抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法

    公开(公告)号:CN111381439B

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN201911360456.8

    申请日:2019-12-25

    Abstract: 本发明提供一种经时变化小、可以制造图案形状良好的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。本发明的抗蚀剂组合物包含羟基由以式(3)表示的基团取代了的线型酚醛树脂、产酸剂、猝灭剂和溶剂,式(3)中,Ra10表示碳原子数1~20的烃基(例如烷基、烯基及炔基等链式烃基、脂环式烃基、芳香族烃基以及通过将它们组合而形成的基团等),*表示键合端。#imgabs0#

    抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法

    公开(公告)号:CN111381439A

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN201911360456.8

    申请日:2019-12-25

    Abstract: 本发明提供一种经时变化小、可以制造图案形状良好的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。本发明的抗蚀剂组合物包含羟基由以式(3)表示的基团取代了的线型酚醛树脂、产酸剂、猝灭剂和溶剂,式(3)中,Ra10表示碳原子数1~20的烃基(例如烷基、烯基及炔基等链式烃基、脂环式烃基、芳香族烃基以及通过将它们组合而形成的基团等),*表示键合端。

    组合物
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103261309A

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN201180060642.5

    申请日:2011-12-15

    Abstract: 一种组合物,含有下述(A)、(B)及(C),其中,(A)是聚合物(A-1)或(A-2),(A-1)是含有70~99摩尔%源自丙烯的结构单元及1~30摩尔%源自1-丁烯的结构单元且实质上未观测到熔融峰的聚合物,聚合物(A-2)通过使α,β-不饱和羧酸化合物接枝于该聚合物而得,(B)是聚合物(B-1)或(B-2),(B-1)是含有5~20摩尔%源自乙烯的结构单元及80~95摩尔%源自丙烯的结构单元且观测到熔融峰的聚合物,聚合物(B-2)通过使α,β-不饱和羧酸化合物接枝于该聚合物而得,(C)是聚合物(C-1)或(C-2),(C-1)是含有60-90摩尔%源自丙烯的结构单元及10-40摩尔%源自1-丁烯的结构单元且观测到熔融峰的聚合物,聚合物(C-2)通过使α,β-不饱和羧酸化合物接枝于该聚合物而得。

    组合物、层叠结构及层叠结构的制造方法

    公开(公告)号:CN102971374A

    公开(公告)日:2013-03-13

    申请号:CN201180033373.3

    申请日:2011-06-10

    Abstract: 提供对被着体例如塑料(特别是聚丙烯等)的胶粘性优异的组合物。含有下述(A)和(B)的组合物。(A)为聚合物(A-1)或聚合物(A-2);聚合物(A-1)含有来自丙烯及1-丁烯的结构单元,来自丙烯的结构单元的含有率为70~99摩尔%,来自1-丁烯的结构单元的含有率为1~30摩尔%,实质上观察不到聚合物(A-1)的熔解峰;聚合物(A-2)是用α,β-不饱和羧酸类将该聚合物(A-1)改性而得的聚合物;(B)为聚合物(B-1)或聚合物(B-2);聚合物(B-1)含有来自乙烯及丙烯的结构单元,来自乙烯的结构单元的含有率为5~20摩尔%,来自丙烯的结构单元的含有率为80~95摩尔%,能观测到聚合物(B-1)的熔解峰;聚合物(B-2)是用α,β-不饱和羧酸类将该聚合物(B-1)改性而得的聚合物。

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