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公开(公告)号：CN117191805B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311396710.6
申请日：2023-10-26
Applicant: 中导光电设备股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种AOI检测头自动调焦方法，用于屏幕检测，包括：检查是否有所述屏幕所属类产品面型数据；将屏幕分成若干区域，通过检测头获取第一个屏幕各区域聚焦位置附近不同高度的图像；计算各区域图像清晰度最高的聚焦高度，即为此区域面型高度，生成该类产品的面型图；记录该类产品各区域不同离焦量图像；根据该类产品面型图实时调整检测头高度对第一个屏幕进行检测，并获取各区域图像计算图像清晰度，根据各区域图像清晰度是否均高于某一阈值确认面型数据是否合适；根据该类产品面型图实时调整检测头高度对下一个屏幕进行检测，并获取各区域图像计算图像清晰度；对图像清晰度低于某一阈值的区域，生成该类产品新的面型图。
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公开(公告)号：CN113673782B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202111035993.2
申请日：2021-09-06
Applicant: 中导光电设备股份有限公司
IPC: G06Q10/047 , G06N3/126 , G02B21/00 , G02B21/36 , G01N21/88
Abstract: 本申请提出一种多显微镜扫描拍照路径优化方法和装置，采用动态规划和遗传算法的结合，采用动态规划方法找出较优的路径作为第一个体，也是保底路径，结合遗传算法的随机、交叉、变异等方法扩大搜索范围，在交叉环节中采用选择性的方法来提高收敛速度。本方法采用了扫描拍照，计算局部和综合适应度，挑选综合最优结果，在实现局部优化的前提实现全局优化，主要协调安排每个缺陷点排序和对应拍照显微镜，考虑了距离和时间因素，合理安排和规划一条路径，保证较短时间内完成拍照。
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公开(公告)号：CN107328786A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710717851.1
申请日：2017-08-21
Applicant: 中导光电设备股份有限公司
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/95 , G01N2021/8825 , G01N2201/061 , G01N2201/0668
Abstract: 本发明公开了一种膜表面缺陷检测装置及其检测方法，所述装置包括：暗场照明光路、亮场照明光路、半反半透镜、全反镜、成像镜头、线扫相机；其中，成像镜头和线扫相机位于半反半透镜的竖直方向上方，成像镜头位于线扫相机与半反半透镜之间；亮场照明光路位于半反半透镜的水平方向一侧，全反镜位于半反半透镜的水平方向与亮场照明光路呈180度相位的另一侧。本发明通过对缺陷的严重程度的判断，实现对OLED柔性膜表面小突起的快速检测和识别，提高对不良品的检出效果，提高产品的质量。
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公开(公告)号：CN106081627A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610590597.9
申请日：2016-07-26
Applicant: 中导光电设备股份有限公司
CPC classification number: B65G51/035 , B65G49/063 , B65G2249/00
Abstract: 本发明涉及一种高速气浮板，所述高速气浮板具有三个互相独立的储气腔，所述储气腔沿纵向分布，且所述高速气浮板的上表面沿纵向具有两条泄压槽，所述两条泄压槽分别位于中间的储气腔与两侧的储气腔之间，从而将所述高速气浮板分成三个独立的气浮模块。下料时，只开启中间气浮模块进行低压供气，防止玻璃基板与高速气浮板快速分离出现的吸附现象，且保证玻璃基板不飘移；上料时，只开启中间气浮模块进行负压供气，防止玻璃基板撞击高速气浮板，且保证玻璃基板不飘移；夹持时，同时再开启两侧两个气浮模块进行供气，玻璃基板与高速气浮板可快速充分分离；检测时，通气并使得中间气浮模块压力比两侧两个气浮模块压力小，保证玻璃基板的平整度。
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公开(公告)号：CN119803283A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411862838.1
申请日：2024-12-17
Applicant: 中导光电设备股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种基于3D模型关系的OCD测量方法，包括：采集显微镜在不同高度时3D量测对象的平面量测结果，每个平面量测结果对应一个取图序号；建立平面量测结果、取图序号和3D量测对象的3D模型关系；根据所述平面量测结果、取图序号和3D量测对象的3D模型关系计算所述3D量测对象的光学关键尺寸。本发明的关键点是，（1）简单采用不同高度下的2D成像构建3D模型的方式；（2）利用G、B色光下量测对象的不同表现特征进行数据融合；（3）利用数据的收敛和波动规律推断感兴趣的关键尺寸。本发明的优点在于：通过大量的数据验证，该方法稳定性和准确性较好，和CDSEM匹配度较高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114088627B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202111374242.3
申请日：2021-11-19
Applicant: 中导光电设备股份有限公司
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种双显微镜测量设备及方法，包括：两个显微镜、龙门、夹具；其中，所述两个显微镜安装在龙门的轴上，能够在龙门上来回移动；所述显微镜具有电动微调装置，安装在显微镜与龙门的连接处，以对显微镜的位置进行微调；和/或，所述夹具具有旋转电动微调装置，安装在夹具的底部，以对夹具的位置进行微调。测量时，将同一行测量点左右平分，如果是奇数个点位，则增加一个虚拟点位，左侧显微镜负责左侧点位，右侧显微镜负责右侧点位，从左至右或从右至左同向逐个点位依次同时进行移动和测量。本发明的优点在于：基板及其夹具质量比较小，重心比较低，移动后机台较短时间就可以稳定，可以较快进行测量，提高测量效率。
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公开(公告)号：CN114088628B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202111374260.1
申请日：2021-11-19
Applicant: 中导光电设备股份有限公司
IPC: G01M11/02
Abstract: 本申请提供一种显微镜测量方法。该方法包括：显微镜聚焦，判断聚焦传感器反馈值是否小于一次聚焦范围阈值；连续读取三次以上聚焦传感器反馈值，计算平均值和标准方差，同时采图测量；判断标准方差是否小于聚焦稳定性阈值，如果否，则计数加一，并判断计数是否超过预设次数，如果计数超过预设次数则报警，结束，如果计数不超过预设次数，则再次连续读取三次以上聚焦传感器反馈值，计算平均值和标准方差，同时采图测量；如果标准方差小于聚焦稳定性阈值则进入下一步；判断平均值是否小于二次聚焦稳定性阈值；根据平均值计算显微镜离焦距离，根据离焦距离移动聚焦马达，然后再次连续读取三次以上聚焦传感器反馈值，计算平均值和标准方差，同时采图测量。
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公开(公告)号：CN114088628A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111374260.1
申请日：2021-11-19
Applicant: 中导光电设备股份有限公司
Abstract: 本申请提供一种显微镜测量方法。该方法包括：显微镜聚焦，判断聚焦传感器反馈值是否小于一次聚焦范围阈值；连续读取三次以上聚焦传感器反馈值，计算平均值和标准方差，同时采图测量；判断标准方差是否小于聚焦稳定性阈值，如果否，则计数加一，并判断计数是否超过预设次数，如果计数超过预设次数则报警，结束，如果计数不超过预设次数，则再次连续读取三次以上聚焦传感器反馈值，计算平均值和标准方差，同时采图测量；如果标准方差小于聚焦稳定性阈值则进入下一步；判断平均值是否小于二次聚焦稳定性阈值；根据平均值计算显微镜离焦距离，根据离焦距离移动聚焦马达，然后再次连续读取三次以上聚焦传感器反馈值，计算平均值和标准方差，同时采图测量。
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公开(公告)号：CN113469472B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202111035992.8
申请日：2021-09-06
Applicant: 中导光电设备股份有限公司
Abstract: 本申请提出一种多显微镜定点拍照路径优化方法，通过扫描拍照完成部分拍摄点的拍摄；在剩余点中采用定点移动方法进行拍摄，按照显微镜和缺陷点距离最近原则进行选点，当出现显微镜干涉时采用补点的方法提前躲避；评估适应度，结束定点拍照路径优化。本方法计算局部和综合适应度，挑选综合最优结果，在实现局部优化的前提实现全局优化，主要协调安排每个缺陷点排序和对应拍照显微镜，考虑了距离和时间因素，合理安排和规划一条路径，保证较短时间内完成拍照。
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公开(公告)号：CN117191805A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311396710.6
申请日：2023-10-26
Applicant: 中导光电设备股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种AOI检测头自动调焦方法，用于屏幕检测，包括：检查是否有所述屏幕所属类产品面型数据；将屏幕分成若干区域，通过检测头获取第一个屏幕各区域聚焦位置附近不同高度的图像；计算各区域图像清晰度最高的聚焦高度，即为此区域面型高度，生成该类产品的面型图；记录该类产品各区域不同离焦量图像；根据该类产品面型图实时调整检测头高度对第一个屏幕进行检测，并获取各区域图像计算图像清晰度，根据各区域图像清晰度是否均高于某一阈值确认面型数据是否合适；根据该类产品面型图实时调整检测头高度对下一个屏幕进行检测，并获取各区域图像计算图像清晰度；对图像清晰度低于某一阈值的区域，生成该类产品新的面型图。
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