子源位于一组靶材侧面，起离子清洗和辅助沉积的作用。本发明可以屏蔽二次电子和氧负离子等造成聚合物等有机材料损伤和温升，并通过低温线性离子源辅助沉积，实现在聚合物等有机材料表面上低温低损伤高速均匀沉积薄膜。
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