掩膜板以及制备方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111471960A

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN202010518444.X

    申请日:2020-06-09

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24 H01L51/56

    摘要: 本发明公开了一种掩膜板以及制备方法,涉及显示技术领域。掩膜板包括框架和设置于框架上的对位条,框架包括两条相对设置的第一框边和两条相对设置的第二框边,第一框边和第二框边围成框架,第一框边和第二框边包括相对设置的第一表面和第二表面,第一表面设置为在蒸镀过程中与基板相对的表面,第一框边的第一表面上设置有沿第一框边延伸方向贯穿第二框边的的凹槽,对位条设置于凹槽内,对位条与基板相对的表面与第二表面之间的距离小于或等于第一表面与第二表面之间的距离;对位条上设置有对位孔,对位孔位于所述框架的角部位置。本发明实施例通过将对位条设置于凹槽内,对位条与基板相对的表面不高于第一表面,避免了对位条位置偏移。

    掩模板及其制备方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109825802A

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201910286060.7

    申请日:2019-04-10

    摘要: 本发明的实施例提供一种掩模板及其制备方法,涉及蒸镀技术领域,可改善掩模板角位置处的混色现象,提高产品良率。一种掩模板的制备方法,包括:将多个第一掩模条依次间隔固定于第一掩模板框架上,每个第一掩模条均跨设于第一掩模板框架的中空区域,且第一掩模条的两端与第一掩模板框架固定;除最靠近第一掩模板框架的第一边和第二边的两个第一掩模条外,其余第一掩模条的延伸方向与第一掩模板框架的第一边平行,第一边和第二边相对;分别靠近第一边和第二边的第一掩模条相对其余第一掩模条倾斜设置,且倾斜角度根据蒸镀偏差计算得到。

    掩膜板以及制备方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111471960B

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN202010518444.X

    申请日:2020-06-09

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24 H01L51/56

    摘要: 本发明公开了一种掩膜板以及制备方法,涉及显示技术领域。掩膜板包括框架和设置于框架上的对位条,框架包括两条相对设置的第一框边和两条相对设置的第二框边,第一框边和第二框边围成框架,第一框边和第二框边包括相对设置的第一表面和第二表面,第一表面设置为在蒸镀过程中与基板相对的表面,第一框边的第一表面上设置有沿第一框边延伸方向贯穿第二框边的的凹槽,对位条设置于凹槽内,对位条与基板相对的表面与第二表面之间的距离小于或等于第一表面与第二表面之间的距离;对位条上设置有对位孔,对位孔位于所述框架的角部位置。本发明实施例通过将对位条设置于凹槽内,对位条与基板相对的表面不高于第一表面,避免了对位条位置偏移。

    掩膜版
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111500981A

    公开(公告)日:2020-08-07

    申请号:CN202010525146.3

    申请日:2020-06-10

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/12 C23C14/24

    摘要: 本发明提供一种掩膜版,所述掩膜版包括掩膜条及支撑掩膜,所述掩膜条包括多个掩膜开口区,所述支撑掩膜包括支撑条;所述掩膜条包括支撑部,所述支撑部的强度大于掩膜条除支撑部以外部分的强度,所述支撑部位于相邻的两个掩膜开口区之间,所述支撑部在所述支撑掩膜上的正投影与所述支撑条至少部分重合,所述支撑条抵靠于所述支撑部以对所述掩膜条进行支撑。支撑条通过支撑部对掩膜条的相邻掩膜开口区之间的区域进行支撑,避免掩膜条发生弯曲变形,从而提高蒸镀形成的膜层的位置精度。

    掩膜版
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111500981B

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN202010525146.3

    申请日:2020-06-10

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/12 C23C14/24

    摘要: 本发明提供一种掩膜版,所述掩膜版包括掩膜条及支撑掩膜,所述掩膜条包括多个掩膜开口区,所述支撑掩膜包括支撑条;所述掩膜条包括支撑部,所述支撑部的强度大于掩膜条除支撑部以外部分的强度,所述支撑部位于相邻的两个掩膜开口区之间,所述支撑部在所述支撑掩膜上的正投影与所述支撑条至少部分重合,所述支撑条抵靠于所述支撑部以对所述掩膜条进行支撑。支撑条通过支撑部对掩膜条的相邻掩膜开口区之间的区域进行支撑,避免掩膜条发生弯曲变形,从而提高蒸镀形成的膜层的位置精度。

    掩模板及其制备方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109825802B

    公开(公告)日:2021-01-26

    申请号:CN201910286060.7

    申请日:2019-04-10

    摘要: 本发明的实施例提供一种掩模板及其制备方法,涉及蒸镀技术领域,可改善掩模板角位置处的混色现象,提高产品良率。一种掩模板的制备方法,包括:将多个第一掩模条依次间隔固定于第一掩模板框架上,每个第一掩模条均跨设于第一掩模板框架的中空区域,且第一掩模条的两端与第一掩模板框架固定;除最靠近第一掩模板框架的第一边和第二边的两个第一掩模条外,其余第一掩模条的延伸方向与第一掩模板框架的第一边平行,第一边和第二边相对;分别靠近第一边和第二边的第一掩模条相对其余第一掩模条倾斜设置,且倾斜角度根据蒸镀偏差计算得到。

    子掩膜版及掩膜版
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207775334U

    公开(公告)日:2018-08-28

    申请号:CN201820003884.X

    申请日:2018-01-02

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24

    摘要: 本实用新型公开了一种子掩膜版及掩膜版,属于蒸镀设备领域。该子掩膜版包括图案区和两个夹持区,两个夹持区分别位于图案区相对的两侧,图案区和两个夹持区中的至少一个之间设有呈梯形的过渡区,过渡区的第一底边与夹持区连接,过渡区的第二底边与图案区连接,第一底边为过渡区的较长的底边,第二底边为过渡区的较短的底边,在通过张网机夹持住两个夹持区进行拉伸时,过渡区上会产生沿过渡区的腰的延伸方向的拉力,由于拉力的方向与图案区的长度方向的夹角大于0,因此该拉力会产生垂直于图案区的长度方向的分力,从而降低图案区产生褶皱的可能,这样子掩膜版制作成FMM后,FMM的褶皱较少,从而提高了FMM的平坦度。