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公开(公告)号：CN101416113A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200780011721.0
申请日：2007-03-16
Applicant: 伊斯曼柯达公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F7/70291 , G03F7/70633 , G03F7/70791
Abstract: 一种用于在基板(3)上动态配准多重图案化层的方法包括：在基板上沉积第一层；在第一层上印制第一图案(20)；在第一图案上沉积第二层；以及在第二层上印制第二图案的同时动态检测第一图案以将第二图案与第一图案对准。
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