公开(公告)号：CN112714845A

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201980061449.X

申请日：2019-06-25

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 小林智裕 ,  山川达也 ,  吉村昌也 ,  藤田凉

IPC: F24F6/04 ,  B01J19/00 ,  C01B13/11

Abstract: 在气体调节器(60)中设有：壳体(62)，形成有供气体流通的气体流路(61)；和树脂构件(80)，配置于气体流路(61)并且具有透水性。树脂构件(80)由封入有水的密闭状的中空体构成。

公开(公告)号：CN111788150A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201880090559.4

申请日：2018-12-17

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 山川达也 ,  吉村昌也 ,  藤田凉

IPC: C01B13/11

Abstract: 臭氧产生装置包括：第一流路，设有向氧气赋予水分的加湿部，并且以使通过了加湿部的氧气流出的方式构成；第二流路，以使水分量为10ppb以下的氧气流出的方式构成；合流路，经第一流路流出的氧气和经第二流路流出的氧气在该合流路进行合流；臭氧产生器，以在合流路合流后的混合氧气作为原料产生臭氧气体；和流量比调节部，对从第一流路向合流路流出的氧气的流量与从第二流路向合流路流出的氧气的流量的比率进行调节。