-
公开(公告)号：CN116878420A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310514944.X
申请日：2023-05-09
申请人： 中国科学院高能物理研究所
摘要： 本发明公开了一种光栅周期失配设计的光栅干涉波前检测方法及装置。本发明通过特殊设计系统参数可以有效提高波前检测精度。本方法为：1)根据分束光栅周期P1和分析光栅周期P2确定泰伯条纹周期P′T，并根据X射线波长λ、泰伯级次m、P1和P′T计算得到微焦点X射线源到分束光栅的长度S、微焦点X射线源与分束光栅之间距离R以及分束光栅与分析光栅之间的距离d；其中P1>P′T＞P2；2)根据S、R、d搭建光栅干涉仪波前检测装置，分别测量有无待测样品时成像探测器上的莫尔条纹图像作为参考图、样品图；3)根据参考图、样品图计算光线横向位移量δr，然后结合S、R、d计算出等效波前斜率α，对α积分得到样品的面形分布。
-
公开(公告)号：CN116878420B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202310514944.X
申请日：2023-05-09
申请人： 中国科学院高能物理研究所
摘要： 本发明公开了一种光栅周期失配设计的光栅干涉波前检测方法及装置。本发明可实现更加灵活的系统设计并有效提高波前检测精度。本方法为：1)根据分束光栅周期P1和分析光栅周期P2确定泰伯条纹周期P′T，并根据X射线波长λ、泰伯级次m、P1和P′T计算得到微焦点X射线源到分束光栅的长度S、微焦点X射线源与分束光栅之间距离R以及分束光栅与分析光栅之间的距离d；其中P1＞P′T＞P2；2)根据S、R、d搭建光栅干涉仪波前检测装置，分别测量有无待测样品时成像探测器上的莫尔条纹图像作为参考图、样品图；3)根据参考图、样品图计算光线横向位移量δr，然后结合S、R、d计算出等效波前斜率α，对α积分得到样品的面形分布。
-
公开(公告)号：CN116858496B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202310493237.7
申请日：2023-05-05
申请人： 中国科学院高能物理研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种基于多刃边扫描的高效高精度波前检测方法及装置。本方法关键点之一在于引入了多刃边的扫描结构，该结构包括一个固定刃边和多个扫描刃边，通过记录两刃边之间距离随扫描步数的变化，解决了光源指向性不稳定的问题，通过定位刃边提高了检测的空间分辨率，也提高了光束横向位移量的定位精度，另外还提高了检测效率，并且可以实现二维波前检测；本方法关键点之二在于引入了激光干涉仪来检测扫描过程中两刃边之间距离的变化，利用激光干涉仪测量的数据可以对有无待测样品情况下的扫描位置进行修正，从而可以准确的去除入射参考波前缺陷的影响，同时也解决了待测样品引起光束翻转时的波前准确测量问题，测量精度可以达到nrad量级。
-
公开(公告)号：CN116858496A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310493237.7
申请日：2023-05-05
申请人： 中国科学院高能物理研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种基于多刃边扫描的高效高精度波前检测方法及装置。本方法关键点之一在于引入了多刃边的扫描结构，该结构包括一个固定刃边和多个扫描刃边，通过记录两刃边之间距离随扫描步数的变化，解决了光源指向性不稳定的问题，通过定位刃边提高了检测的空间分辨率，也提高了光束横向位移量的定位精度，另外还提高了检测效率，并且可以实现二维波前检测；本方法关键点之二在于引入了激光干涉仪来检测扫描过程中两刃边之间距离的变化，利用激光干涉仪测量的数据可以对有无待测样品情况下的扫描位置进行修正，从而可以准确的去除入射参考波前缺陷的影响，同时也解决了待测样品引起光束翻转时的波前准确测量问题，测量精度可以达到nrad量级。
-
公开(公告)号：CN116593129A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310493238.1
申请日：2023-05-05
申请人： 中国科学院高能物理研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种基于双刃边扫描的高精度波前检测方法及装置。本方法的关键点之一在于引入了双刃边的扫描结构，该结构包括一个固定刃边和一个扫描刃边，通过记录两刃边之间距离随扫描步数的变化，解决了光源指向性不稳定的问题，通过定位刃边提高了检测的空间分辨率，同时也提高了光束横向位移量的定位精度；本方法的关键点之二在于引入了激光干涉仪来检测扫描过程中两刃边之间距离的变化，利用激光干涉仪测量的数据可以对有无待测样品情况下的扫描位置进行修正，从而可以准确的去除入射参考波前缺陷的影响，同时也解决了待测样品引起光束翻转时的波前准确测量问题，测量精度可以达到nrad量级。综合以上两点，本发明极大的提高波前检测精度。
-
公开(公告)号：CN116593129B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202310493238.1
申请日：2023-05-05
申请人： 中国科学院高能物理研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种基于双刃边扫描的高精度波前检测方法及装置。本方法的关键点之一在于引入了双刃边的扫描结构，该结构包括一个固定刃边和一个扫描刃边，通过记录两刃边之间距离随扫描步数的变化，解决了光源指向性不稳定的问题，通过定位刃边提高了检测的空间分辨率，同时也提高了光束横向位移量的定位精度；本方法的关键点之二在于引入了激光干涉仪来检测扫描过程中两刃边之间距离的变化，利用激光干涉仪测量的数据可以对有无待测样品情况下的扫描位置进行修正，从而可以准确的去除入射参考波前缺陷的影响，同时也解决了待测样品引起光束翻转时的波前准确测量问题，测量精度可以达到nrad量级。综合以上两点，本发明极大的提高波前检测精度。
-
-
-
-
-
搜索结果
6 条记录 (耗时 0.049 秒)