公开(公告)号：CN103548100B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201280024544.0

申请日：2012-05-09

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 花房庆 ,  本田元气 ,  大木康太郎 ,  中西毅 ,  种子田贤宏 ,  永石龙起

IPC: H01B12/06 ,  H01B13/00

CPC classification number: H01B12/02 ,  H01L39/143 ,  H01L39/2422 ,  H01L39/2425 ,  H01L39/2448 ,  Y10T428/265

Abstract: 本发明提供了表现出优异超导特性的超导薄膜材料和制造该超导薄膜材料的方法。超导薄膜材料（1）包括基板（10）和形成在基板（10）上的超导膜（30）。超导膜（30）包括通过金属有机沉积形成的MOD层（31）和通过气相工艺形成在MOD层（31）上的气相形成层（32）。因此，首先形成MOD层（31），并且随后形成气相形成层（32），因此可以防止由于在形成MOD层（31）的过程中应用的热处理（MOD工艺中的热处理）导致气相形成层（32）的特性劣化。

公开(公告)号：CN103548100A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201280024544.0

申请日：2012-05-09

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 花房庆 ,  本田元气 ,  大木康太郎 ,  中西毅 ,  种子田贤宏 ,  永石龙起

IPC: H01B12/06 ,  H01B13/00

CPC classification number: H01B12/02 ,  H01L39/143 ,  H01L39/2422 ,  H01L39/2425 ,  H01L39/2448 ,  Y10T428/265

Abstract: 本发明提供了表现出优异超导特性的超导薄膜材料和制造该超导薄膜材料的方法。超导薄膜材料（1）包括基板（10）和形成在基板（10）上的超导膜（30）。超导膜（30）包括通过金属有机沉积形成的MOD层（31）和通过气相工艺形成在MOD层（31）上的气相形成层（32）。因此，首先形成MOD层（31），并且随后形成气相形成层（32），因此可以防止由于在形成MOD层（31）的过程中应用的热处理（MOD工艺中的热处理）导致气相形成层（32）的特性劣化。