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公开(公告)号：CN112292384A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201980038445.X
申请日：2019-07-26
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
IPC: C07F15/06 , H01L21/205 , C23C16/18
Abstract: 本专利申请涉及新型烯丙基钴络合物、它们的制备方法以及它们用于气相沉积的用途。
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