公开(公告)号：CN111304627A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201911253610.1

申请日：2019-12-09

申请人： 丰田自动车株式会社 ,  国立大学法人京都工芸纤维大学

发明人： 永冈达司 ,  川井文彰 ,  西中浩之 ,  吉本昌广

IPC分类号： C23C16/44 ,  C23C16/34 ,  C23C16/46

摘要： 本发明抑制在成膜装置中生长的膜中混入意料不到的杂质。本发明提供一种成膜装置，其通过向基体的表面供给溶液的喷雾而使膜在所述基体的所述表面生长，该成膜装置具有：加热炉，其收容并加热所述基体；以及喷雾供给装置，其向所述加热炉供给所述溶液的所述喷雾。所述成膜装置中的暴露在所述喷雾中的部分的至少其中一部分由含有氮化硼的材料制成。

公开(公告)号：CN111304627B

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN201911253610.1

申请日：2019-12-09

申请人： 株式会社电装 ,  国立大学法人京都工芸纤维大学

发明人： 永冈达司 ,  川井文彰 ,  西中浩之 ,  吉本昌广

IPC分类号： C23C16/44 ,  C23C16/34 ,  C23C16/46

摘要： 本发明抑制在成膜装置中生长的膜中混入意料不到的杂质。本发明提供一种成膜装置，其通过向基体的表面供给溶液的喷雾而使膜在所述基体的所述表面生长，该成膜装置具有：加热炉，其收容并加热所述基体；以及喷雾供给装置，其向所述加热炉供给所述溶液的所述喷雾。所述成膜装置中的暴露在所述喷雾中的部分的至少其中一部分由含有氮化硼的材料制成。