一种激光光束分析仪探测面定位方法及系统

    公开(公告)号:CN103487237B

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201310414146.6

    申请日:2013-09-10

    IPC分类号: G01M11/02 G01J1/00

    摘要: 本发明提供了一种激光光束分析仪探测面定位方法及系统,该方法包括:激光器发出的激光光束垂直入射到激光光束分析仪探测面上,测量并记录所述激光光束在所述激光光束分析仪探测面上的光斑的质心位置;在所述激光器发出的激光光束的光路中放置一个楔镜,调节楔镜使该光束垂直入射到楔镜的垂直面,并使激光光束透过所述楔镜折射后入射到所述激光光束分析仪探测面上;测量并记录通过所述楔镜折射后的激光光束在所述激光光束分析仪探测面上的光斑的质心位置;计算出激光光束分析仪探测面到楔镜上的激光光束出射点的距离。通过本发明提供的方法及系统,通过计算出探测面到楔镜上的激光光束出射点的距离,能够对激光光束分析仪探测面进行精确定位。

    一种激光光束分析仪探测面定位方法及系统

    公开(公告)号:CN103487237A

    公开(公告)日:2014-01-01

    申请号:CN201310414146.6

    申请日:2013-09-10

    IPC分类号: G01M11/02 G01J1/00

    摘要: 本发明提供了一种激光光束分析仪探测面定位方法及系统,该方法包括:激光器发出的激光光束垂直入射到激光光束分析仪探测面上,测量并记录所述激光光束在所述激光光束分析仪探测面上的光斑的质心位置;在所述激光器发出的激光光束的光路中放置一个楔镜,调节楔镜使该光束垂直入射到楔镜的垂直面,并使激光光束透过所述楔镜折射后入射到所述激光光束分析仪探测面上;测量并记录通过所述楔镜折射后的激光光束在所述激光光束分析仪探测面上的光斑的质心位置;计算出激光光束分析仪探测面到楔镜上的激光光束出射点的距离。通过本发明提供的方法及系统,通过计算出探测面到楔镜上的激光光束出射点的距离,能够对激光光束分析仪探测面进行精确定位。

    哈特曼波前传感器的校准系统及校准方法

    公开(公告)号:CN103267489A

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201310188665.5

    申请日:2013-05-20

    IPC分类号: G01B11/14 G01M11/00 G01J9/00

    摘要: 本发明公开一种哈特曼波前传感器的校准系统及校准方法。所述校准系统包括激光器、点光源产生及位移控制装置、光学准直装置与数据采集分析装置;点光源产生及位移控制装置,接收激光器产生的激光光束转换成点光源并控制点光源的位移;光学准直装置,接收点光源输出的球面波并转化成平面波输出;将哈特曼波前传感器置于光学准直装置之后,并连接至数据采集分析装置,哈特曼波前传感器接收平面波的波前,并转化为若干衍射光斑光强的分布图像信息;数据采集分析装置,用以采集图像信息,并根据点光源位移前后哈特曼波前传感器所测各衍射光斑光强的分布图像信息及点光源位移量计算出哈特曼波前传感器的小孔阵列面与CCD接收面之间的距离。