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公开(公告)号：CN118385107A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410609707.6
申请日：2024-05-16
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种柔性透明压电微机械超声换能器及其制备方法，属于超声换能器技术领域。所述超声换能器，包括依次设置的含有声学腔的衬底层、结构层、下电极层、压电层及上电极层，各层采用柔性、透明材料制备。本发明提供的PMUT具有柔性、透明、可形变幅度大等特性，采用压电系数较高的二元共聚物P(VDF‑TrFE)制备压电层可有效提升超声波发射/接收灵敏度，具有广阔应用前景。本发明采用旋涂、物理气相沉积及激光微加工工艺制备柔性透明压电微机械超声换能器，工艺简单、成本低廉、器件良率高、适合批量生产。
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