公开(公告)号：CN1131650A

公开(公告)日：1996-09-25

申请号：CN95118717.1

申请日：1995-10-18

申请人： 住友电气工业株式会社

发明人： 吉村雅司 ,  佐藤武 ,  山口章 ,  山川晃

IPC分类号： C04B35/58

CPC分类号： C04B35/584

摘要： 一种制造氮化硅烧结体的方法，包括在一个温度范围内对氮化硅烧结体的坯料进行热处理，该温度范围从坯料的内摩擦达到最大峰值时的温度-150℃至该温度+150℃。一种用于本发明的代表性的坯料是这样来制得的：将氮化硅粉末与助烧剂粉末混合，得到的粉末混合物含5-15％(重量)(以氧化物计)的至少一种选自由稀土元素和铝组成一组的元素，0.5-5％(重量)(以氧化物计)选自由Mg、Ti和Ca组成一组的元素，以及余量的Si3N4，将粉末混合物成型，在含氮气氛中于1500-1700℃烧结所得素坯。

公开(公告)号：CN1071723C

公开(公告)日：2001-09-26

申请号：CN95118717.1

申请日：1995-10-18

申请人： 住友电气工业株式会社

发明人： 吉村雅司 ,  佐藤武 ,  山口章 ,  山川晃

IPC分类号： C04B35/584

CPC分类号： C04B35/584

摘要： 一种制造氮化硅烧结体的方法，包括在一个温度范围内对氮化硅烧结体的坯料进行热处理，该温度范围从坯料的内摩擦达到最大峰值时的温度-150℃至该温度+150℃。一种用于本发明的代表性的坯料是这样来制得的：将氮化硅粉末与助烧剂粉末混合，得到的粉末混合物含5-15%(重量)(以氧化物计)的至少一种选自由稀土元素和铝组成一组的元素，0.5-5%(重量)(以氧化物计)选自由Mg、Ti和Ca组成一组的元素，以及余量的Si3N4，将粉末混合物成型，在含氮气氛中于1500-1700℃烧结所得素坯。