一种切槽单色晶体高精度内侧面加工方法

    公开(公告)号:CN116330049A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202211598681.7

    申请日:2022-12-12

    摘要: 本发明公开了一种切槽单色晶体高精度内侧面加工方法,其步骤包括:1)将切槽单色晶体放入料槽中,采用磁控研磨设备的磨头对所述切槽单色晶体的内侧面进行粗研磨;磁控研磨设备包括磁控驱动单元和所述磨头;2)采用磨头对步骤1)处理后的内侧面精研磨;3)对步骤2)处理后的内侧面进行湿法化学蚀,去除破坏层;4)采用磨头对步骤3)处理后的内侧面进行精抛;5)将步骤4)处理后的内侧面清洗后,在内侧面上生成软质水合层;6)将步骤5)处理后的切槽单色晶体清洗后,采用磨头对所述内侧面进行去应力抛光。本方法可以更好的将抛光时界面处产生的热量传递走,获得更优的表面组织,受切槽型晶体一、二晶重叠部分的限制很小。

    一种快扫X射线吸收精细结构谱学单色器

    公开(公告)号:CN112748136A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202011439058.8

    申请日:2020-12-07

    IPC分类号: G01N23/085

    摘要: 本发明公开了一种快扫X射线吸收精细结构谱学单色器,其特征在于,包括真空腔体,真空腔体的一侧面与一大型法兰式磁流体密封装置的固定部件密封连接,该磁流体密封装置的转动部件上设有第一、第二传动轴;传动轴位于真空腔一端端面上安装一中空的多边分光晶体,传动轴为中空结构作为回水管且内设进水管,多边分光晶体的开口端与传动轴一端密封连接,进水管将水喷洒到晶体的中空结构内壁并将回流水通过回水管排出;真空腔体的侧壁上开有进光口和出光口,用于同步辐射白光进入和单色光出射;第一、二传动轴转动时,第一多边分光晶体的一分光晶体与第二多边分光晶体的一分光晶体构成一组动态平行的衍射面。本发明提高了XAFS的时间分辨能力。

    一种高通量的单色晶体及其制备方法

    公开(公告)号:CN108707968A

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201810315924.9

    申请日:2018-04-10

    IPC分类号: C30B31/22

    CPC分类号: C30B31/22

    摘要: 本发明公开了一种高通量的单色晶体及其制备方法。本发明的单色晶体的材料为不完美单晶硅,其制备方法为:将选取的太阳能级单晶硅加工为channel‑cut型的晶体;或者选取两完美单晶硅,并对其表面进行离子注入,分别在每一完美单晶硅的表面形成一具有μm量级离子注入层,将两块晶体以平行的方式放置,其中所述离子注入层为单色晶体工作面。本发明首次将不完美单晶硅应用于同步辐射领域;本发明利用不完美单晶硅制备出高通量的单色晶体,为单色器的材料选择提供一种新的思路。

    一种快扫X射线吸收精细结构谱学单色器

    公开(公告)号:CN112748136B

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202011439058.8

    申请日:2020-12-07

    IPC分类号: G01N23/085

    摘要: 本发明公开了一种快扫X射线吸收精细结构谱学单色器,其特征在于,包括真空腔体,真空腔体的一侧面与一大型法兰式磁流体密封装置的固定部件密封连接,该磁流体密封装置的转动部件上设有第一、第二传动轴;传动轴位于真空腔一端端面上安装一中空的多边分光晶体,传动轴为中空结构作为回水管且内设进水管,多边分光晶体的开口端与传动轴一端密封连接,进水管将水喷洒到晶体的中空结构内壁并将回流水通过回水管排出;真空腔体的侧壁上开有进光口和出光口,用于同步辐射白光进入和单色光出射;第一、二传动轴转动时,第一多边分光晶体的一分光晶体与第二多边分光晶体的一分光晶体构成一组动态平行的衍射面。本发明提高了XAFS的时间分辨能力。

    一种直驱多通道单色器
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107607200B

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201710665612.6

    申请日:2017-08-07

    IPC分类号: G01J3/18

    摘要: 本发明公开了一种直驱多通道单色器,包括一直驱电机、一磁流体密封装置和一晶体单色器;其中,所述直驱电机的马达旋转轴与该磁流体密封装置的大气端旋转轴连接,该磁流体密封装置的真空端旋转轴与所述晶体单色器连接,驱动所述晶体单色器绕旋转轴转动;其中所述晶体单色器的旋转轴与磁流体密封装置的旋转轴一致。本发明提高了机器的可靠性,减少了维护时间和开销,简化机械设计,简单安装和拆卸。本发明具有起动、堵转力矩大的特点,能够改善系统动平衡,避免振动和噪声。

    一种基于双刃边扫描的高精度波前检测方法及装置

    公开(公告)号:CN116593129A

    公开(公告)日:2023-08-15

    申请号:CN202310493238.1

    申请日:2023-05-05

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明公开了一种基于双刃边扫描的高精度波前检测方法及装置。本方法的关键点之一在于引入了双刃边的扫描结构,该结构包括一个固定刃边和一个扫描刃边,通过记录两刃边之间距离随扫描步数的变化,解决了光源指向性不稳定的问题,通过定位刃边提高了检测的空间分辨率,同时也提高了光束横向位移量的定位精度;本方法的关键点之二在于引入了激光干涉仪来检测扫描过程中两刃边之间距离的变化,利用激光干涉仪测量的数据可以对有无待测样品情况下的扫描位置进行修正,从而可以准确的去除入射参考波前缺陷的影响,同时也解决了待测样品引起光束翻转时的波前准确测量问题,测量精度可以达到nrad量级。综合以上两点,本发明极大的提高波前检测精度。

    一种同步辐射的衍射增强成像方法

    公开(公告)号:CN108645879A

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201810425620.8

    申请日:2018-05-07

    IPC分类号: G01N23/20

    摘要: 本发明公开了一种同步辐射的衍射增强成像方法。本方法为:选取两块斜切晶体,一块作为单色器、一块作为分析器;将X射线掠入射到单色器表面上产生的衍射光束入射到待测样品;然后将该单色器绕晶格面法线方向旋转,根据测量光斑尺寸推测斜切因子b值,当其与理论值相当时固定该单色器的旋转角度φ;将X射线透过样品后的光线入射到分析器表面上;然后将分析器绕其晶格面法线旋转角度φ;以衍射面的法线为轴旋转分析器,利用光强探测器检测出射光强度随着角度的变化曲线,记录下该分析器在该变化曲线的峰位、半峰位和峰底对应的角度位置;将该分析器分别调整到步骤4)记录的角度位置上,利用成像探测器分别接收该分析器出射的信号。

    一种基于双刃边扫描的高精度波前检测方法及装置

    公开(公告)号:CN116593129B

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202310493238.1

    申请日:2023-05-05

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明公开了一种基于双刃边扫描的高精度波前检测方法及装置。本方法的关键点之一在于引入了双刃边的扫描结构,该结构包括一个固定刃边和一个扫描刃边,通过记录两刃边之间距离随扫描步数的变化,解决了光源指向性不稳定的问题,通过定位刃边提高了检测的空间分辨率,同时也提高了光束横向位移量的定位精度;本方法的关键点之二在于引入了激光干涉仪来检测扫描过程中两刃边之间距离的变化,利用激光干涉仪测量的数据可以对有无待测样品情况下的扫描位置进行修正,从而可以准确的去除入射参考波前缺陷的影响,同时也解决了待测样品引起光束翻转时的波前准确测量问题,测量精度可以达到nrad量级。综合以上两点,本发明极大的提高波前检测精度。

    一种同步辐射的衍射增强成像方法

    公开(公告)号:CN108645879B

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201810425620.8

    申请日:2018-05-07

    IPC分类号: G01N23/20016 G01N23/2055

    摘要: 本发明公开了一种同步辐射的衍射增强成像方法。本方法为:选取两块斜切晶体,一块作为单色器、一块作为分析器;将X射线掠入射到单色器表面上产生的衍射光束入射到待测样品;然后将该单色器绕晶格面法线方向旋转,根据测量光斑尺寸推测斜切因子b值,当其与理论值相当时固定该单色器的旋转角度φ;将X射线透过样品后的光线入射到分析器表面上;然后将分析器绕其晶格面法线旋转角度φ;以衍射面的法线为轴旋转分析器,利用光强探测器检测出射光强度随着角度的变化曲线,记录下该分析器在该变化曲线的峰位、半峰位和峰底对应的角度位置;将该分析器分别调整到步骤4)记录的角度位置上,利用成像探测器分别接收该分析器出射的信号。

    一种多通道晶体单色器及其制备方法、工作方法

    公开(公告)号:CN107655910B

    公开(公告)日:2019-07-09

    申请号:CN201710665733.0

    申请日:2017-08-07

    摘要: 本发明公开了一种多通道晶体单色器及其制备方法、工作方法。本发明的多通道晶体单色器,其特征在于,包括一具有本证对称性的晶体,选取该晶体一N次对称的晶向为轴,该晶体中以该轴对称的侧棱面分别切割出一工作面,形成以该轴为对称轴的一对工作面,且当X射线满足设定角度入射每一对工作面均能产生衍射;其中,N为偶数。其工作方法为:当X射线入射所述多通道晶体单色器时,控制所述多通道单色器绕所述轴旋转,当每对工作面与X射线的光路满足固定的角度差时产生光束出射。本发明既补偿了追求高速扫描带来的光源利用效率的损失,提高了采谱的效率,也同时降低了落在晶体上热负荷功率。