公开(公告)号：CN112714681B

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN201980060712.3

申请日：2019-10-02

申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司

发明人： 松本·久 ,  杰恩·克雷能特 ,  林智斌

IPC分类号： B23K26/382 ,  B23K26/40

摘要： 一种用于在具有相对的第一表面及第二表面的基板中形成穿孔的方法，其可包括将激光脉冲的一聚焦光束导引至该基板中穿过该基板的该第一表面且随后穿过该基板的该第二表面。激光脉冲的该聚焦光束可具有一波长，该基板对于该波长至少实质上是透明的，且激光脉冲的该聚焦光束的光束腰部相比于该第一表面更接近于该第二表面。激光脉冲的该聚焦光束的特征在于脉冲重复率、在该基板处的峰值光学强度及在该基板处的平均功率，其足以：熔融该基板中靠近该第二表面的区域，由此在该基板内产生熔融区；向该第一表面传播该熔融区；且蒸发或沸腾该基板的材料并被定位于该熔融区内。

公开(公告)号：CN112714681A

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201980060712.3

申请日：2019-10-02

申请人： 伊雷克托科学工业股份有限公司

发明人： 松本·久 ,  杰恩·克雷能特 ,  林智斌

IPC分类号： B23K26/382 ,  B23K26/40

摘要： 一种用于在具有相对的第一表面及第二表面的基板中形成穿孔的方法，其可包括将激光脉冲的一聚焦光束导引至该基板中穿过该基板的该第一表面且随后穿过该基板的该第二表面。激光脉冲的该聚焦光束可具有一波长，该基板对于该波长至少实质上是透明的，且激光脉冲的该聚焦光束的光束腰部相比于该第一表面更接近于该第二表面。激光脉冲的该聚焦光束的特征在于脉冲重复率、在该基板处的峰值光学强度及在该基板处的平均功率，其足以：熔融该基板中靠近该第二表面的区域，由此在该基板内产生熔融区；向该第一表面传播该熔融区；且蒸发或沸腾该基板的材料并被定位于该熔融区内。