-
公开(公告)号：CN115332290A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210843937.X
申请日：2022-07-18
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L27/20 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L41/113 , H01L41/22 , C12M1/00 , C12M1/34 , G01N15/10
Abstract: 本发明公开了一种集成声流控SAW器件与薄膜晶体管器件的传感器及其制备方法、应用，其中声流控器件基于氧化锌薄膜作为压电材料，薄膜晶体管选用氧化锌作为沟道材料。本发明集成了声流控器件的筛选功能与薄膜晶体管的传感功能，能在筛选出特定生物标志物例如细胞的同时检测计数，省去了细胞标记、显微镜计数的步骤。本发明提出的器件制备方式简单，成本低廉，衬底和薄膜均为透明材料，且与传统微电子工艺兼容，适合大规模生产以及医疗上的应用。
-
公开(公告)号：CN115323042A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210843939.9
申请日：2022-07-18
Applicant: 之江实验室
IPC: C12Q1/6869 , G01N33/487 , B82Y5/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种利用超声波实现纳米孔浸润的应用方法。区别于传统的化学表面处理、或者高压、高电流的浸润方法，本发明能利用较低功率的超声(3W)实现快速(小于五分钟)、无损、无接触式的纳米孔浸润。适用于不同直径、不同类型薄膜材料(氮化硅、氧化锌、氧化铝)纳米孔的应用场景，能够实现浸润速度超过两个数量级的提升。本发明提出的浸润方法无需使用复杂设备，化学试剂，操作简单，速度快，可用于纳米孔传感器的批量化浸润处理。同时该方法可用于设计集成化的小型设备用于现场、实时、移动化的浸润处理。
-
公开(公告)号：CN115323042B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202210843939.9
申请日：2022-07-18
Applicant: 之江实验室
IPC: C12Q1/6869 , G01N33/487 , B82Y5/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种利用超声波实现纳米孔浸润的应用方法。区别于传统的化学表面处理、或者高压、高电流的浸润方法，本发明能利用较低功率的超声(3W)实现快速(小于五分钟)、无损、无接触式的纳米孔浸润。适用于不同直径、不同类型薄膜材料(氮化硅、氧化锌、氧化铝)纳米孔的应用场景，能够实现浸润速度超过两个数量级的提升。本发明提出的浸润方法无需使用复杂设备，化学试剂，操作简单，速度快，可用于纳米孔传感器的批量化浸润处理。同时该方法可用于设计集成化的小型设备用于现场、实时、移动化的浸润处理。
-
公开(公告)号：CN119024317B
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411506101.6
申请日：2024-10-28
Applicant: 之江实验室
IPC: G01S7/521
Abstract: 本发明涉及一种成像声呐和匹配层灌封方法。该成像声呐，包括：中间体、集成电路模块、面板组件、背板组件以及密封组件，面板组件包括盖设于中间体的前侧开口的面板和集成于面板的多个换能器，换能器包括匹配层、换能器定位件和换能器主体，换能器定位件固设于换能器安装孔，换能器主体固设于换能器定位件；匹配层粘接于面板的前侧面，并将换能器定位件和换能器主体包裹在内，匹配层的后侧具有散热口，以露出换能器主体的后侧面。通过在匹配层的后侧预留散热孔，换能器主体的后侧面通过散热口连通中间体的安装腔，使得换能器能够通过空气或液体等热对流的形式进行散热，从而提高集成电路的散热性能。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116650009A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310433985.6
申请日：2023-04-21
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种高透射率超声层析成像探测器，属于超声成像装置领域，其组成包括至少一个由呈对立分布的超声发射换能器和超声接收换能器组成的超声发射‑接收单元，其中超声发射换能器的压电元件具有单晶PMN‑PT制备的阵元呈平面矩阵分布的多阵元压电层；超声接收换能器的压电元件具有单晶PIN‑PMN‑PT制备的阵元呈凸面矩阵分布的多阵元压电层。本发明采用高性能压电材料来制备发射和接收换能器，发射换能器压电层阵元采用平面矩阵设计产生均匀的声场，提高发射超声波的指向性；接收换能器压电层采用凸面设计可提高接收灵敏度。本发明兼顾高分辨率及大穿透深度，适用于人体深层组织肿瘤检测、腹部术中超声导航等超声诊疗领域。
-
公开(公告)号：CN116237225A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310164709.4
申请日：2023-02-10
Applicant: 之江实验室
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏柔性压电超声换能器及其制备方法，属于柔性传感器技术领域。所述压电超声换能器包括依次设置的具有空腔结构的柔性衬底、弹性层、底电极、压电层、上电极及绝缘层，其中压电层为压电材料Ba0.92Ca0.08Ti1‑xSnxO3薄膜，x为0.01‑0.1，具有高压电性能及无污染优势，弹性层为耐高温白云母片，兼容微电子工艺与压电材料高温退火工艺。本发明提供的压电超声换能器集成了超声波发射及接收功能，尺寸小、可发生大幅度形变，适用于非平面结构无损探伤、生物体组织成像、人体可穿戴设备等领域。本发明公开的高灵敏柔性压电超声换能器制备方法简单，成本低廉，适合批量生产。
-
公开(公告)号：CN119024317A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411506101.6
申请日：2024-10-28
Applicant: 之江实验室
IPC: G01S7/521
Abstract: 本发明涉及一种成像声呐和匹配层灌封方法。该成像声呐，包括：中间体、集成电路模块、面板组件、背板组件以及密封组件，面板组件包括盖设于中间体的前侧开口的面板和集成于面板的多个换能器，换能器包括匹配层、换能器定位件和换能器主体，换能器定位件固设于换能器安装孔，换能器主体固设于换能器定位件；匹配层粘接于面板的前侧面，并将换能器定位件和换能器主体包裹在内，匹配层的后侧具有散热口，以露出换能器主体的后侧面。通过在匹配层的后侧预留散热孔，换能器主体的后侧面通过散热口连通中间体的安装腔，使得换能器能够通过空气或液体等热对流的形式进行散热，从而提高集成电路的散热性能。
-
公开(公告)号：CN118385107A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410609707.6
申请日：2024-05-16
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种柔性透明压电微机械超声换能器及其制备方法，属于超声换能器技术领域。所述超声换能器，包括依次设置的含有声学腔的衬底层、结构层、下电极层、压电层及上电极层，各层采用柔性、透明材料制备。本发明提供的PMUT具有柔性、透明、可形变幅度大等特性，采用压电系数较高的二元共聚物P(VDF‑TrFE)制备压电层可有效提升超声波发射/接收灵敏度，具有广阔应用前景。本发明采用旋涂、物理气相沉积及激光微加工工艺制备柔性透明压电微机械超声换能器，工艺简单、成本低廉、器件良率高、适合批量生产。
-
公开(公告)号：CN115332290B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202210843937.X
申请日：2022-07-18
Applicant: 之江实验室
IPC: H10N39/00 , H01L21/336 , H01L29/786 , H10N30/30 , H10N30/01 , C12M1/00 , C12M1/34 , G01N15/10
Abstract: 本发明公开了一种集成声流控SAW器件与薄膜晶体管器件的传感器及其制备方法、应用，其中声流控器件基于氧化锌薄膜作为压电材料，薄膜晶体管选用氧化锌作为沟道材料。本发明集成了声流控器件的筛选功能与薄膜晶体管的传感功能，能在筛选出特定生物标志物例如细胞的同时检测计数，省去了细胞标记、显微镜计数的步骤。本发明提出的器件制备方式简单，成本低廉，衬底和薄膜均为透明材料，且与传统微电子工艺兼容，适合大规模生产以及医疗上的应用。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.019 seconds)
