工艺炉
    1.
    发明公开
    工艺炉 审中-实审

    公开(公告)号:CN118116845A

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202410239318.9

    申请日:2024-03-01

    IPC分类号: H01L21/67 F27D7/02 F27D11/00

    摘要: 本发明涉及一种工艺炉,包括炉体,所述炉体限定出容纳腔,还包括进气单元和排气单元;所述进气单元包括与所述容纳腔连通的进气管道,所述进气管道位于所述容纳腔内的一端为封闭端,所述进气管道包括位于所述容纳腔内的第一部分,所述第一部分的外周面上设置有进气孔。改变进气管道的进气方向,相较于正对待加工基板吹扫的技术方案,改善了吹扫区域和非吹扫区域温差较大的问题,从而改善显示产品的Mura问题。

    薄膜涂布装置及清洗装置、清洗系统

    公开(公告)号:CN110280443A

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201910569122.5

    申请日:2019-06-27

    IPC分类号: B05C5/02 B05B15/55

    摘要: 本发明涉及显示技术领域,提出一种薄膜涂布装置,该薄膜涂布装置包括:结构主体、多个管道组件、电磁阀组。结构主体包括位于涂布开口两侧的两涂布侧壁以及容纳清洗液的容纳腔,两涂布侧壁沿涂布开口的延伸方向设置有多个侧壁开口;管道组件包括一个主管道以及与主管道连通的至少一个分支管道,主管道与容纳腔连通,分支管道分别与位于同一位置的侧壁开口连通;电磁阀组包括多个电磁阀,电磁阀一一对应设置于主管道内,电磁阀组用于受控于一控制信号组,通过控制不同的电磁阀以控制不同位置的侧壁开口上清洗液的流量。本公开提供的薄膜涂布装置能够降低该薄膜涂布装置清洗时清洗液渗入涂布开口的风险。

    薄膜涂布装置及清洗装置、清洗系统

    公开(公告)号:CN110280443B

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN201910569122.5

    申请日:2019-06-27

    IPC分类号: B05C5/02 B05B15/55

    摘要: 本发明涉及显示技术领域,提出一种薄膜涂布装置,该薄膜涂布装置包括:结构主体、多个管道组件、电磁阀组。结构主体包括位于涂布开口两侧的两涂布侧壁以及容纳清洗液的容纳腔,两涂布侧壁沿涂布开口的延伸方向设置有多个侧壁开口;管道组件包括一个主管道以及与主管道连通的至少一个分支管道,主管道与容纳腔连通,分支管道分别与位于同一位置的侧壁开口连通;电磁阀组包括多个电磁阀,电磁阀一一对应设置于主管道内,电磁阀组用于受控于一控制信号组,通过控制不同的电磁阀以控制不同位置的侧壁开口上清洗液的流量。本公开提供的薄膜涂布装置能够降低该薄膜涂布装置清洗时清洗液渗入涂布开口的风险。