公开(公告)号：CN101070189B

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200710062166.6

申请日：2007-06-16

申请人： 中国船舶重工集团公司第七一八研究所

发明人： 李本东 ,  杨献奎 ,  王占卫 ,  李绍波 ,  袁晓燕 ,  隋希平 ,  董露荣

IPC分类号： C01G41/04

摘要： 本发明涉及一种六氟化钨气体的制备方法，将氟气(F2)与高纯氮(N2)按1∶0.5～20比例混合通入裂解器中，预热温度为10℃～100℃，压力为0～0.6MPa，时间为1min～20min，后进入反应器，反应器内有5～15Kg原料钨(W)，反应器中氟气与原料钨的反应温度为20℃～400℃，反应时间为1min～20min，所制备的六氟化钨(WF6)气体由低温收集器液化收集，通过抽真空去除其中的氟气、氮气和三氟化氮低沸点杂质，低温收集器中收集10kg～50kg的WF6气体后，停止收集并升温将WF6气体压入钢瓶保存，所述的裂解器、反应器和低温收集器之间通过管道相连。六氟化钨气体的纯度可达到99.5％以上。

公开(公告)号：CN101070189A

公开(公告)日：2007-11-14

申请号：CN200710062166.6

申请日：2007-06-16

申请人： 中国船舶重工集团公司第七一八研究所

发明人： 李本东 ,  杨献奎 ,  王占卫 ,  李绍波 ,  袁晓燕 ,  隋希平 ,  董露荣

IPC分类号： C01G41/04

摘要： 本发明涉及一种六氟化钨气体的制备方法，将氟气(F2)与高纯氮(N2)按1∶0.5～20比例混合通入裂解器中，预热温度为10℃～100℃，压力为0～0.6MPa，时间为1min～20min，后进入反应器，反应器内有5～15Kg原料钨(W)，反应器中氟气与原料钨的反应温度为20℃～400℃，反应时间为1min～20min，所制备的六氟化钨(WF6)气体由低温收集器液化收集，通过抽真空去除其中的氟气、氮气和三氟化氮低沸点杂质，低温收集器中收集10kg～50kg的WF6气体后，停止收集并升温将WF6气体压入钢瓶保存，所述的裂解器、反应器和低温收集器之间通过管道相连。六氟化钨气体的纯度可达到99.5％以上。