具有转动单元的辊对辊制造系统

    公开(公告)号:CN108123068B

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201711156167.7

    申请日:2017-11-20

    IPC分类号: H01L51/56

    摘要: 具有转动单元的辊对辊制造系统。在该辊对辊制造系统中,设置有多个沉积单元,并且在沉积单元之间设置有转动单元。该沉积单元包括:其上缠绕有膜的沉积鼓;以及一个或多个蒸发器,其被设置为面对沉积鼓,并且被配置为沉积缠绕在沉积鼓上的膜。该转动单元包括多个转动辊,并且被配置为转动从一个沉积单元输出的膜、引导膜并将膜提供给另一个沉积单元。

    具有转动单元的辊对辊制造系统

    公开(公告)号:CN108123068A

    公开(公告)日:2018-06-05

    申请号:CN201711156167.7

    申请日:2017-11-20

    IPC分类号: H01L51/56

    摘要: 具有转动单元的辊对辊制造系统。在该辊对辊制造系统中,设置有多个沉积单元,并且在沉积单元之间设置有转动单元。该沉积单元包括:其上缠绕有膜的沉积鼓;以及一个或多个蒸发器,其被设置为面对沉积鼓,并且被配置为沉积缠绕在沉积鼓上的膜。该转动单元包括多个转动辊,并且被配置为转动从一个沉积单元输出的膜、引导膜并将膜提供给另一个沉积单元。