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发明公开
薄膜晶体管及其制造方法、显示面板、显示设备审中-实审

公开(公告)号：CN115832002A

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202111096049.8

申请日：2021-09-17

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 成都中电熊猫显示科技有限公司

发明人： 罗利 , 向舟翊 , 陈勇 , 周鹏 , 杨晓敏 , 任磊

IPC分类号： H01L29/06 , H01L29/786 , H01L21/336 , H01L27/12

摘要： 提供一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板、显示设备。该薄膜晶体管，包括栅极、半导体层和源漏极，其中，半导体层包括：靠近栅极的第一半导体层；远离栅极、且与源漏极接触的第二半导体层，第二半导体层的化学稳定性高于第一半导体层的化学稳定性。