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公开(公告)号：CN118937357A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411095282.8
申请日：2024-08-09
申请人： 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
摘要： 本发明公开一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法，涉及精密仪器检测领域。所述检测装置包括：激光器、传输分光组件、第一光接收器、第二光接收器和分析仪；所述第一光接收器和所述第二光接收器均与所述分析仪连接。本发明实施例利用对光栅反射的相互干涉的衍射光进行合束，得到干涉光，然后对干涉光进行分束，得到偏振方向相同且相位不同的分束光，通过对偏振方向相同且相位不同的分束光进行相位解算的方式实现光栅表面缺陷的定性和定量的检测，并且本发明实施例对干涉光进行测量，克服了由于光栅表面对环境光反射造成的图像检测精度低的缺陷，提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN114088188A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111401909.4
申请日：2021-11-19
申请人： 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
IPC分类号： G01H9/00
摘要： 本发明公开了一种振动测量系统，包括：激光器、准直透镜、多象限光电探测器及信号调理电路。其中，激光器用于发射激光光束；准直透镜设置在激光器的输出光路上，用于将激光光束转换成准直光束；多象限光电探测器设置在激光器的输出光路上，且固定在被测物上，用于根据接收的准直光束产生各象限对应的光电流信号；信号调理电路与多象限光电探测器连接，用于根据各象限对应的光电流信号确定被测物的振动信号。本发明结合电测法和光测法的优势，采用多象限光电探测器探测各象限对应的光电流信号，利用信号调理电路对光电流信号进行处理，从而确定被测物的振动信号，测量准确度高、灵敏度高，频率响应范围大。
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公开(公告)号：CN118299297A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410434611.0
申请日：2024-04-11
申请人： 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
摘要： 本发明公开了一种晶圆污染物标准片的制备装置及制备方法，涉及标准物质制备技术领域。该制备装置包括液滴沉积系统、液滴观测系统和晶圆位移控制系统；所述的液滴沉积系统包括液滴喷墨头、供液部、喷头控制器；所述的液滴观测系统包括显微镜、LED频闪灯、CCD相机、图像分析装置；所述的晶圆位移控制系统包括位移台、载物台和位移控制器。该制备装置通过液滴喷墨头发生一系列包含单个粒子的单分散液滴，并对其进行分离定位，从而有效避免同一位置沉积复数颗粒，进而有效避免颗粒团聚导致的粒径变化，确保晶圆表面附着颗粒粒径的一致性；通过控制沉积液滴的数量能精准地控制晶圆表面沉积的颗粒数量，还能有效控制颗粒在晶圆表面的沉积位置。
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公开(公告)号：CN118329557A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410434607.4
申请日：2024-04-11
申请人： 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
摘要： 本发明公开了一种精准控制的纳米颗粒分离沉积方法，涉及颗粒分离技术领域。分离沉积方法包括以下步骤：选取已知颗粒数量浓度的纳米颗粒溶液，对纳米颗粒溶液进行预沉积，生成单分散液滴；分析多个生成的单分散液滴体积，计算体积平均值#imgabs0#计算单分散液滴内包含纳米颗粒数量的期望值；稀释纳米颗粒溶液，调整颗粒浓度直至单分散液滴内包含颗粒数量的期望值#imgabs1#为0.9‑1；将上述调整好颗粒浓度的纳米颗粒溶液生成单分散液滴分别沉积在基底的不同位置；待基底上单分散液滴中溶剂完全蒸发后，实现纳米颗粒的分离沉积。该方法可以用于对纳米颗粒材料进行显微镜观察之前的样品处理，有效避免材料团聚，确保直接观察到材料本身形貌。
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公开(公告)号：CN117430079B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202311464577.3
申请日：2023-11-07
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 本发明公开了一种基于自组装材料图案化微纳关键尺寸及其制备方法，硫醇SAM制备条件简单、结构稳定有序，在表面改性、电化学、生物传感器、分子电子学等诸多领域均有应用，且研究较为深入，本发明也因其稳定有序的结构特点，将其作为自组装单层物质的制备材料，硫醇分子由巯基、碳链、官能团组成，以正烷硫醇为例，官能团为甲基，使其具有疏水性；巯基对衬底产生吸附作用，在自组装过程中最为重要；碳链的长度决定了最终形成的SAM层的厚度，碳原子成“之”字形排列，形成全反式构象，使其具有热力学稳定性，且链之间的相互吸引力有助于稳定自组装膜结构，所制备的自组装材料具有均匀性和稳定性好的特点。
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公开(公告)号：CN110455690B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN201910773638.1
申请日：2019-08-21
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： G01N15/0205
摘要： 本申请提供一种纳米颗粒粒径测量系统。在匹配液中放置有第一光阻断结构和第二光阻断结构。第一光阻断结构设置于入射光束正向延长线上，用以吸收和反射光束，使其无法到达匹配池壁面与空气交界处发生反射。第二光阻断结构设置于多个散射光通孔接收的散射光束的反向延长线上，用于吸收和反射测量接收角互补角上的散射光束，使其无法到达匹配池壁面与空气交界处发生反射。通过匹配液、第一光阻断结构以及第二光阻断结构可以极大程度上减少传统纳米颗粒粒径测量系统中样品池壁面反射光的影响，并避免多个散射光通孔接收自身角度的散射光信号中混入反射光信息，从而大幅提高了测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN110967528B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201811166846.7
申请日：2018-09-30
申请人： 中国计量科学研究院
摘要： 本申请涉及一种扫描探针。所述扫描探针包括第一延伸体、第二延伸体和第三延伸体。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接。所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接，且所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小可以通过结构的几何级联获得纳米级联场增强。
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公开(公告)号：CN110967330B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN201811162987.1
申请日：2018-09-30
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： G01N21/65
摘要： 本申请提供一种微区共焦拉曼光谱探测系统，通过第一分光单元以及第二分光单元实现了透射式的光路结构，使得拉曼散射光经过透射，传输至第一光谱探测单元与第二光谱探测单元进行拉曼光谱探测。经第一分光单元与第二分光单元可以分离出的第一路散射光与第二路散射光沿原路返回，沿光路传输至第一棱镜。并且，通过扫描探针可以增强拉曼散射，用以激发出样品的散射光，使得样品表面或近表面的电磁场的增强导致吸附分子的拉曼散射信号比普通拉曼散射信号大大增强，实现了在微区拉曼光谱中精确共焦、高空间分辨率以及高拉曼光谱分辨率的探测。
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公开(公告)号：CN113432961A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202110647765.4
申请日：2021-06-10
申请人： 中国计量科学研究院
摘要： 本发明涉及一种微纳涂层多功能力学试验机及其使用方法，其中微纳涂层多功能力学试验机包括工作台和工件固定装置，工作台上固设有支撑座和液体储存箱，支撑座上设有移动块和驱动移动块沿横向往复移动的横向驱动装置，工件固定装置上方设有摩擦组件以及给摩擦组件提供恒加载力的竖向驱动装置，竖向驱动装置与移动块相对固定设置。本发明通过加载力闭环控制，实现摩擦测试过程中的恒加载力加载实现了精确力度输出；通过摩擦组件与安装杆的插设连接，可以根据测试需求更换不同类型的摩擦组件，提高了试验机的通用性；通过加热装置对工件进行加热，满足了工件在不同温度下的摩擦测试要求；通过设置供液泵和液体储存箱，方便精确控制滴液速度。
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