公开(公告)号：CN101736310B

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN200810202700.3

申请日：2008-11-13

申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

发明人： 刘涛 ,  李晓波 ,  孔祥涛 ,  欧阳东 ,  张金刚 ,  李夏

IPC分类号： C23C16/06 ,  C23C16/455

摘要： 本发明提出一种应用于钨化学气相沉积工艺的气体传输系统，包括反应室，第一抽气泵和第二抽气泵，以及尾气处理装置，所述反应室通过多个反应气体管道供气，所述第一抽气泵通过反应生成气体管道与所述反应室相连，所述第二抽气泵通过背面气体抽气管道与所述反应室相连，所述第一抽气泵和其中之一所述多个反应气体管道之间连接有第一回转气体管道，所述第一抽气泵和第二抽气泵连接于所述尾气处理装置，其中所述其中另一所述多个反应气体管道和所述第二抽气泵之间连接有第二回转气体管道。本发明能够有效解决PNL钨生长设备的低有效利用率的问题，降低工艺过程抽气泵出现错误警报的频率。

公开(公告)号：CN101736310A

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200810202700.3

申请日：2008-11-13

申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

发明人： 刘涛 ,  李晓波 ,  孔祥涛 ,  欧阳东 ,  张金刚 ,  李夏

IPC分类号： C23C16/06 ,  C23C16/455

摘要： 本发明提出一种应用于钨化学气相沉积工艺的气体传输系统，包括反应室，第一抽气泵和第二抽气泵，以及尾气处理装置，所述反应室通过多个反应气体管道供气，所述第一抽气泵通过反应生成气体管道与所述反应室相连，所述第二抽气泵通过背面气体抽气管道与所述反应室相连，所述第一抽气泵和其中之一所述多个反应气体管道之间连接有第一回转气体管道，所述第一抽气泵和第二抽气泵连接于所述尾气处理装置，其中所述其中另一所述多个反应气体管道和所述第二抽气泵之间连接有第二回转气体管道。本发明能够有效解决PNL钨生长设备的低有效利用率的问题，降低工艺过程抽气泵出现错误警报的频率。