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公开(公告)号：CN112714845A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201980061449.X
申请日：2019-06-25
Applicant: 住友精密工业株式会社
Inventor： 小林智裕 , 山川达也 , 吉村昌也 , 藤田凉
IPC: F24F6/04 , B01J19/00 , C01B13/11
Abstract: 在气体调节器(60)中设有：壳体(62)，形成有供气体流通的气体流路(61)；和树脂构件(80)，配置于气体流路(61)并且具有透水性。树脂构件(80)由封入有水的密闭状的中空体构成。
