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公开(公告)号:CN108604575B
公开(公告)日:2023-05-26
申请号:CN201780011096.3
申请日:2017-03-31
申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号: H01L23/15 , H01L21/268 , H01L23/14
摘要: 一具有例如是一玻璃基板的基板的工件(100)可以藉由一镭射或是藉由其它手段来加以蚀刻以产生凹陷的特点(200、202)。一镭射诱导向前转移(LIFT)制程或是金属氧化物印刷制程可被利用以施加一例如是金属的晶种材料(402)到该玻璃基板之上,尤其是到该些凹陷的特点(200、202)中。若为所要的话,该些种晶后的凹陷的特点可以藉由例如是无电的电镀的现有的技术来加以电镀,以提供具有可预测且更佳的电气特性的导电的特点(500)。该工件(100)可以用一堆栈来加以连接,使得后续堆栈的工件(100)可以在适当处加以修改。
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公开(公告)号:CN113710407A
公开(公告)日:2021-11-26
申请号:CN202080029432.9
申请日:2020-05-29
申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号: B23K26/382 , B23K26/082 , B23K26/0622
摘要: 本发明揭示众多具体实例。其中许多关于在诸如印刷电路板的工件中形成通孔的方法。一些具体实例关于用于借由在间接地烧蚀例如印刷电路板的电导体结构之前使镭射能量在空间上贯穿该电导体的一区分配而间接地烧蚀该区的技术。其他具体实例关于用于在时间上划分镭射脉冲、调变镭射脉冲内的光学功率等的技术。
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公开(公告)号:CN105103390B
公开(公告)日:2021-02-12
申请号:CN201480015621.5
申请日:2014-03-14
申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人: 杰恩·克雷能特
摘要: 一种以激光为基础样本的处理系统(112)的激光射束定位系统(110)自一全光纤耦接光学相位阵列激光射束操纵系统(80)在射束定位器载台(124)处产生一操纵激光输入射束(106)。系统(110)透过一或更多其它射束定位器载台(130、131、134)来导引射束(106)以形成一处理激光射束(116),其处理安装在一支撑件(122)上的工件(120)的目标特征(118)。
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公开(公告)号:CN116348799A
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN202180072040.5
申请日:2021-11-23
申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号: G02B17/06
摘要: 本发明揭示光学中继系统的大量具体实例。在一个具体实例中,一激光加工设备包括光学中继系统,该光学中继系统经组态以借由维持第一定位器与扫描透镜之间的激光能量光束的光学路径长度来校正光束置放误差。在另一具体实例中,该光学中继系统可包括第一透镜、第二透镜及配置于该第一透镜与该第二透镜之间的变焦透镜组装件,其中该变焦透镜组装件包括第一透镜群组及第二透镜群组。该变焦透镜组装件可相对于该第一透镜及该第二透镜移动(例如,安装于诸如运动载物台的定位器上)。该第一透镜群组中的这些透镜之间的距离及该第二透镜群组中的这些透镜之间的距离可为固定的或可变的。
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公开(公告)号:CN113196595A
公开(公告)日:2021-07-30
申请号:CN202080006675.0
申请日:2020-02-04
申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号: H01S3/10 , H01S3/00 , B23K26/067
摘要: 一种系统,所述系统包括:多通道射束分光器,其被排列及配置以将输入光学信号分裂成多个分裂光学信号;多个相位调变器,其中所述多个相位调变器中的每一相位调变器可操作以响应于控制信号而修改所述多个分裂光学信号中的对应分裂光学信号的相位;波导,其排列在所述多个相位调变器的光学输出端,所述波导被配置以将自所述多个相位调变器输出的所述分裂光学信号在空间上重新排列成一图案,借此产生光学信号图案;及光学放大器,其排列在所述波导的光学输出端,其中所述光学放大器被配置以放大由所述波导产生的所述光学信号图案。
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公开(公告)号:CN112074370A
公开(公告)日:2020-12-11
申请号:CN201980030416.9
申请日:2019-06-04
申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
发明人: 派崔克·莱歇尔 , 马克·昂瑞斯 , 杰克·罗伯兹 , 乔瑟夫·哈斯提 , 詹姆斯·布鲁克伊塞 , 扎克里·唐 , 克里斯多福·汉默 , 杰佛利·洛特 , 雅各·梅格斯 , 杰克·罗戴尔 , 杰弗瑞·豪尔顿 , 杰恩·克雷能特 , 道格·豪尔 , 盖瑞·拉森 , 朱莉·威尔森 , 李·彼得森 , 马克·韦格纳 , 克尔特·伊藤
IPC分类号: B23K26/70 , B23K26/03 , B23K26/062 , B23K26/067
摘要: 改良用于激光加工工件的设备与技术,并且提供新功能。本发明讨论的某些实施例和使用射束特征化工具达成适应性加工、加工控制、以及其它所希望的特点有关。其它实施例则关于并入积分球的激光功率传感器。本发明的再其它实施例关于能够同步提供不同工件给共同激光加工设备的工件搬运系统。本发明亦详细说明众多其它实施例和配置。
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公开(公告)号:CN111133361A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201880055941.1
申请日:2018-09-20
申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号: G02B26/08
摘要: 本发明关于一种光束定位器,其大体经特性化为包括第一声光(AO)偏转器(AOD),该第一声光(AO)偏转器(AOD)可操作用以使线性偏振镭射光的入射光束绕射,其中该第一AOD具有第一绕射轴且其中该第一AOD定向使得该第一绕射轴与该线性偏振镭射光的偏振平面具有预定空间关系。该光束定位器可包括配置于光束路径内的至少一个相移反射器,光可沿着该光束路径自该第一AOD传播。该至少一个相移反射器可被配置及定向以旋转由该第一AOD绕射的光的偏振平面。
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公开(公告)号:CN118591767A
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN202280089897.2
申请日:2022-12-05
申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
摘要: 本发明揭示可操作以使激光传播所沿光束路径沿着多个轴偏转的多轴光束定位器的诸多实例。该光束定位器包括彼此以光学方式串联排列的第一AOD及第二AOD。该第一AOD及该第二AOD经排列且配置以使该光束路径沿着该多轴光束定位器的不同轴偏转。在一个实例中,该第一AOD的该AO单元由与该第二AOD的该AO单元相同的材料形成但该第一AOD与该第二AOD不同地配置。在另一实例中,该第一AOD及该第二AOD为纵向模式AOD,且在该第一AOD与该第二AOD之间不存在延迟器。在另一实例中,提供热交换器以相对于该第一AOD的该AO单元冷却该第二AOD的该AO单元。
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公开(公告)号:CN113196595B
公开(公告)日:2024-06-07
申请号:CN202080006675.0
申请日:2020-02-04
申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号: H01S3/10 , H01S3/00 , B23K26/067
摘要: 一种系统,所述系统包括:多通道射束分光器,其被排列及配置以将输入光学信号分裂成多个分裂光学信号;多个相位调变器,其中所述多个相位调变器中的每一相位调变器可操作以响应于控制信号而修改所述多个分裂光学信号中的对应分裂光学信号的相位;波导,其排列在所述多个相位调变器的光学输出端,所述波导被配置以将自所述多个相位调变器输出的所述分裂光学信号在空间上重新排列成一图案,借此产生光学信号图案;及光学放大器,其排列在所述波导的光学输出端,其中所述光学放大器被配置以放大由所述波导产生的所述光学信号图案。
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公开(公告)号:CN112714681B
公开(公告)日:2023-09-22
申请号:CN201980060712.3
申请日:2019-10-02
申请人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
IPC分类号: B23K26/382 , B23K26/40
摘要: 一种用于在具有相对的第一表面及第二表面的基板中形成穿孔的方法,其可包括将激光脉冲的一聚焦光束导引至该基板中穿过该基板的该第一表面且随后穿过该基板的该第二表面。激光脉冲的该聚焦光束可具有一波长,该基板对于该波长至少实质上是透明的,且激光脉冲的该聚焦光束的光束腰部相比于该第一表面更接近于该第二表面。激光脉冲的该聚焦光束的特征在于脉冲重复率、在该基板处的峰值光学强度及在该基板处的平均功率,其足以:熔融该基板中靠近该第二表面的区域,由此在该基板内产生熔融区;向该第一表面传播该熔融区;且蒸发或沸腾该基板的材料并被定位于该熔融区内。
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