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发明公开
标校光栅干涉仪测量光栅余弦误差的装置及方法审中-实审

公开(公告)号：CN118816706A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202411300902.7

申请日：2024-09-18

申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发明人： 梁旭 , 潜辛格 , 李文昊 , 刘兆武 , 滕海瑞

IPC分类号： G01B9/02055 , G01B11/02

摘要： 本发明涉及位移测量技术领域，尤其涉及一种标校光栅干涉仪测量光栅余弦误差的装置及方法，装置中标尺光栅的放置方向与位移台的移动方向存在余弦误差角；分光系统发出两束激光，标尺光栅对其中一束激光进行衍射产生零级衍射光，并将零级衍射光入射进分光系统中；反射部件将另一束激光反射进分光系统中；分光系统对零级衍射光和第二激光进行干涉得到干涉信号，核心处理系统根据干涉信号得到余弦误差角；测量方法则是通过解算标尺光栅的相移，进而获得标尺光栅产生干涉的位移和沿零级衍射光方向的位移，配合两个位移之间的三角函数关系，可计算余弦误差角并补偿其引入的测量误差。