公开(公告)号：CN113151779A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN202110268864.1

申请日：2021-03-12

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 刘肖楠 ,  李军 ,  陈颖冰 ,  张磊 ,  田杰 ,  张楠 ,  严涛 ,  伍青峰 ,  张文畅 ,  安廷猎 ,  马超 ,  郭登俊 ,  胡斌 ,  陶欢 ,  李建斌 ,  郑安辉

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  H01L51/56

摘要： 本公开提供了一种掩膜板及其制备方法，该掩膜板包括：支撑架；与支撑架贴合设置的第一膜层；第二膜层，其设置在第一膜层远离支撑架的一侧，第二膜层的外边框不超出支撑架的外边框；其中，第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度。本公开通过在第一膜层远离支撑架的一侧设置第二膜层，并且设置第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度，通过第二膜层进行蒸镀，并且设置第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度，此时第一膜层能够对第二膜层进行一定的支撑，以避免第二膜层因无法支撑自身重量导致第二膜层损坏，进而达到减小掩膜板的膜厚减薄区域的目的，进而实现减小显示面板的边框的目的。

公开(公告)号：CN111471960B

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202010518444.X

申请日：2020-06-09

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 马超 ,  郭登俊 ,  周俊吉 ,  郑安辉 ,  伍青峰 ,  黄世花 ,  张文畅

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/56

摘要： 本发明公开了一种掩膜板以及制备方法，涉及显示技术领域。掩膜板包括框架和设置于框架上的对位条，框架包括两条相对设置的第一框边和两条相对设置的第二框边，第一框边和第二框边围成框架，第一框边和第二框边包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面设置为在蒸镀过程中与基板相对的表面，第一框边的第一表面上设置有沿第一框边延伸方向贯穿第二框边的的凹槽，对位条设置于凹槽内，对位条与基板相对的表面与第二表面之间的距离小于或等于第一表面与第二表面之间的距离；对位条上设置有对位孔，对位孔位于所述框架的角部位置。本发明实施例通过将对位条设置于凹槽内，对位条与基板相对的表面不高于第一表面，避免了对位条位置偏移。

公开(公告)号：CN111471960A

公开(公告)日：2020-07-31

申请号：CN202010518444.X

申请日：2020-06-09

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 马超 ,  郭登俊 ,  周俊吉 ,  郑安辉 ,  伍青峰 ,  黄世花 ,  张文畅

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/56

摘要： 本发明公开了一种掩膜板以及制备方法，涉及显示技术领域。掩膜板包括框架和设置于框架上的对位条，框架包括两条相对设置的第一框边和两条相对设置的第二框边，第一框边和第二框边围成框架，第一框边和第二框边包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面设置为在蒸镀过程中与基板相对的表面，第一框边的第一表面上设置有沿第一框边延伸方向贯穿第二框边的的凹槽，对位条设置于凹槽内，对位条与基板相对的表面与第二表面之间的距离小于或等于第一表面与第二表面之间的距离；对位条上设置有对位孔，对位孔位于所述框架的角部位置。本发明实施例通过将对位条设置于凹槽内，对位条与基板相对的表面不高于第一表面，避免了对位条位置偏移。

公开(公告)号：CN113151779B

公开(公告)日：2022-12-13

申请号：CN202110268864.1

申请日：2021-03-12

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 刘肖楠 ,  李军 ,  陈颖冰 ,  张磊 ,  田杰 ,  张楠 ,  严涛 ,  伍青峰 ,  张文畅 ,  安廷猎 ,  马超 ,  郭登俊 ,  胡斌 ,  陶欢 ,  李建斌 ,  郑安辉

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  H01L51/56

摘要： 本公开提供了一种掩膜板及其制备方法，该掩膜板包括：支撑架；与支撑架贴合设置的第一膜层；第二膜层，其设置在第一膜层远离支撑架的一侧，第二膜层的外边框不超出支撑架的外边框；其中，第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度。本公开通过在第一膜层远离支撑架的一侧设置第二膜层，并且设置第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度，通过第二膜层进行蒸镀，并且设置第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度，此时第一膜层能够对第二膜层进行一定的支撑，以避免第二膜层因无法支撑自身重量导致第二膜层损坏，进而达到减小掩膜板的膜厚减薄区域的目的，进而实现减小显示面板的边框的目的。

公开(公告)号：CN111505900A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN202010496108.X

申请日：2020-06-03

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 王子润 ,  曾望明 ,  李春庭 ,  郑安辉 ,  侯德尧

IPC分类号： G03F1/82

摘要： 本申请提供了一种掩膜板的清洁装置、清洁系统和清洁方法。该掩膜板的清洁装置包括：清洁棒、支架、外壳、推杆以及驱动机构；清洁棒包括棒体和粘头，粘头设置于棒体的一端；外壳为两端开口的中空筒，外壳固定于支架上，清洁棒内置于外壳内部；推杆的一端与棒体远离粘头的一端连接，推杆的另一端与驱动机构的动力输出端连接，推杆在驱动机构的驱动下推动清洁棒相对外壳进行上下移动，使得粘头、或者粘头和棒体的一部分伸出外壳。本申请实现了通过粘头的粘性来修复掩膜板上的各种形状和种类的污染物，保证金属掩膜板的洁净，能有效提高产品良率。

公开(公告)号：CN207029890U

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201720538486.3

申请日：2017-05-12

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 郑安辉

IPC分类号： B65D25/38

摘要： 本实用新型涉及显示技术领域，公开一种箱子以及取放装置，箱子用于存储掩膜版框架，包括：壳体，壳体的顶部设有开口，内部形成用于容置掩膜版框架的中空腔室，壳体的底板上平行设有至少两个沟槽，沟槽的延伸方向与掩膜版框架的延伸方向相垂直；顶盖，顶盖可沿掩膜版的延伸方向滑动地安装在开口，在上述箱子中，通过采用顶部开口的方式，在需要取出掩膜版框架时，将顶盖沿着掩膜版的延伸方向从壳体的开口移出，取放装置能够从箱子的顶部进入中空腔室，并深入沟槽以夹取掩膜版框架进而将其取出，取放方便且安全可靠。