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公开(公告)号：CN114563303A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202210198061.8
申请日：2022-03-02
Applicant: 中山凯旋真空科技股份有限公司
IPC: G01N7/04
Abstract: 本公开涉及材料特性测试技术领域，尤其是涉及一种气体吸附材料的吸气性能测试装置及测试方法。测试装置包括储气容器、真空机组、样品室、真空元件和制冷设备，储气容器用于储存待吸附气体，真空机组与储气容器的出口连通，真空元件设置有通孔；制冷设备用于使待测样品维持设定温度；还包括第一真空计和第二真空计，储气容器与第一真空计之间设置有调节阀，调节阀用于维持第二真空计的读数稳定。当待吸附气体流过真空元件的通孔时，在真空元件的进气侧和出气侧出现压力差，调节调节阀，使得第二真空计的读数稳定，通过获取第一真空计随时间变化的气压值，计算出不同时刻待测样品的吸气速率和一段时间内的总吸气量，测试结果准确度高。
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公开(公告)号：CN119044626A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411126699.6
申请日：2024-08-16
Applicant: 中山凯旋真空科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种离子源测试装置，包括：机架；真空室，设置在所述机架上，其侧壁设有若干能与离子源可拆卸连接并能让离子源的粒子束流进入真空室内的离子源接口；旋转平台，设置在所述真空室内，用于承载待测试晶圆；驱动组件，与所述旋转平台连接，用于驱动旋转平台旋转；加热组件，设置在所述真空室内；抽真空系统，与所述真空室连接，用于对真空室进行抽真空；充气系统，与所述真空室连接，用于向真空室内充入一种或多种工业气体。本发明具有结构简单、成本低、满足对离子源测试需求的优点。
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公开(公告)号：CN106282491B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201510299426.6
申请日：2015-06-03
Applicant: 中山凯旋真空科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高真空水淬固溶炉系统，包括相互之间能够通断的加热室和冷却室，所述冷却室内设置有冷却水槽和储水箱，所述储水箱位于所述冷却水槽上方，并在冷却工件时向所述冷却水槽方向快速注水，所述冷却水槽在非冷却工件时，排空冷却水并干燥处理。本发明中储水箱位于冷却水槽上方，并在冷却工件时向冷却水槽方向注水，冷却水槽在非冷却工件时，排空冷却水并干燥处理，使得冷却室在储水箱注水前保持干燥，冷却室真空度高，在加热室与冷却室连通后，不会影响加热室的真空度，从而可以保证工件的固溶质量，并提高加热室的部件寿命。
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公开(公告)号：CN222769961U
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202421010527.8
申请日：2024-05-10
Applicant: 中山凯旋真空科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种轨道升降装置，其包括主轨道组件、升降驱动机构、搭接组件及搭接驱动机构。主轨道组件包括升降座、主对接轨道及主对外固定座，主对接轨道设置于升降座，主对外固定座转动连接于升降座，升降座具有展开位置和折叠位置。升降驱动机构与主轨道组件连接并用于驱动升降座动作，以切换其展开和折叠的位置。搭接组件包括搭接座以及搭接轨道，搭接座与升降座转动连接，搭接轨道设于搭接座，搭接座能相对于升降座展开和折叠。搭接驱动机构连接于升降座和搭接座之间并用于驱动搭接座相对升降座动作，以切换其展开和折叠的位置。上述的轨道升降装置，能够有效避免与罐内轨道形成间隙，从而运料小车运料时不易晃动。
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公开(公告)号：CN213655731U
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202021536762.0
申请日：2020-07-29
Applicant: 中山凯旋真空科技股份有限公司
IPC: F16J15/3284 , F16J15/324 , F16J15/3276
Abstract: 本实用新型涉及真空密封技术领域，提出了一种密封装置及具有其的真空设备。密封装置适用于真空设备，包括密封座、V组密封结构以及挡料密封结构，密封座用于套设在真空设备的运动轴上，密封座与运动轴之间形成有第一容纳腔和第二容纳腔，第一容纳腔和第二容纳腔间隔设置，且第一容纳腔相比于第二容纳腔更远离真空设备的真空腔；V组密封结构设置在第一容纳腔内，V组密封结构的开口背离真空腔；挡料密封结构设置在第二容纳腔内。通过在密封座与运动轴之间设置有V组密封结构和挡料密封结构，既可以保证可靠的真空密封，又可以防止真空腔内的物料泄漏，且密封有磨损补偿，可以大大延长使用寿命，成本较低且可靠性高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN212898049U
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202020903933.2
申请日：2020-05-26
Applicant: 中山凯旋真空科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型提出一种铰链结构及真空容器。铰链结构铰接于一罐体与一罐门之间。铰链结构包含第一铰座、第二铰座、转臂轴、平衡轴、转臂以及两个调节螺钉。第一铰座和第二铰座分别固定于罐体和罐门。转臂轴和平衡轴分别设置于第一铰座和第二铰座。转臂具有第一端和第二端，第一端通过转臂轴铰接于第一铰座，第二端通过平衡轴铰接于第二铰座。两个调节螺钉分别设置于转臂与第二铰座之间，两个调节螺钉分别位于平衡轴的两侧。铰链结构被配置为通过分别调节两个调节螺钉，能够调节罐门与转臂的相对角度。
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公开(公告)号：CN220583131U
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202322188672.7
申请日：2023-08-14
Applicant: 中山凯旋真空科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种观察窗结构，其包括：炉身、安装座、观察窗、挡板和冷却结构；安装座设置于所述炉身，所述安装座具有连通所述炉身内外的观察孔；观察窗安装于所述安装座并封闭所述观察孔，所述观察窗用于从所述炉身的外部对所述炉身的内部进行观察；挡板活动连接于所述安装座的一侧，所述挡板用于运动至所述观察孔并封闭所述观察孔或者运动远离所述观察孔，所述挡板位于所述炉身之内；冷却结构设置于所述炉身并能够对所述安装座进行降温。驱动挡板进行运动，并使得挡板封闭观察孔，从而令炉身内的热辐射被挡板所阻挡，进而有效地避免热辐射直接作用于观察窗，因此可以有效地避免观察窗及旁侧的密封等部件发生高温老化的问题。
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公开(公告)号：CN215108203U
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202120335887.5
申请日：2021-02-05
Applicant: 中山凯旋真空科技股份有限公司
Abstract: 本公开提出一种真空罐及其罐门铰链。罐门铰链包括固定座、铰接拉杆、复位件、限位件以及转接座。固定座可活动地连接铰接拉杆，复位件设置于固定座与限位件之间；铰接拉杆包括第一端与第二端，第二端穿过固定座与转接座铰接连接；复位件一端抵在固定座，复位件的另一端抵在限位件；以复位件推动铰接拉杆，从而为转接座提供预紧力，当密封圈被压缩时，可以通过调节限位件，从而使罐门的密封面与本体上的密封圈全部贴合，减轻设备的维护强度。
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公开(公告)号：CN213657544U
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202021722467.4
申请日：2020-08-18
Applicant: 中山凯旋真空科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型提出一种固定装置及真空炉，固定装置包含绝缘座、绝缘帽、第一螺杆以及连接支架；绝缘座设置于筒体外壁；绝缘帽设置于绝缘座的远离筒体的一侧；第一螺杆一端穿设于绝缘座和绝缘帽，另一端固定于筒体，第一螺杆一端伸出于绝缘帽并螺接有第一螺母，以此将绝缘帽压紧于绝缘座；连接支架具有第一连接部和第二连接部，第一连接部夹设于绝缘座与绝缘帽之间，且第一螺杆穿设于第一连接部，第二连接部位于绝缘帽的远离筒体的一侧，并与加热带可拆装地连接。通过上述结构设计，利用本实用新型固定加热带，能够保证加热带在连接固定位置的加热辐射面积不受影响。再者，即使实现上述连接的螺母发生松动，也不会造成固定处的加热带损坏。
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公开(公告)号：CN212899920U
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202021721111.9
申请日：2020-08-18
Applicant: 中山凯旋真空科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型提出一种单向阀及静态真空浇注设备。单向阀包含阀体、阀芯以及预紧弹性结构；阀体具有阀腔和连通于阀腔的进料口及出料口；阀芯设置于阀腔内；预紧弹性结构设置于阀腔内，预紧弹性结构一端相对连接于阀体，另一端连接于阀芯，以对阀芯施加朝向进料口的预紧力，使阀芯常态下封闭进料口。通过上述结构设计，本实用新型提出的单向阀实现阀门的常闭式设计，采用预紧密封替代了现有的气动密封，采用被动压力启闭替代了现有的主动控制启闭，从而能够满足计量泵周期式的物料输送要求，另外，本实用新型有效降低成本，精简控制，提高了阀门的可靠性。
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