一种制备颗粒硅籽晶的装置及方法

    公开(公告)号:CN107601510B

    公开(公告)日:2018-05-04

    申请号:CN201710858917.9

    申请日:2017-09-21

    Abstract: 本发明涉及晶体硅制备技术领域,旨在提供一种制备颗粒硅籽晶的装置及方法,其能够制备出纯度高、球度高的颗粒硅籽晶,具有较小的物料损失量且不易产生粉尘。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的装置,其包括用于将经导流口流出的熔融液硅分散的旋转装置。在实施过程中,经熔融装置将多晶硅料加热至熔融状态,得到熔融多晶硅;熔融多晶硅经导流口落在高速旋转的转盘上,高速转盘沿切向甩出分散多晶硅液滴,多晶硅液滴在空中进行冷却凝固,得到颗粒硅籽晶。本发明中提供的制备颗粒硅籽晶的方法,由于采用上述的制备颗粒硅籽晶的装置,因此也具备有上述的有益效果。

    一种制备颗粒硅籽晶的系统及方法

    公开(公告)号:CN107585769A

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:CN201710858647.1

    申请日:2017-09-21

    Abstract: 本发明涉及晶体硅制备技术领域,旨在提供一种制备颗粒硅籽晶的系统及方法,其能够制备出纯度、球度高的颗粒硅籽晶。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的系统,包括挡板、熔融装置以及喷射装置,挡板与喷射装置的喷射部间隔设置。经熔融装置将多晶硅料加热至熔融状态,得到熔融多晶硅;将熔融多晶硅经喷射装置分散为多晶硅液滴,并经过挡板分散为更小的多晶硅液滴;多晶硅液滴在空中进行冷却凝固,得到颗粒硅籽晶。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的系统够制备出纯度、球度高的颗粒硅籽晶,具有较小的物料损失量并且不易产生粉尘。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的方法,由于采用上述的制备颗粒硅籽晶的系统,因此也具有上述的有益。

    一种流化处理系统
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109529732B

    公开(公告)日:2020-01-10

    申请号:CN201811582088.7

    申请日:2018-12-24

    Abstract: 本发明公开了一种流化处理系统,包括主流化床和一级副流化床,主流化床上下两端分别设置有主尾气管和主反应气进气口,主流化床中部侧壁上设置有主回料口和固体颗粒投料口;一级副流化床上端设置有一级尾气管,一级副流化床下端设置有一级反应气进气口和一级进料口,一级副流化床下部侧壁上相对设置有一级出料口和一级出料吹扫口;主反应气进气口、一级反应气进气口、一级出料吹扫口均通过管道与反应气进气主管道连接,主尾气管与一级进料口连接,一级尾气管后部设置有尾气回收装置,一级出料口与主回料口连接。通过至少两级流化床串联的流化处理,各级流化床内的流化状态不同,实现了物料的充分利用,避免了尾气管道的堵塞。

    一种流化处理系统
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109529732A

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201811582088.7

    申请日:2018-12-24

    Abstract: 本发明公开了一种流化处理系统,包括主流化床和一级副流化床,主流化床上下两端分别设置有主尾气管和主反应气进气口,主流化床中部侧壁上设置有主回料口和固体颗粒投料口;一级副流化床上端设置有一级尾气管,一级副流化床下端设置有一级反应气进气口和一级进料口,一级副流化床下部侧壁上相对设置有一级出料口和一级出料吹扫口;主反应气进气口、一级反应气进气口、一级出料吹扫口均通过管道与反应气进气主管道连接,主尾气管与一级进料口连接,一级尾气管后部设置有尾气回收装置,一级出料口与主回料口连接。通过至少两级流化床串联的流化处理,各级流化床内的流化状态不同,实现了物料的充分利用,避免了尾气管道的堵塞。

    一种制备颗粒硅籽晶的系统及方法

    公开(公告)号:CN107585769B

    公开(公告)日:2018-06-01

    申请号:CN201710858647.1

    申请日:2017-09-21

    Abstract: 本发明涉及晶体硅制备技术领域,旨在提供一种制备颗粒硅籽晶的系统及方法,其能够制备出纯度高、球度高的颗粒硅籽晶。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的系统,包括挡板、熔融装置以及喷射装置,挡板与喷射装置的喷射部间隔设置。经熔融装置将多晶硅料加热至熔融状态,得到熔融多晶硅;将熔融多晶硅经喷射装置分散为多晶硅液滴,并经过挡板分散为更小的多晶硅液滴;多晶硅液滴在空中进行冷却凝固,得到颗粒硅籽晶。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的系统能够制备出纯度高、球度高的颗粒硅籽晶,具有较小的物料损失量并且不易产生粉尘。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的方法,由于采用上述的制备颗粒硅籽晶的系统,因此也具有上述的有益。

    一种制备颗粒硅籽晶的装置及方法

    公开(公告)号:CN107601510A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201710858917.9

    申请日:2017-09-21

    Abstract: 本发明涉及晶体硅制备技术领域,旨在提供一种制备颗粒硅籽晶的装置及方法,其能够制备出纯度、球度高的颗粒硅籽晶,具有较小的物料损失量且不易产生粉尘。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的装置,其包括用于将经导流口流出的熔融液硅分散的旋转装置。在实施过程中,经熔融装置将多晶硅料加热至熔融状态,得到熔融多晶硅;熔融多晶硅经导流口落在高速旋转的转盘上,高速转盘沿切向甩出分散多晶硅液滴,多晶硅液滴在空中进行冷却凝固,得到颗粒硅籽晶。本发明中提供的制备颗粒硅籽晶的方法,由于采用上述的制备颗粒硅籽晶的装置,因此也具备有上述的有益效果。

    一种还原炉电极槽及四氟套清理装置

    公开(公告)号:CN207952064U

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201721918488.1

    申请日:2017-12-29

    Abstract: 本实用新型公开了一种还原炉电极槽及四氟套清理装置,包括有铰刀刀头、连接管及转动机构,铰刀刀头和连接管均为筒状结构,铰刀刀头与连接管同轴连接,且铰刀刀头朝外凸出于连接管的表面之外;而转动机构与连接管连接形成对连接管及铰刀刀头的旋转驱动结构。本实用新型通过以连接管安装铰刀刀头,且连接管连接有转动机构,通过转动机构带动连接管及铰刀刀头旋转,使铰刀刀头上的刀齿结构对粉尘进行清理,整个装置的清理过程清洁高效、精度高、安全卫生、结构简单,易于实现,可以有效提高工作效率、降低工人劳动强度、提高设备的安全性。

    一种多晶硅还原炉钟罩内壁抛光设备

    公开(公告)号:CN208496692U

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201821062924.4

    申请日:2018-07-05

    Abstract: 本实用新型中公开了一种多晶硅还原炉钟罩内壁抛光设备,包括平台和抛光机构,所述平台内设置有凹槽,所述抛光机构包括设置在凹槽底部的电机,所述电机上连接有主轴,所述主轴上至少设置有三个抛光件,所述抛光件上均设置有用于对钟罩内壁进行抛光的抛光作用面,所述抛光件沿主轴周向设置,所述抛光件的抛光作用面与钟罩内壁相匹配,所述抛光作用面上覆盖设置有抛光材料。本实用新型能对多晶硅还原炉钟罩内壁进行整体性的抛光,抛光后的光洁度均匀一致,对内壁不造成结构伤害,并提高抛光效率;本实用新型方便替换抛光件,从而满足对不同型号还原炉钟罩的抛光需求。

    一种筒体抛光装置
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209551440U

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201822174031.5

    申请日:2018-12-24

    Abstract: 本实用新型提供了一种筒体抛光装置,包括置物底盘,所述置物底盘上设置有可在置物底盘上多向平行移动的抛光底座;所述抛光底座上垂直设置有主轴,主轴上设置有位置感应器,所述主轴上设置有可沿主轴轴向移动的第一滑块和第二滑块,所述第一滑块上设有伸缩抛光臂,伸缩抛光臂末端安装有抛光装置,所述第二滑块上设有光洁度感应测试装置。本实用新型通过位置感应器及多向可移动抛光底座实现了筒体轴心自定位,通过伸缩抛光臂实现不同直径筒体抛光的一机多用,通过光洁度自感应检测装置简化了抛光检测工艺;该筒体抛光装置及方法可以实现筒体内部的高效率、高精度抛光,操作简便,工艺精简,生产洁净,易于实现,极具生产实用性。

    一种多晶硅还原炉底盘清扫器及其清扫系统

    公开(公告)号:CN208758224U

    公开(公告)日:2019-04-19

    申请号:CN201821100644.8

    申请日:2018-07-12

    Abstract: 本实用新型中公开了一种多晶硅还原炉底盘清扫器,包括密封罩,所述密封罩为开口朝下的腔体结构,所述密封罩内在顶部设置有多个吹扫气喷嘴,所述吹扫气喷嘴的开口朝下设置,所述密封罩在侧壁上设置有排气孔,所述密封罩开口一端上设置有密封机构,所述密封罩通过密封机构与还原炉底盘连接,使密封罩和还原炉底盘之间形成密封的腔体。本实用新型对多晶硅还原炉底盘上的硅粉清理效率高且清理彻底,还能减少硅粉对室内环境的污染。

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