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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117889986A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311782616.4
申请日：2023-12-22
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 北京长城航空测控技术研究所有限公司 , 北京瑞赛长城航空测控技术有限公司
IPC: G01K13/024 , G01K1/14 , G01K7/02
Abstract: 本发明提供一种航空发动机在变温流场环境下的多节点测温装置，包括基座、第一电极、第二电极、薄膜和涂层，基座上设有多个用于安装第一电极与第二电极的电极安装孔，第二电极位于基座中心的电极安装孔内，多个第一电极沿圆周排列在第二电极的四周，薄膜设置在基座的第一端面，涂层涂覆于薄膜上；本发明的测温方法基于薄膜热电偶的阵列原理，第一电极与第二电极形成多节点阵列式结构，能形成多个测温节点实现快速测温，不仅解决传统平面薄膜热电偶的测温缺陷，而且优化测温结构，提高传感器空间测温分辨率的同时还增加稳态测温数据，而且，通过循环神经网络RNN或卷积神经网络CNN对温差电势进行标定和误差补偿，有效提高测温精度。
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公开(公告)号：CN116230333A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211703233.9
申请日：2022-12-28
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 北京长城航空测控技术研究所有限公司 , 北京瑞赛长城航空测控技术有限公司
Abstract: 本发明涉及一种异形金属基底原位传感器芯片的绝缘层及其制备方法。所述绝缘层是在异形金属基底(1)的需要探测的区域上原位制备的，所述绝缘层包括位于所述异形金属基底(1)上的保形氧化铝薄膜层(2)，和位于保形氧化铝薄膜层(2)上的致密氧化铝薄膜层(3)，其中保形氧化铝薄膜层(2)覆盖的区域大于致密氧化铝薄膜层(3)覆盖的区域。保形氧化铝薄膜层具有保形成膜的效果，可避免由于异形金属基底的表面起伏导致的绝缘层不连续的情况，提供可靠的绝缘性；致密氧化铝薄膜层，能够填充保形氧化铝薄膜层的缺陷，提高传感器芯片检测区域的绝缘可靠性。
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公开(公告)号：CN117405252A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311217796.1
申请日：2023-09-20
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 北京长城航空测控技术研究所有限公司 , 北京瑞赛长城航空测控技术有限公司
Abstract: 本发明提供一种热电堆型热流密度及温度薄膜传感器，涉及传感器技术领域，其包括：基底、热阻层、热电堆、第一负极引线端、第二负极引线端和正极引线端；基底上设置有凸起；热电堆包括阶梯串联的若干个热电偶对；热电偶对包括阶梯串联的正极热电偶和负极热电偶；热阻层、热电堆、第一负极引线端、第二负极引线端和正极引线端均位于凸起上；热电堆的冷结点位于凸起内，热阻层覆盖在冷结点上；热电堆的热结点位于热电堆的两端；第一负极引线端和第二负极引线端与热电堆的两端连接，正极引线端与热电堆的第二端连接。本发明能够实现对温度和热流密度的同步测量，具有结构简单、响应速度快、测量温度范围大、测量精度高和灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN117904629A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311807709.8
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 北京长城航空测控技术研究所有限公司
IPC: C23C28/00 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/58 , C23C16/40 , C23C14/08 , C23C14/02 , C22C30/00 , G01K7/02
Abstract: 本发明提供一种航空发动机叶片高温薄膜传感器的制备方法，其包括：S1、抛光表面粗糙度为纳米级的合金基底；S2、采用磁控溅射法在叶片合金基底上沉积NiCoCrAlY过渡层；S3、在NiCoCrAlY过渡层上采用原位生长方式形成热生长Al2O3扩散层；S4、在热生长Al2O3扩散层上沉积HfO2绝缘层，并通过掩膜溅射法或剥离法实现图形化；本发明薄膜传感器包括叶片合金基底、NiCoCrAlY过渡层、Al2O3扩散层和HfO2绝缘层，本发明通过多层薄膜交替沉积进行由导电合金基底到薄膜传感器的过渡，通过后一层沉积的薄膜封闭前一层薄膜中的孔洞和裂纹，减少绝缘结构中的导电通路数量，通过原位形成的Al2O3扩散层，能够有效地缓解多层薄膜结构中的热应力失配问题，实现对高温下导电基底上传感器的良好绝缘和结合力。
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公开(公告)号：CN116380292A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202211589164.3
申请日：2022-12-09
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 北京长城航空测控技术研究所有限公司
Abstract: 本发明公开一种超高温热流测量薄膜传感器及其制备方法，薄膜传感器依次包括表面设置有凹槽的基底(1)、缓冲层(2)、热生长氧化层(3)、绝缘层(4)、沉积在绝缘层(4)上的热电堆(5)和覆盖热电堆(5)沉积在绝缘层(4)上的热阻层(6)，其中所述热电堆(5)由多对热电偶的第一热电极(7)和第二热电极(8)首尾串联而成，所述热电偶热节点位于基底(1)凹槽槽顶的绝缘层(4)表面，冷节点位于基底(1)凹槽槽底的绝缘层(4)表面。本发明让热电偶在空间上敷设，热阻层沉积后抛光使得传感器结构更优化，采用的工艺提升了传感器灵敏度和传感器表面的平整度。
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