用于制造平板显示装置的蚀刻设备及使用其的制造方法

    公开(公告)号:CN1992152B

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN200610100380.1

    申请日:2006-06-30

    发明人: 金椿镒

    摘要: 这里公开了一种用于制造平板显示装置的设备和方法。这种用于制造平板显示装置的设备和方法具有如下效果:减少了用于蚀刻基板的设备的整体占地面积,并通过止动件防止了在传送基板期间对基板的损伤或基板的断裂。所述蚀刻设备包括:用于加载或卸载基板的加载器;用于将基板蚀刻成期望形状的蚀刻装置;DI冲洗装置,用于冲洗在蚀刻工艺过程中从经蚀刻的基板产生的细小颗粒;用于对经冲洗的基板进行干扰的气刀;以及一个或更多个转向台,设置在上述各个装置之间的一个或更多个位置处,适于改变基板的传送方向。