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公开(公告)号:CN107482039B
公开(公告)日:2020-07-24
申请号:CN201710657760.3
申请日:2017-08-03
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
摘要: 本发明实施例提供一种柔性触控母板及制备方法、柔性触控基板、触控面板,涉及显示技术领域,可降低方阻同时改善膜层应力问题,避免出现鼓泡不良,提高产品良率。该制备方法包括对形成在柔性薄膜上的第一透明导电层进行图案化处理,形成第一、第二电极;第一透明导电层由多次沉积的多层第一透明导电膜构成;沉积的第一层第一透明导电膜的厚度为15~45nm,且多层第一透明导电膜的总厚度为120~200nm。
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公开(公告)号:CN107482039A
公开(公告)日:2017-12-15
申请号:CN201710657760.3
申请日:2017-08-03
申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
摘要: 本发明实施例提供一种柔性触控母板及制备方法、柔性触控基板、触控面板,涉及显示技术领域,可降低方阻同时改善膜层应力问题,避免出现鼓泡不良,提高产品良率。该制备方法包括对形成在柔性薄膜上的第一透明导电层进行图案化处理,形成第一、第二电极;第一透明导电层由多次沉积的多层第一透明导电膜构成;沉积的第一层第一透明导电膜的厚度为15~45nm,且多层第一透明导电膜的总厚度为120~200nm。
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