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公开(公告)号：CN101981768B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200980110805.9
申请日：2009-03-27
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 彭晓原 , 布莱恩·W.·拜耳德 , 威廉·J.·乔丹 , 大卫·马汀·海明威
CPC classification number: H01S3/0057 , B23K26/0622 , G02F1/0327
Abstract: 一种激光脉冲成形技术产生了经剪裁激光脉冲频谱输出(64、66)。该等激光脉冲可以被程序化，以具有所希的脉冲宽度与脉冲形状(例如：次奈秒至10奈秒-20奈秒的脉冲宽度，而具有1奈秒至数奈秒的前缘上升时间)。较佳实施例是以一或更多个电光调变器(250、254)来执行，用以接收驱动讯号，而选择地改变入射脉冲激光放射的数量(106、112、114)，以形成经剪裁脉冲输出。触发来自该脉冲激光放射的该驱动讯号，以抑制与连接处理系统的其它级有关的扰动，且实质上去除与脉冲激光放射建立时间有关的扰动。
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公开(公告)号：CN101223628B
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200680025903.9
申请日：2006-07-11
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC: H01L21/027
CPC classification number: B23K26/0665 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K2101/40
Abstract: 一种抑制工作雷射射束(12’)的失真的方法，该工作雷射射束(12’)是被导引以入射在一呈现以通过雷射链路处理系统(100)处理的靶极样本(14)上，该方法是使用空间滤波器(102)以自该工作雷射射束去除杂散光线所引起的失真。
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公开(公告)号：CN101981768A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200980110805.9
申请日：2009-03-27
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 彭晓原 , 布莱恩·W.·拜耳德 , 威廉·J.·乔丹 , 大卫·马汀·海明威
CPC classification number: H01S3/0057 , B23K26/0622 , G02F1/0327
Abstract: 一种激光脉冲成形技术产生了经剪裁激光脉冲频谱输出(64、66)。该等激光脉冲可以被程序化，以具有所希的脉冲宽度与脉冲形状(例如：次奈秒至10奈秒-20奈秒的脉冲宽度，而具有1奈秒至数奈秒的前缘上升时间)。较佳实施例是以一或更多个电光调变器(250、254)来执行，用以接收驱动讯号，而选择地改变入射脉冲激光放射的数量(106、112、114)，以形成经剪裁脉冲输出。触发来自该脉冲激光放射的该驱动讯号，以抑制与连接处理系统的其它级有关的扰动，且实质上去除与脉冲激光放射建立时间有关的扰动。
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公开(公告)号：CN101223628A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200680025903.9
申请日：2006-07-11
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC: H01L21/027
CPC classification number: B23K26/0665 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K2101/40
Abstract: 一种抑制工作雷射射束(12’)的失真的方法，该工作雷射射束(12’)是被导引以入射在一呈现以通过雷射链路处理系统(100)处理的靶极样本(14)上，该方法是使用空间滤波器(102)以自该工作雷射射束去除杂散光线所引起的失真。
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