一种贴合设备、膜材贴合方法

    公开(公告)号:CN114407489A

    公开(公告)日:2022-04-29

    申请号:CN202210117047.0

    申请日:2022-02-07

    IPC分类号: B32B37/10 B32B38/18 H01L51/56

    摘要: 本公开实施例提供一种贴合设备,包括:固定治具,包括用于固定第一待贴合膜材且形状与第一待贴合膜材的形状相匹配的第一仿形面;贴合治具,由弹性材料制作,包括相对设置的第二仿形面和受力面,第二仿形面的形状与第一仿形面的形状相匹配,第二仿形面朝向第一仿形面且用于定位柔性的第二待贴合膜材;施力装置,用于在沿受力面朝向第一方向移动过程中对贴合治具施加朝向第一仿形面的贴合作用力,以将第二待贴合膜材沿第一方向逐渐贴合至第一待贴合膜材。采用该贴合设备进行膜材贴合,贴合压力分布均匀,贴合方向保持沿第一方向,避免了贴合方向变化引起的贴合不良,降低了贴合裂纹和气泡,提供了贴合效果。